晶圆料盒制造技术

本申请公开了一种晶圆料盒，包括第一安装板，第一安装板上设有向同一侧延伸的3个以上的调节杆，且调节杆不共线设置，每个调节杆上皆设有凹槽；其中，至少一个调节杆在沿平行于第一安装板方向上可动。本实用新型专利技术提供的晶圆料盒，通过设有不共线的3个以上的调节杆，且其中至少有一个调节杆在沿平行于第一安装板方向上可动，从而使得调节杆中能够支撑存放不同尺寸的晶圆，提高了晶圆料盒的实用性。

【技术实现步骤摘要】
晶圆料盒
本公开一般涉及半导体
，具体涉及晶圆承载装置
，尤其涉及晶圆料盒。
技术介绍
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。随着半导体技术的飞速发展，IC产品被广泛应用在各个领域，由于每个领域的使用要求存在差异，使得晶圆在使用时被制作成不同的尺寸以满足相应的需求，例如常见的8英寸或者12英寸。晶圆料盒是用来收纳晶圆的常用工具，其针对不同尺寸的晶圆具有不同的类型，如专门用于收纳8英寸晶圆的料盒，或者专门用于收纳12英寸晶圆的料盒。由于晶圆料盒与晶圆尺寸之间配合使用具有单一性，使得在实际使用过程中给操作人员带了不便。
技术实现思路
鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种晶圆料盒。本技术提供一种晶圆料盒，包括第一安装板，第一安装板上设有向同一侧延伸的3个以上的调节杆，且调节杆不共线设置，每个调节杆上皆设有凹槽；其中，至少一个调节杆在沿平行于第一安装板方向上可动。本技术提供的晶圆料盒，通过设有不共线的3个以上的调节杆，且其中至少有一个调节杆在沿平行于第一安装板方向上可动，从而使得调节杆中能够支撑存放不同尺寸的晶圆，提高了晶圆料盒的实用性。附图说明通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1为本技术实施例提供的晶圆料盒结构正视图；图2为本技术实施例提供的晶圆料盒结构侧视图；图3为本技术实施例提供的晶圆料盒立体图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关技术，而非对该技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与技术相关的部分。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。请参考图1-3，本实施例提供一种晶圆料盒，包括第一安装板1，第一安装板1上设有向同一侧延伸的3个以上的调节杆2，且调节杆2不共线设置，每个调节杆2上皆设有凹槽25；其中，至少一个调节杆2在沿平行于第一安装板1方向上可动。在本实施例中，3个不共线的调节杆2可以确定一个圆弧，即至少有3个调节杆2沿一圆弧线排布，位于同一圆弧形上的3个以上的调节杆2共同形成支撑与存放晶圆。其中，调节杆2上皆设有开口面向该空间的凹槽25，且相邻的凹槽25之间平齐设置以形成容纳晶圆的容置腔。当调节杆2在沿平行于第一安装板1方向上移动时，调节杆2所确定的圆弧的圆心和/或半径值发生改变，即通过至少一个调节杆2的移动，使得调节杆2共同形成支撑与存放的晶圆的尺寸发生改变(例如8寸与12寸晶圆)，进而实现了晶圆料盒中能够存放不同尺寸的晶圆。优选地，可动包括位置可定地移动。在本实施例中，晶圆料盒中至少存在一个调节杆2在沿平行于第一安装板1方向上可动，且该可动的调节杆2在安装板上为位置可定的移动，即调节杆2在第一安装板1上移动的行程中存在与第一安装板1在沿平行于第一安装板1方向形成定位配合的定位点，调节杆2在定位点时至少在沿平行于第一安装板1方向不会发生移动，确保对晶圆的稳固支撑作用。优选地，第一安装板1上还包括与可动的调节杆2对应设置的第一导向部11，第一导向部11内沿调节杆2的移动方向上排布有2个以上的第一定位孔12；可动的调节杆2上包括用于与第一定位孔12形在沿平行于第一安装板1方向形成定位配合的第一定位部21。在本实施例中，第一安装板1包括相对设置的两侧面，导向部设有自第一安装板1的一侧面上形成并向相对的另一侧面延伸的定位孔，可动的调节杆2上的第一定位部21与定位孔在沿平行于第一安装板1方向形成定位配合，使得定位孔能够限制调节杆2的移动，确保了调节杆2对晶圆的稳固支撑作用。其中，第一定位孔12与第一定位部21之间定位配合时通过两者的尺寸配合实现，例如：第一定位部21的截面宽度至少在一个方向上与定位孔的截面宽度相同或者基本相同。优选地，第一定位孔12为通孔结构，相邻的第一定位孔12之间还设有连通彼此的第一导向腔13，第一导向腔13贯穿第一安装板1，第一定位部21的截面宽度至少在一个方向大于第一导向腔13中与之连通的端部的宽度值；调节杆2上异于第一定位部21的部分上还设有第一连接部22，第一连接部22的截面宽度在任意一个方向皆小于第一导向腔13的最小宽度值。在本实施例中，第一定位孔12贯穿第一安装板1上相对设置的两侧面上形成通孔结构。调节杆2上的第一连接部22的截面宽度在任意一个方向皆小于第一导向腔13的最小宽度值，当第一定位部21脱离第一定位孔12且第一连接部22进入第一导向腔13时，第一连接部22可通过第一导向腔13在两相邻的第一定位孔12之间位置切换。此外，通过将第一定位部21的截面宽度至少在一个方向大于第一导向腔13中与之连通的端部的宽度值，使得第一定位部21无法从第一定位孔12中进入第一导向腔13中，从而提高了调节精准度。优选地，第一定位部21的形状与第一定位孔12的形状相适应。在本实施例中，第一定位部21的形状与第一定位孔12的形状相适应理解为：第一定位部21的形状与第一定位孔12的形状相同，且第一定位部21的尺寸比第一定位孔12的尺寸基本相同。例如：第一定位部21的形状为三角形或者圆形，则第一定位孔12的形状也对应为三角形或圆形。本申请中通过将第一定位部21的形状与第一定位孔12的形状相适应设置，可确保第一定位部21与第一定位孔12之间定位配合的准确性及稳定性。优选地，第一安装板1上对应每个调节杆2一一对应设置有第一导向部11，每个调节杆2上皆设有第一定位部21与第一连接部22；每个第一导向部11中至少有分别沿第一圆弧线和第二圆弧线排布的2个第一定位孔12，且第一圆弧线与第二圆弧线的半径值不同。在本实施例中，每个调节杆2在第一安装板1上沿平行第一安装板1方向皆为位置可定地移动设置，具体地：第一安装板1上对应每个调节杆2一一对应设置有第一导向部11，每个调节杆2上皆设有第一定位部21与第一连接部22，每个调节杆2皆可在对应的第一导向部11内移动。其中每个调节杆2与对应的第一导向部11之间的配合关系请参照前文，本文在此不再赘述。此外，每个第一导向部11中至少有分别沿第一圆弧线和第二圆弧线排布的2个第一定位孔12，每个导向部中皆设有共同位于第一圆弧线上的定位孔以及每个导向部中还皆设有共同位于第二圆弧线上的定位孔，使得调节杆2能够在沿第一圆弧线排布的第一定位部21与沿第二圆弧线排布的第一定位部21之间切换，且第一圆弧线与第二圆弧线的半径值不同，进而实现调节杆2可支撑与存放不同尺寸的晶圆。优选地，第一圆弧线与第二圆弧线所对的圆心角皆小于180°。在本实施例中，通过将第一圆弧线与第二圆弧线所对的圆心角皆为小于180°设置，即使得调节杆2所围成的容置腔具有一个宽度在晶圆直径值以上的开口，从而确保晶圆可插入调节杆2所围成的容置腔内。优选地，晶圆料盒还包括与第一安装板1相对设置的第二安装板3，第二安装板3上包括与第一定位孔12一一对应设置的第二定位孔32，且第二定位孔32与对应设置的第一定位孔1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶圆料盒，包括第一安装板，其特征在于，所述第一安装板上设有向同一侧延伸的3个以上的调节杆，且所述调节杆不共线设置，每个所述调节杆上皆设有凹槽；其中，至少一个所述调节杆在沿平行于所述第一安装板方向上可动。

【技术特征摘要】
1.一种晶圆料盒，包括第一安装板，其特征在于，所述第一安装板上设有向同一侧延伸的3个以上的调节杆，且所述调节杆不共线设置，每个所述调节杆上皆设有凹槽；其中，至少一个所述调节杆在沿平行于所述第一安装板方向上可动。2.根据权利要求1所述的晶圆料盒，其特征在于，所述可动包括位置可定地移动。3.根据权利要求2所述的晶圆料盒，其特征在于，所述第一安装板上还包括与可动的所述调节杆对应设置的第一导向部，所述第一导向部内沿所述调节杆的移动方向上排布有2个以上的第一定位孔；可动的所述调节杆上包括用于与所述第一定位孔形在沿平行于所述第一安装板方向形成定位配合的第一定位部。4.根据权利要求3所述的晶圆料盒，其特征在于，所述第一定位孔为通孔结构，相邻的所述第一定位孔之间还设有连通彼此的第一导向腔，所述第一导向腔贯穿所述第一安装板，所述第一定位部的截面宽度至少在一个方向大于所述第一导向腔中与之连通的端部的宽度值；所述调节杆上异于所述第一定位部的部分上还设有第一连接部，所述第一连接部的截面宽度在任意一个方向皆小于所述第一导向腔的最小宽度值。5.根据权利要求3所述的晶圆料盒，其特征在于，所述第一定位部的形状与所述第一定位孔的形状相适应。6.根据权利要求4所述的晶圆料盒，其特征在于，所述第一安装板上对应每个所述调节杆一一对应设置有所述第一导向部，每个所述调节杆上皆设有所述第一定位部与所述第一连接部；每个所述第一导向部中至少有分别沿第...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴谦国，
申请(专利权)人：南通通富微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32