一种三氧化二铝薄膜真空规管制造技术

本发明专利技术属于真空设备技术领域，公开了一种三氧化二铝薄膜真空规管，包括：外壳、陶瓷片、陶瓷片通孔、三氧化二铝薄膜、第一电极柱、第二电极柱、抽真空口、测量进气口；解决了现有技术中使用金属薄片作为真空规管薄膜，金属薄片应力比较低，容易产生机械疲劳，并且容易被腐蚀的问题，本发明专利技术提供的一种三氧化二铝薄膜真空规管具有应力高、精度高、寿命长、重复性和稳定性好的优点。

A three oxide two aluminum film vacuum gauge

The invention belongs to the technical field of vacuum equipment, and discloses a three two aluminum oxide thin film vacuum gauge, which comprises a shell, ceramic plates, ceramic plates three holes, two aluminum oxide film, a first electrode, a second electrode column column, vacuum pumping, measurement of air inlet; solves the use of metal foil as a vacuum the regulation of film, sheet metal stress is relatively low, prone to mechanical fatigue, and easy to corrosion problems, the invention provides a three oxidation of two aluminum thin film vacuum gauge with high stress, high precision, long service life, good repeatability and stability advantages.

【技术实现步骤摘要】
一种三氧化二铝薄膜真空规管
本专利技术涉及真空设备
，尤其涉及一种三氧化二铝薄膜真空规管。
技术介绍
薄膜真空规管是一种低真空的测量仪器，具有测量精度高、动态响应快、抗腐蚀性强、耐气压冲击、测量结果与气体成分无关等优点。因此广泛应用于气象、航天、化工、真空冶炼、轻工、食品等领域，特别适用于薄膜制备、微细加工、微电子技术等领域。电容薄膜真空规管是一种绝压、全压测量的真空仪器，原理是加于电容薄膜上的压力变化产生膜片间距离的变化，从而产生可变电容的变化，再通过电容测试电路将电容的变化表示成电压或电流的变化，根据电压和电流的变化计算真空度。它的测量是直接反映了真空压力的变化值，而且只与压力有关，与气体成分无关。目前的薄膜真空规管薄膜主要使用金属薄片，但是金属薄片应力比较低，容易产生机械疲劳，并且易被腐蚀。
技术实现思路
本申请实施例通过提供一种三氧化二铝薄膜真空规管，解决了现有技术中使用金属薄片作为真空规管薄膜，金属薄片应力比较低，容易产生机械疲劳，并且容易被腐蚀的问题。本申请实施例提供一种三氧化二铝薄膜真空规管，包括：外壳，所述外壳由金属制成；陶瓷片，所述陶瓷片的上面板和下面板均镀金；陶本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种三氧化二铝薄膜真空规管，其特征在于，包括：外壳，所述外壳由金属制成；陶瓷片，所述陶瓷片的上面板和下面板均镀金；陶瓷片通孔，所述陶瓷片通孔连通所述陶瓷片的所述上面板和所述下面板；三氧化二铝薄膜，所述三氧化二铝薄膜的表面有一层镀金；所述三氧化二铝薄膜固定于所述真空规管的内部，且位于所述陶瓷片的下方；所述三氧化二铝薄膜将所述真空规管的内部腔体分为两个腔室；所述三氧化二铝薄膜与所述外壳电气连接；第一电极柱，所述第一电极柱与所述陶瓷片的所述上面板接触；第二电极柱，所述第二电极柱与所述外壳连接；抽真空口，所述抽真空口位于所述外壳的顶部；测量进气口，所述测量进气口与所述真空规管的内部腔体连接；其中，所述...

【技术特征摘要】
1.一种三氧化二铝薄膜真空规管，其特征在于，包括：外壳，所述外壳由金属制成；陶瓷片，所述陶瓷片的上面板和下面板均镀金；陶瓷片通孔，所述陶瓷片通孔连通所述陶瓷片的所述上面板和所述下面板；三氧化二铝薄膜，所述三氧化二铝薄膜的表面有一层镀金；所述三氧化二铝薄膜固定于所述真空规管的内部，且位于所述陶瓷片的下方；所述三氧化二铝薄膜将所述真空规管的内部腔体分为两个腔室；所述三氧化二铝薄膜与所述外壳电气连接；第一电极柱，所述第一电极柱与所述陶瓷片的所述上面板接触；第二电极柱，所述第二电极柱与所述外壳连接；抽真空口，所述抽真空口位于所述外壳的顶部；测量进气口，所述测量进气口与所述真空规管的内部腔体连接；其中，所述陶瓷片的下面板作为固定电极板，所述三氧化二铝薄膜作为可动电极板；所述固定电极板和所述可动电极板组成可变电容；所述陶瓷片的所述下面板的电信号通过所述陶瓷片通孔传递到所述陶瓷片的所述上面板，然后电信号通过所述第一电极柱引到所述真空规管的外部。2.如权利要求1所述的三氧化...

【专利技术属性】
技术研发人员：康恒，景玉鹏，黄洛俊，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：北京,11