真空室的真空度检测方法技术

本发明专利技术涉及一种真空室的真空度检测方法，所述真空室内设置有两个平行的检测电极，所述方法包括：为所述真空腔内的两个检测电极提供电压，使间隙电压持续增加，所述间隙电压为所述预设间隙的电压；检测所述预设间隙产生场致发射电流时的第一间隙电压和所述预设间隙发生击穿时的第二间隙电压；根据所述第一间隙电压和所述第二间隙电压，确定所述真空腔的真空度。由于预设间隙是在两个检测电极之间形成的，间隙较小，所需的第一间隙电压和第二间隙电压较小，因此可以在真空开关合闸时进行真空度的检测，实现在线检测。而且，不需要强行将灭弧室的动触头和静触头拉开，可以避免对灭弧室的正常运行及寿命造成影响。

Measurement of vacuum degree in vacuum chamber

\u672c\u53d1\u660e\u6d89\u53ca\u4e00\u79cd\u771f\u7a7a\u5ba4\u7684\u771f\u7a7a\u5ea6\u68c0\u6d4b\u65b9\u6cd5\uff0c\u6240\u8ff0\u771f\u7a7a\u5ba4\u5185\u8bbe\u7f6e\u6709\u4e24\u4e2a\u5e73\u884c\u7684\u68c0\u6d4b\u7535\u6781\uff0c\u6240\u8ff0\u65b9\u6cd5\u5305\u62ec\uff1a\u4e3a\u6240\u8ff0\u771f\u7a7a\u8154\u5185\u7684\u4e24\u4e2a\u68c0\u6d4b\u7535\u6781\u63d0\u4f9b\u7535\u538b\uff0c\u4f7f\u95f4\u9699\u7535\u538b\u6301\u7eed\u589e\u52a0\uff0c\u6240\u8ff0\u95f4\u9699\u7535\u538b\u4e3a\u6240\u8ff0\u9884\u8bbe\u95f4\u9699\u7684\u7535\u538b\uff1b\u68c0\u6d4b\u6240\u8ff0\u9884\u8bbe\u95f4\u9699\u4ea7\u751f\u573a\u81f4\u53d1\u5c04\u7535\u6d41\u65f6\u7684\u7b2c\u4e00\u95f4\u9699\u7535\u538b\u548c\u6240\u8ff0\u9884\u8bbe\u95f4\u9699\u53d1\u751f\u51fb\u7a7f\u65f6\u7684\u7b2c\u4e8c\u95f4\u9699\u7535\u538b\uff1b\u6839\u636e\u6240\u8ff0\u7b2c\u4e00\u95f4\u9699\u7535\u538b\u548c\u6240\u8ff0\u7b2c\u4e8c\u95f4\u9699\u7535\u538b\uff0c\u786e\u5b9a\u6240\u8ff0\u771f\u7a7a\u8154\u7684\u771f\u7a7a\u5ea6\u3002 Because the preset gap is formed between the two detection electrodes, the gap is smaller, and the first gap voltage and the second gap voltage needed are smaller. Therefore, the vacuum degree can be detected when the vacuum switch is closed, and online detection is realized. Moreover, it is not necessary to pull the movable contact and the static contact of the arc extinguishing chamber by force, which can avoid the influence on the normal operation and life of the arc extinguishing chamber.

【技术实现步骤摘要】
真空室的真空度检测方法
本专利技术涉及真空
，具体涉及一种真空室的真空度检测方法。
技术介绍
真空断路器由于在真空状态下的优良绝缘性能，在切断中高压电源后能够迅速熄灭电弧并抑制电流的扩大，真空度越高越能保证真空断路器开端电流的能力。随着真空断路器工作时间的增长，由于触头开合以及密封不严等问题引起真空度改变，使真空断路器的工作性能降低，严重时不能开断正常工作或故障电流。因此真空度的检测尤为重要。目前测量真空断路器真空度的方法很多，包括旋转式电场探头的屏蔽罩电位法、光电变换法、耦合电容法、冷阴极磁控放电法、弧后发射电流法等。其中，耦合电容法是在真空室外设置屏蔽盒，通过监测屏蔽罩电位进而获得真空室内真空度，具有成本低、实现简单等优点。但在实际应用中，屏蔽罩电位会受到电网电压波动及环境温度变化等影响，导致所监测的真空度准确度低、可靠性差，仅能测量10pa数量级的真空度，无法满足对真空室的真空度高精度在线监测的要求。光电变换法用光学元件Pockels作为探头，把与真空度对应电场的变化转换成光通量的变化，再经光纤传到低电场或检测系统中检测。但是探头长期运行的可靠性无法保证，而且存在温差干扰本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空室的真空度检测方法，其特征在于，所述真空室的真空腔内设置有动触头、静触头和两个平行的具有预设间隙的检测电极，所述方法包括：为所述真空腔内的两个检测电极提供电压，使间隙电压持续增加，所述间隙电压为所述预设间隙的电压；检测所述预设间隙产生场致发射电流时的第一间隙电压和所述预设间隙发生击穿时的第二间隙电压；根据所述第一间隙电压和所述第二间隙电压，确定所述真空腔的真空度。

【技术特征摘要】
1.一种真空室的真空度检测方法，其特征在于，所述真空室的真空腔内设置有动触头、静触头和两个平行的具有预设间隙的检测电极，所述方法包括：为所述真空腔内的两个检测电极提供电压，使间隙电压持续增加，所述间隙电压为所述预设间隙的电压；检测所述预设间隙产生场致发射电流时的第一间隙电压和所述预设间隙发生击穿时的第二间隙电压；根据所述第一间隙电压和所述第二间隙电压，确定所述真空腔的真空度。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述第一间隙电压和所述第二间隙电压，确定所述真空腔的真空度，包括：计算所述第一间隙电压和所述第二间隙电压的比值；在预先确定的真空度-间隙电压比值关系中查找与该比值相对应的真空度，该真空度即为所述真空腔内部的真空度。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在为所述真空腔内的两个检测电极提供电压之前还包括：将所述真空腔内的两个检测电极与真空腔外部的电源模块连接，所述电源模块用于为所述的两个检测电极提供电压。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在为所述真空腔内的两个检测电极提供电压之前还包括：将所述真空腔内的两个检测电极与真空腔外的检测模块连接，所述检测模块用于检测所述第一间隙电压和所述第二间隙电压，并根据所述第一间隙电压和所述第二间隙电压确定所述真空腔的真空度。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在为所述真空腔内的两个检测电极提供电压之前还包括：将所述真空腔内的两个检测电极与真空腔外的保护模块连接，所述保护模块用于减小所述预设间隙击穿时的电弧电流。6.一种真空室的真空度检测方法，其特征在于，所述真空室的真空腔内设置有动触头、静触头、与...

【专利技术属性】
技术研发人员：李琼，时振堂，钱志红，李君，孙进，杜红勇，
申请(专利权)人：中国石油化工股份有限公司，中国石油化工股份有限公司抚顺石油化工研究院，
类型：发明
国别省市：北京,11