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本发明涉及一种真空室的真空度检测方法，所述真空室内设置有两个平行的检测电极，所述方法包括：为所述真空腔内的两个检测电极提供电压，使间隙电压持续增加，所述间隙电压为所述预设间隙的电压；检测所述预设间隙产生场致发射电流时的第一间隙电压和所述预设...该专利属于中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司抚顺石油化工研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司抚顺石油化工研究院授权不得商用。