一种小型超高真空规管制造技术

本实用新型专利技术公布了一种小型超高真空规管，包括壳体组件、以及穿过壳体组件的栅极管脚、收集极管脚、以及两个电极管脚，在所述的壳体组件内设置有一个固定在栅极管脚上的圆桶状栅极，在收集极管脚上固定有一根位于圆桶状栅极轴线上的收集极，在两根电极管脚之间安装有一根位于圆桶状栅极外侧的灯丝；所述圆桶状栅极表面设置有多个均匀分布的孔，圆桶状栅极的开孔率大于0.9。本实用新型专利技术蜂窝状的栅极板结构在加热条件下也保持其结构，不会因为重力的作用而坍塌变形，从而保持测量的稳定性和精度，相对于现有技术而言，测量的真空度量级可以达到10-8Pa的超高真空状态；其长度大大减小，从而减小了整体的体积，有利于规管的小型化。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公布了一种小型超高真空规管，包括壳体组件、以及穿过壳体组件的栅极管脚、收集极管脚、以及两个电极管脚，在所述的壳体组件内设置有一个固定在栅极管脚上的圆桶状栅极，在收集极管脚上固定有一根位于圆桶状栅极轴线上的收集极，在两根电极管脚之间安装有一根位于圆桶状栅极外侧的灯丝；所述圆桶状栅极表面设置有多个均匀分布的孔，圆桶状栅极的开孔率大于0.9。本技术蜂窝状的栅极板结构在加热条件下也保持其结构，不会因为重力的作用而坍塌变形，从而保持测量的稳定性和精度，相对于现有技术而言，测量的真空度量级可以达到10-8Pa的超高真空状态；其长度大大减小，从而减小了整体的体积，有利于规管的小型化。【专利说明】一种小型超高真空规管
本技术涉及一种真空规管，具体是指一种小型超高真空规管。
技术介绍
真空规管就是测量真空度的传感器。真空规管测量出来的信号传输到真空计上经过放大处理就可以显示出被测真空环境的真空度，主要应用于真空环境的真空度测量领域，如真空镀膜，太阳能集热管制作，真空冶炼等。热阴极电离真空规管是一种应用非常广泛的真空规管，其测量范围跨越了低真空、中真空、高真空的真空区域，得到用户的广泛欢迎。 目前的高真空规管只能够测量到10_5Pa的高真空状态，对于超高真空的测量，目前还没有规管可以测量的小型化规管，一般都会体积很大，庞大的体积限制了小型化真空管的应用。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种小型超高真空规管，解决目前的真空规管体积大，测量的真空量级小的问题，达到减小真空规管体积、提高测量精度的目的。 本技术的目的通过下述技术方案实现: 一种小型超高真空规管，包括壳体组件、以及穿过壳体组件的栅极管脚、收集极管脚、以及两个电极管脚，在所述的壳体组件内设置有一个固定在栅极管脚上的圆桶状栅极，在收集极管脚上固定有一根位于圆桶状栅极轴线上的收集极，在两根电极管脚之间安装有一根位于圆桶状栅极外侧的灯丝；所述圆桶状栅极表面设置有多个均匀分布的孔，圆桶状栅极的开孔率大于0.9。 申请人:对现有技术中的高真空度真空规管进行了研宄，最先进的结构如申请号为“201320375782.8”名称为“一种小型化复合真空规管”所描述的结构， 申请人:发现其结构实际上是存在缺陷的:由于其栅极是利用钨丝绕成螺旋状的结构，这样的结构在不使用的时候，钨丝本身的强度足够保持其形状结构，但是这样的结构使得钨丝每一节之间的距离不能很大，且需要很长的总体长度来保证对电子的推动力，而且在长时间的发热状态下，钨丝本身的强度和耐受力降低，在钨丝本身重力的作用下，会导致螺旋状的钨丝下塌，造成不均匀的推力场，导致了测量结构的不准确，而且只能测量一般的真空环境，对于超高真空环境的测量，却不能实现，经试验，这样的结构测量量值最多能达到KT5Pa的高真空状态；针对现有技术的缺陷， 申请人:对现有的规管进行了改进:首先改进了栅极的结构，利用蜂窝状的栅极板结构，栅极上蜂窝状孔的结构远远大于空余孔之间的栅极板材宽度，相当于利用丝状材料编织成的多孔板，这样的板状结构可以使得栅极在加热条件下也保持其结构，不会因为重力的作用而坍塌变形，从而保持测量的稳定性和精度，相对于现有技术而言，测量的真空度量级可以达到10_8Pa的超高真空状态；而且，蜂窝状的栅极结构，其长度远远相对于现有技术中的丝状栅极而言，其长度大大减小，从而减小了整体的体积，有利于规管的小型化。 所述的圆桶状栅极是采用鉬制成的。相对于现有技术而言， 申请人:对栅极的材料也做出了研宄，最后从众多的材料中寻找到了鉬来做栅极的材料，利用其放气量小、耐高温、材质较硬、不易在高温下变形的性能，网状的结构使得栅极包围的空间增大，有利于电子的穿越，截获电子量少，而且鉬作为栅极板其易加工成型，有利于模具控制尺寸大小一致，提高规管的一致性、稳定性、可靠性。 所述灯丝采用直径0.1mm的鹤丝制成。 所述的壳体组件包括筒状的密封壳，密封壳的顶部设置有法兰盘，密封壳的底部设置有封闭塞，在封闭塞的外侧与密封壳的外侧还设置有加强件。壳体组件可以使整体式的，也可以是多部件式的，其外形也可以根据客户的需求制作成不同的外形。 在所述封闭塞的下方还设置有同轴的定位销，所述栅极管脚、收集极管脚、以及两个电极管脚环绕在定位销外侧。通过设置定位销，可以将规管与其余的监测系统连接，保持相对固定的结构，同时减少管脚受到的外部作用力，避免管脚的损毁。 本技术与现有技术相比，具有如下的优点和有益效果: 本技术一种小型超高真空规管，利用蜂窝状的栅极板结构，栅极上蜂窝状孔的结构远远大于空余孔之间的栅极板材宽度，相当于利用丝状材料编织成的多孔板，这样的板状结构可以使得栅极在加热条件下也保持其结构，不会因为重力的作用而坍塌变形，从而保持测量的稳定性和精度，相对于现有技术而言，测量的真空度量级可以达到KT8Pa的超高真空状态；而且，蜂窝状的栅极结构，其长度远远相对于现有技术中的丝状栅极而言，其长度大大减小，从而减小了整体的体积，有利于规管的小型化。 【专利附图】【附图说明】 此处所说明的附图用来提供对本技术实施例的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本技术实施例的限定。在附图中: 图1为本技术半剖结构示意图。 附图中标记及相应的零部件名称: 1-栅极管脚，2-收集极管脚，3-电极管脚，4-栅极，5-收集极，6-灯丝，7-密封壳，8-法兰盘，9-封闭塞，10-加强件，11-定位销。 【具体实施方式】 为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合实施例和附图，对本技术作进一步的详细说明，本技术的示意性实施方式及其说明仅用于解释本技术，并不作为对本技术的限定。 实施例 如图1所示，本技术一种小型超高真空规管，包括壳体组件，壳体组件包括筒状的密封壳7，密封壳7的顶部设置有法兰盘8，密封壳7的底部设置有封闭塞9，在封闭塞9的外侧与密封壳7的外侧还设置有加强件10，体组件可以使整体式的，也可以是多部件式的，其外形也可以根据客户的需求制作成不同的外形；在封闭塞9上设置有穿过封闭塞9的栅极管脚1、收集极管脚2、以及两个电极管脚3，在封闭壳7内的栅极管脚I上固定有一个的圆桶状栅极4，在封闭壳7内的收集极管脚2上固定有一根位于圆桶状栅极4轴线上的收集极5，收集极5呈针状，在两根电极管脚3之间安装有一根位于圆桶状栅极4外侧的灯丝6，灯丝6采用直径0.1mm的钨丝制成；圆桶状栅极4表面设置有多个均匀分布的孔，圆桶状栅极4的开孔率大于0.9 ;栅极4上蜂窝状孔的结构远远是利用鉬制成的，孔大于空余孔之间的栅极板材宽度，相当于利用丝状材料编织成的多孔板，这样的板状结构可以使得栅极在加热条件下也保持其结构，不会因为重力的作用而坍塌变形，从而保持测量的稳定性和精度，相对于现有技术而言，测量的真空度量级可以达到KT8Pa的超高真空状态；在封闭塞9的下方还设置有同轴的定位销11，栅极管脚1、收集极管脚2、以及两个电极管脚3环绕在定位销11外侧。 以上所述的【具体实施方式】，对本技术的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种小型超高真空规管，包括壳体组件、以及穿过壳体组件的栅极管脚（1）、收集极管脚（2）、以及两个电极管脚（3），其特征在于：在所述的壳体组件内设置有一个固定在栅极管脚（1）上的圆桶状栅极（4），在收集极管脚（2）上固定有一根位于圆桶状栅极（4）轴线上的收集极（5），在两根电极管脚（3）之间安装有一根位于圆桶状栅极（4）外侧的灯丝（6）；所述圆桶状栅极（4）表面设置有多个均匀分布的孔，圆桶状栅极（4）的开孔率大于0.9。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：何居贵，贺良武，柳灵，
申请(专利权)人：成都兴睿宝电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51