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本发明属于真空设备技术领域，公开了一种三氧化二铝薄膜真空规管，包括：外壳、陶瓷片、陶瓷片通孔、三氧化二铝薄膜、第一电极柱、第二电极柱、抽真空口、测量进气口；解决了现有技术中使用金属薄片作为真空规管薄膜，金属薄片应力比较低，容易产生机械疲劳，...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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