一种红外加热灯管装置制造方法及图纸
An infrared heating lamp tube device
The invention relates to the technical field of infrared heating lamp tube, in particular to an infrared heating lamp tube device. The infrared heating lamp device comprises a bottom plate and is arranged on the mounting a plurality of infrared heating lamp on the bottom plate, a plurality of infrared heating lamps are arranged on the mounting plate of the center in the circumferential direction are arranged radially, and the extension line of each of the infrared heating lamps are pointing to the mounting plate the center. The infrared heating tube device of the invention is arranged by arranging the center of the infrared heating tube to the center of the bottom plate in the radial direction, and achieves better temperature uniformity control, and meets the higher process uniformity requirement.
【技术实现步骤摘要】
一种红外加热灯管装置
本专利技术涉及红外加热灯管
，尤其涉及一种红外加热灯管装置。
技术介绍
光电器件、太阳能器件、半导体器件通常利用多种制造工艺处理衬底表面而被制造。外延膜或材料通过化学气相沉积CVD工艺或金属有机物CVD工艺被生长或沉积在衬底上的方法被广泛应用，外延膜或材料通常对于特定的器件，例如光电器件、太阳能器件等都会包括多个不同组分的层。CVD技术常常通过反应类型或者压力来分类，包括低压CVD、常压CVD、等离子体增强CVD、及金属有机化合物CVD等。其共同特征是用于工艺沉积的腔室与大气隔绝，内部用于沉积薄膜工艺的晶片衬底需要加热到一定的工艺温度。因此高温下如何保持温度均匀性，对工艺的结果会产生巨大的影响。对于平板式反应腔室而言，通过使晶片承载器沿着晶片承载器轨道将晶片衬底移送至工艺沉积腔室内，用于支撑晶片衬底的晶片衬托器下表面暴露于从加热灯组件辐射的能量下，同时晶片衬底被晶片衬托器加热至工艺温度。红外加热灯组件布置在晶片承载器轨道的下方，其中包括多个安装高度一样的红外加热灯管。每个灯管可以独立地与电源接通和控制，即通过控制器可以独立地调整流动至每...
【技术保护点】
一种红外加热灯管装置，其特征在于：包括安装底板以及设置在所述安装底板上的多个红外加热灯管，所述的多个红外加热灯管以所述安装底板的中心为圆心按照圆周方向呈放射状排列，且每个所述红外加热灯管的延长线均指向所述安装底板的中心。
【技术特征摘要】
1.一种红外加热灯管装置，其特征在于：包括安装底板以及设置在所述安装底板上的多个红外加热灯管，所述的多个红外加热灯管以所述安装底板的中心为圆心按照圆周方向呈放射状排列，且每个所述红外加热灯管的延长线均指向所述安装底板的中心。2.根据权利要求1所述的红外加热灯管装置，其特征在于：所述的红外加热灯管分成至少两组，各组所述红外加热灯管指向所述安装底板中心的一端分别形成圆形，且各圆形从内外依次布置。3.根据权利要求2所述的红外加热灯管装置，其特征在于：各组所述红外加热灯管远离所述安装底板中心的一端形成圆形或矩形。4.根据权利要求1所述的红外加热灯管装置，其特征在于：各所述红外加热灯管在所述安装底板上沿周向均匀排布。5.根据权利要求1所述的红外加热灯管装置，其特征在于：所述红外加热灯管为...
【专利技术属性】
技术研发人员：董志清，
申请(专利权)人：北京创昱科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11
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