一种激光诱导气相沉积系统的光路控制装置制造方法及图纸

一种激光诱导气相沉积系统的光路控制装置，包括：第一激光器和第二激光器以及沿光路设置的第一反射镜、第二放射镜、透镜、能量传感器、第三反射镜和物镜。由于本申请采用了两个不同类型激光器，即第一激光器用于对产品进行表面微镀膜，第二激光器用于对产品缺陷进行修复，使得激光诱导气相沉积系统满足不同能量和类型激光束的需求，又由于本申请采用了透镜将激光器射出的激光束按预设的比例进行反射和透射，并利用能量传感器根据射入的反射激光束能量大小和预设的比例，计算出透射激光束的能量大小，使得可实时监控照射在待镀物件表面的透射激光束能量大小，控制每次镀膜时所用激光的能量大小，提高镀膜工艺水平和镀膜效率。

A light path control device for laser induced vapor deposition system

A light path control device for laser induced vapor deposition system includes: first laser and second laser, and first reflector, second mirror, lens, energy sensor, third reflector and objective lens along the optical path. Because this application uses two different types of lasers, the first laser used for surface coating of micro products, second laser is used to repair the defects of products, the laser induced chemical vapor deposition system to meet the different types of laser beam and energy demand, and because the application uses a laser beam emitted from the laser lens according to the preset the proportion of reflection and transmission, and use the energy of the sensor according to the reflection energy of the laser beam into the size and the preset proportion, calculate the size of energy transmission of the laser beam, which can monitor the transmission energy of the laser beam irradiation on the surface of the object to be plated size, the size of laser energy by controlling the time of coating, improve the coating level and the low efficiency.

【技术实现步骤摘要】
一种激光诱导气相沉积系统的光路控制装置
本申请涉及激光镀膜
，具体涉及一种激光诱导气相沉积系统的光路控制装置。
技术介绍
在半导体、IC显示器件、光学器件等相关行业，为了修复产品的缺陷，如短路、开路、图形残缺，或在金属、玻璃、陶瓷等材料的表面进行微镀膜，常利用激光诱导气相沉积系统在金属离子气体与待镀物体表面时发生光化学气相沉积，将金属膜镀在待镀物件的表面，从而使得产品的缺陷修复或对材料进行微镀膜。对产品进行表面微镀膜和对产品缺陷进行修复的工艺不同，所需的激光束能量大小也不同，现有的激光诱导气相沉积系统在将金属膜镀在待镀物件的表面时，往往使用相同类型的激光束，而且对激光束的能量大小不能很好控制，也无法获悉所用激光的能量大小，使得镀膜工艺不稳定，镀膜或修复的效果不好，在镀膜过程中也不便于观察镀膜的反应过程，往往需要镀膜完后才能确认效果，使得镀膜效率不高。另外，现有的激光诱导气相沉积系统使用的激光束光点形状单一，形状无法改变。
技术实现思路
本申请提供一种激光诱导气相沉积系统的光路控制装置，在将金属膜镀在待镀物件的表面时，可控制每次镀膜时所用激光的能量大小和观察镀膜的反应过程，提高镀膜工本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光诱导气相沉积系统的光路控制装置，包括用于放置待镀物体的载物平台，其特征在于还包括：第一激光器和第二激光器以及沿光路设置的第一反射镜、第二放射镜、透镜、能量传感器、第三反射镜和物镜；第一激光器用于对产品进行表面微镀膜，第二激光器用于对产品缺陷进行修复，第一激光器与第二激光器呈直角放置；第一激光器射出的激光束与第二激光器射出的激光束交汇处设置第一反射镜，第一反射镜下方设置第二反射镜，第一反射镜将第一激光器射出的激光束或第二激光器射出的激光束反射，到达第二反射镜；所述第一激光器射出的激光束或第二激光器射出的激光束经第二反射镜反射后，到达透镜；所述透镜将所述第一激光器射出的激光束或第二激光器射...

【技术特征摘要】
1.一种激光诱导气相沉积系统的光路控制装置，包括用于放置待镀物体的载物平台，其特征在于还包括：第一激光器和第二激光器以及沿光路设置的第一反射镜、第二放射镜、透镜、能量传感器、第三反射镜和物镜；第一激光器用于对产品进行表面微镀膜，第二激光器用于对产品缺陷进行修复，第一激光器与第二激光器呈直角放置；第一激光器射出的激光束与第二激光器射出的激光束交汇处设置第一反射镜，第一反射镜下方设置第二反射镜，第一反射镜将第一激光器射出的激光束或第二激光器射出的激光束反射，到达第二反射镜；所述第一激光器射出的激光束或第二激光器射出的激光束经第二反射镜反射后，到达透镜；所述透镜将所述第一激光器射出的激光束或第二激光器射出的激光束按预设的比例进行反射和透射，得到反射激光束和透射激光束，所述反射激光束射入能量传感器，所述透射激光束到达第三反射镜；所述透射激光束经第三反射镜反射后达到物镜，所述透射激光束经所述物镜聚焦后照射在载物平台上放置的待镀物体表面，进行激光镀膜；所述反射激光束射入能量传感器后，能量传感器根据射入的反射激光束能量大小和预设的比例，计算出所述透射激光束的能量大小。2.如权利要求1所述的装置，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘世文，刘志奇，
申请(专利权)人：深圳市森美协尔科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44