The present invention provides a method for preparing nano tip array for transparent flexible substrate, realize the preparation of nano tip array on a flexible substrate, a preparation of large area, simple process, which is characterized in that the method comprises the following steps: step 1. through surface self-assembly preparation of PS ball array template step 2.; using oxygen plasma etching and ion beam irradiation to construct nano tip array template on the substrate; the substrate surface in 3. steps with nano tip array template coated with PDMS, then separated PDMS template; step 4. in a transparent flexible substrate coated with a layer of ultraviolet light curing agent, PDMS will die in a transparent flexible substrate, using ultraviolet light irradiation after curing, remove the PDMS template, nano tip array.
【技术实现步骤摘要】
在透明柔性衬底上制备纳米针尖阵列的方法
本专利技术属于纳米材料制备领域,具体涉及在透明柔性衬底上制备纳米针尖阵列的方法。技术背景纳米技术的出现极大的促进了科技的进步,随着技术的不断进步,其加工精度已到达纳米尺度。现在纳米加工技术已经广泛的应用在机械、光学、电子信息、能源等领域。主要加工方法分为物理和化学法两类,包括光刻、聚焦离子束、纳米压印技术、扫描探针加工技术等。高度有序的纳米针尖阵列由于其特异的光学特性使得其在光催化、太阳能电池、光电器件以及SERS等领域都有着重要的应用。但是受限于目前的技术,想要得到大面积、超高均匀度的纳米级针尖阵列仍然是一个挑战。传统制备大面积阵列的方法如:紫外光刻以及聚焦离子束等都有其局限性。光刻技术可以实现大面积高度均匀的阵列,但是对于制备纳米级阵列却难以实现。聚焦离子束统虽然可以实现50纳米以下的阵列结构,但是却无法实现大面积的制备。为了得到大面积、小尺寸的纳米针尖阵列,一些改进的加工技术被引进这样领域。如原子光刻,原子光刻由于其衍射极限很小,可以到达0.1纳米,因此具有极高的分辨率,但是如何获得高强度的原子束流却是一个难题。又如纳米压印,纳米压印可以实现大面积、快速、高精度的纳米结构制备;但是当结构尺度减小到纳米级时成本变得较高。这些改进的方法都有其优势,但是仍然存在一些问题亟需解决。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述问题而进行的,目的在于提供一种在透明柔性衬底上制备纳米针尖阵列的方法,该方法能够实现在柔性衬底上制备纳米针尖阵列,有着制备面积大、工艺简单的特点。本专利技术为了实现上述目的,采用了以下方案:本专利技术提 ...
【技术保护点】
一种在透明柔性衬底上制备纳米针尖阵列的方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1.通过液面自组装制备PS球阵列模板;步骤2.利用氧等离子体刻蚀结合离子束辐照在衬底上构建出纳米针尖阵列模板;步骤3.在表面带有纳米针尖阵列模板的衬底上旋涂PDMS,随后剥离得到PDMS模板;步骤4.在透明柔性衬底上旋涂一层紫外固化光剂,将PDMS模板压在透明柔性衬底上,使用紫外灯辐照固化后,揭下PDMS模板,得到纳米针尖阵列。
【技术特征摘要】
1.一种在透明柔性衬底上制备纳米针尖阵列的方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1.通过液面自组装制备PS球阵列模板;步骤2.利用氧等离子体刻蚀结合离子束辐照在衬底上构建出纳米针尖阵列模板;步骤3.在表面带有纳米针尖阵列模板的衬底上旋涂PDMS,随后剥离得到PDMS模板;步骤4.在透明柔性衬底上旋涂一层紫外固化光剂,将PDMS模板压在透明柔性衬底上,使用紫外灯辐照固化后,揭下PDMS模板,得到纳米针尖阵列。2.根据权利要求1所述的在透明柔性衬底上制备纳米针尖阵列的方法,其特征在于:其中,在步骤2中,采用的离子束为氮离子束,辐照能量为20keV,辐照剂量大于等于3×1016ions/cm2,并且小于1×1017ions/cm2。3.根据权利要求1所述的在透明柔性衬底上制备纳米针尖阵列的方法,其特征在于:其中,在步骤3中,将旋涂有PDMS的衬底放入烘箱...
【专利技术属性】
技术研发人员:肖湘衡,李文庆,蒋昌忠,
申请(专利权)人:武汉大学,武汉大学苏州研究院,
类型:发明
国别省市:湖北,42
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