下载在透明柔性衬底上制备纳米针尖阵列的方法的技术资料

文档序号:17509738

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本发明提供了一种透明柔性衬底上制备纳米针尖阵列的方法,实现在柔性衬底上制备纳米针尖阵列,有着制备面积大、工艺简单的特点,其特征在于,该方法包括以下步骤:步骤1.通过液面自组装制备PS球阵列模板;步骤2.利用氧等离子体刻蚀结合离子束辐照在衬底...
该专利属于武汉大学;武汉大学苏州研究院所有,仅供学习研究参考,未经过武汉大学;武汉大学苏州研究院授权不得商用。

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