一种用于直拉单晶炉电极装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于直拉单晶炉电极装置，主要内容为：包括炉底、铜电极、碳膜、石墨螺丝、加热器和石墨电极；所述铜电极底端固定安装在炉底上，石墨电极中心轴线上靠近底端设有螺纹孔，铜电极顶端安装在石墨电极的底端螺纹孔内，石墨电极的高度为120mm，碳膜中心设有安装孔，碳膜安装在石墨电极的顶面上，石墨电极中心轴线上靠近顶端设有螺纹孔，加热器通过石墨螺丝固定安装在碳膜的顶面上且其底部安装在石墨电极靠近顶端的螺纹孔内，石墨电极靠近上端螺纹孔与靠近下端螺纹孔通过直径为10mm的圆柱孔相通。

An electrode device for Czochralski single crystal furnace

The invention discloses a method for Czochralski single-crystal furnace electrode device, the main contents are as follows: include the bottom electrode, carbon film, copper, graphite screws, heater and graphite electrode; the copper electrode is fixed on the bottom of the installation at the bottom of the furnace, graphite electrode on the central axis near the bottom end is provided with a thread hole, the copper electrode is fixed on the top end the threaded hole in the graphite electrode bottom, graphite electrode height is 120mm, the carbon film center is provided with a mounting hole, carbon film is installed on the top surface of the graphite electrode, graphite electrode on the central axis near the top is provided with a screw hole, the top surface of the heater is fixed on the carbon film by graphite and the screw thread hole is arranged at the bottom near the top of the graphite electrode, graphite electrode near the upper screw hole and near the lower end of the threaded hole by the diameter of the cylindrical hole is communicated with the 10mm.

【技术实现步骤摘要】
一种用于直拉单晶炉电极装置
本专利技术涉及直拉单晶炉
，具体地说，特别涉及一种用于直拉单晶炉电极装置。
技术介绍
目前在生产单晶硅棒中，电极是必须要使用的一种石墨件，电极的高低可以决定一部分功率，目前投料在95-100公斤，等晶功率普遍在75kw-88kw左右，每炉电费占成本的50％。现有的电极太高，把所有的石墨热场都相应的抬高了，使炉内温度在总体上向上抬高了，耗能大，能源利用率低，严重的加重了企业成本。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足，提供一种用于直拉单晶炉电极装置，其通过将电极高度改成120mm，加快了导电速度，降低了等晶功率，节约了企业成本。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种用于直拉单晶炉电极装置，包括炉底、铜电极、碳膜、石墨螺丝、加热器和石墨电极；所述铜电极底端固定安装在炉底上，所述石墨电极中心轴线上靠近底端设有螺纹孔，所述铜电极顶端安装在石墨电极的底端螺纹孔内，所述石墨电极的高度为120mm，所述碳膜中心设有安装孔，碳膜安装在石墨电极的顶面上，所述石墨电极中心轴线上靠近顶端设有螺纹孔，所述加热器通过石墨螺丝固定安装在碳本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于直拉单晶炉电极装置，其特征在于：包括炉底、铜电极、碳膜、石墨螺丝、加热器和石墨电极；所述铜电极底端固定安装在炉底上，所述石墨电极中心轴线上靠近底端设有螺纹孔，所述铜电极顶端安装在石墨电极的底端螺纹孔内，所述石墨电极的高度为120mm，所述碳膜中心设有安装孔，碳膜安装在石墨电极的顶面上，所述石墨电极中心轴线上靠近顶端设有螺纹孔，所述加热器通过石墨螺丝固定安装在碳膜的顶面上且其底部安装在石墨电极靠近顶端的螺纹孔内，所述石墨电极靠近上端螺纹孔与靠近下端螺纹孔通过直径为10mm的圆柱孔相通。

【技术特征摘要】
1.一种用于直拉单晶炉电极装置，其特征在于：包括炉底、铜电极、碳膜、石墨螺丝、加热器和石墨电极；所述铜电极底端固定安装在炉底上，所述石墨电极中心轴线上靠近底端设有螺纹孔，所述铜电极顶端安装在石墨电极的底端螺纹孔内，所述石墨电极的高度为120mm，所述碳膜中心设有安装孔，碳膜安装在石墨电极的顶面上，所述石墨电极中心轴线上靠近顶端设有螺纹孔，所述加热器通过石墨螺丝固定安装在碳膜的顶面上且其底部安装在石墨电...

【专利技术属性】
技术研发人员：施小红，
申请(专利权)人：扬中市惠丰包装有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32