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一种用于直拉单晶炉电极装置制造方法及图纸
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下载一种用于直拉单晶炉电极装置的技术资料
文档序号:17460339
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本发明公开了一种用于直拉单晶炉电极装置,主要内容为:包括炉底、铜电极、碳膜、石墨螺丝、加热器和石墨电极;所述铜电极底端固定安装在炉底上,石墨电极中心轴线上靠近底端设有螺纹孔,铜电极顶端安装在石墨电极的底端螺纹孔内,石墨电极的高度为120mm...
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