The utility model discloses a plasma etching chamber negative plate fixing structure, including the negative plates are connected by a connecting bolt and a mounting plate, the mounting plate is provided with a through hole, a negative board vertical section is \hole\ font on the through hole is arranged at the position of the upper end of the base hole, open mouth, have clearance is left between the bottom and the bottom wall of the negative plate; the nut base is embedded with a cylindrical hole, the longitudinal cross section of a \T\ type, the plug bolt is connected with a nut seat at the lower end of the plug nut vertical upward on the wall of the end face of the bolt cap and the base hole under the installation cavity at ground; connecting bolts from the mounting plate upside down through the hole, and a screw thread connecting nut. Avoid component connecting structure exposed in the internal reaction gas etching cavity, prevent erosion, relatively prolongs the service life of the nut seat circumferential and axial direction at the same time, reduce the vibration offset, further improve the etching quality, improve the reliability and stability of the system, has great practical value.
【技术实现步骤摘要】
等离子蚀刻腔负极板固定结构
本技术属于半导体晶片蚀刻装置
,具体涉及一种等离子蚀刻腔负极板固定结构。
技术介绍
等离子蚀刻腔被广泛应用在常规半导体晶片的蚀刻处理工序中,在蚀刻腔内的上壁和下壁分别固定有水平设置的负极板和正极板,蚀刻时,半导体晶片放置在正极板上,往蚀刻腔中注入反应气体,同时,对正极板和负极板施加高频电压,使其产生等离子体,达到等离子蚀刻的效果。传统装置中负极板通过螺栓与安装板固定连接后安装都蚀刻腔上,安装板和负极板上加工有对应的通孔,然后在通孔处穿设螺栓,在螺栓尾端拧上螺帽来固定,而螺帽一端通常处于蚀刻腔内,暴露在蚀刻腔中,存在被腐蚀风险,同时负极板下部有开孔,在压力温度等作用下,容易破损,而螺栓与螺帽连接处则容易因为腐蚀发生磨损,从而发生螺栓或者螺帽脱离,导致负极板掉落发生损伤,甚至砸坏半导体晶片等情况。
技术实现思路
为解决以上技术问题,本技术提供了一种等离子蚀刻腔负极板固定结构,简化固定结构,同时保证固定连接可靠,延长连接部位的寿命,降低部件损耗率。为实现上述目的,本技术技术方案如下:一种等离子蚀刻腔负极板固定结构,包括通过连接螺栓相互连接的负极板和安装板,负极板位于安装板的下方,安装板上开设有通孔,其关键在于:所述负极板正对通孔的位置开设有纵向截面呈“工”字型的基孔,基孔的上端敞口,下端与负极板底壁之间留有间隙;所述基孔包括水平设置的上安装腔、下安装腔以及竖直地连接在该上安装腔和下安装腔之间的中间安装腔,基孔内嵌设有圆柱状的螺母座,其纵向截面呈“T”字型,并与所述基孔同轴设置,螺母座的上端台阶位于上安装腔内,其下端位于中间安装腔内,该螺 ...
【技术保护点】
一种等离子蚀刻腔负极板固定结构,包括通过连接螺栓(5)相互连接的负极板(1)和安装板(2),负极板(1)位于安装板(2)的下方,安装板(2)上开设有通孔(20),其特征在于:所述负极板(1)正对通孔(20)的位置开设有纵向截面呈“工”字型的基孔(10),基孔(10)的上端敞口,下端与负极板(1)底壁之间留有间隙;所述基孔(10)包括水平设置的上安装腔(100)、下安装腔(102)以及竖直地连接在该上安装腔(100)和下安装腔(102)之间的中间安装腔(101),基孔(10)内嵌设有圆柱状的螺母座(3),其纵向截面呈“T”字型,并与所述基孔(10)同轴设置,螺母座(3)的上端台阶位于上安装腔(100)内,其下端位于中间安装腔(101)内,该螺母座(3)下端端部连接有堵头螺栓(4),堵头螺栓(4)竖直朝上,其栓帽(40)的上端面(401)与下安装腔(102)的上壁抵接;所述连接螺栓(5)从安装板(2)上侧向下穿过通孔(20)后,与螺母座(3)螺纹连接。
【技术特征摘要】
1.一种等离子蚀刻腔负极板固定结构,包括通过连接螺栓(5)相互连接的负极板(1)和安装板(2),负极板(1)位于安装板(2)的下方,安装板(2)上开设有通孔(20),其特征在于:所述负极板(1)正对通孔(20)的位置开设有纵向截面呈“工”字型的基孔(10),基孔(10)的上端敞口,下端与负极板(1)底壁之间留有间隙;所述基孔(10)包括水平设置的上安装腔(100)、下安装腔(102)以及竖直地连接在该上安装腔(100)和下安装腔(102)之间的中间安装腔(101),基孔(10)内嵌设有圆柱状的螺母座(3),其纵向截面呈“T”字型,并与所述基孔(10)同轴设置,螺母座(3)的上端台阶位于上安装腔(100)内,其下端位于中间安装腔(101)内,该螺母座(3)下端端部连接有堵头螺栓(4),堵头螺栓(4)竖直朝上,其栓帽(40)的上端面(401)与下安装腔(102)的上壁抵接;所述连接螺栓(5)从安装板(2)上侧向下穿过通孔(20)后,与螺母座(3)螺纹...
【专利技术属性】
技术研发人员:许赞,
申请(专利权)人:重庆臻宝实业有限公司,许赞,
类型:新型
国别省市:重庆,50
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