【技术实现步骤摘要】
本申请是2013年03月12日提出的申请号为201310077535.4的同名申请的分案申请。
本专利技术涉及对被处理基板实施等离子体处理的技术,特别涉及电感耦合型的等离子体处理装置。
技术介绍
在半导体器件或FPD(FlatPanelDisplay:平板显示器)的制造工艺中的蚀刻、沉积、氧化、溅射等处理中,为了使处理气体在比较低的温度下良好地进行反应,常利用等离子体。一直以来,在这种等离子体处理中,多使用由MHz区域的高频放电产生的等离子体。高频放电产生的等离子体按照具体(装置方面)的等离子体生成法可大致分为电容耦合型等离子体和电感耦合型等离子体。一般而言,在电感耦合型的等离子体处理装置中,以处理容器的壁部的至少一部分(例如顶部)构成电介质的窗,对设置在该电介质窗外的线圈状的RF天线供给高频电力。处理容器构成为可减压的真空腔室,在腔室内的中央部配置有被处理基板(例如半导体晶片、玻璃基板等),处理气体被导入到设定在电介质窗与基板之间的处理空间内。利用在RF天线中流通的RF电流,在RF天线的周围产生RF磁场,该RF磁场的磁力线以贯穿电介质窗的方式通过腔室内的处理空间,利用该RF磁场的时间上的变化在处理空间内在方位角方向产生感应电场。然后,被该感应电场在方位角方向上加速的电子与处理气体的分子或原子发生电离碰撞,生成环形(doughnut)的等离子体。由于在腔室内设置有较大的处理空间,上述 ...
【技术保护点】
一种等离子体处理装置,其特征在于,包括:至少一部分由电介质窗构成的能够进行真空排气的处理容器;在所述处理容器内保持被处理基板的基板保持部;向所述处理容器内供给所希望的处理气体的处理气体供给部,用于对所述基板实施所希望的等离子体处理;设置在所述电介质窗外的RF天线,用于在所述处理容器内通过电感耦合生成处理气体的等离子体;和向所述RF天线供给频率适合于所述处理气体的高频放电的高频电力的高频供电部,其中所述RF天线具有:相互接近且平行延伸,在线圈周方向的相同位置存在切口的第一线圈导体和第二线圈导体;将所述第一线圈导体和第二线圈导体各自的与所述切口邻接的一个线圈端部共同连接的第一连接导体;将所述第一线圈导体和第二线圈导体各自的与所述切口邻接的另一个线圈端部共同连接的第二连接导体;从所述第一连接导体向所述切口的间隙内延伸,并与来自所述高频供电部的第一高频供电线连接的第三连接导体;和从所述第二连接导体向所述切口的间隙内延伸,并与来自所述高频供电部的第二高频供电线连接的第四连接导体。
【技术特征摘要】
2009.10.27 JP 2009-2460141.一种等离子体处理装置,其特征在于,包括:
至少一部分由电介质窗构成的能够进行真空排气的处理容器;
在所述处理容器内保持被处理基板的基板保持部;
向所述处理容器内供给所希望的处理气体的处理气体供给部,用
于对所述基板实施所希望的等离子体处理;
设置在所述电介质窗外的RF天线,用于在所述处理容器内通过电
感耦合生成处理气体的等离子体;和
向所述RF天线供给频率适合于所述处理气体的高频放电的高频
电力的高频供电部,其中
所述RF天线具有:
相互接近且平行延伸,在线圈周方向的相同位置存在切口的第一
线圈导体和第二线圈导体;
将所述第一线圈导体和第二线圈导体各自的与所述切口邻接的一
个线圈端部共同连接的第一连接导体;
将所述第一线圈导体和第二线圈导体各自的与所述切口邻接的另
一个线圈端部共同连接的第二连接导体;
从所述第一连接导体向所述切口的间隙内延伸,并与来自所述高
频供电部的第一高频供电线连接的第三连接导体;和
从所述第二连接导体向所述切口的间隙内延伸,并与来自所述高
频供电部的第二高频供电线连接的第四连接导体。
2.如权利要求1所述的等离子体处理装置,其特征在于:
所述第三连接导体与所述第一高频供电线连接的位置和所述第四
连接导体与所述第二高频供电线连接的位置在线圈周方向上重合。
3.如权利要求1或2所述的等离子体处理装置,其特征在于:
所述第一线圈导体和第二线圈导体相互配置成同心状,并在径向
上邻接。
4.一种等离子体处理装置,其特征在于,包括:
至少一部分由电介质窗构成的能进行真空排气的处理容器;
在所述处理容器内保持被处理基板的基板保持部;
向所述处理容器内供给所希望的处理气体的处理气体供给部,用
于对所述基板实施所希望的等离子体处理;
设置在所述电介质窗外的RF天线,用于在所述处理容器内通过电
感...
【专利技术属性】
技术研发人员:山泽阳平,传宝一树,山涌纯,
申请(专利权)人:东京毅力科创株式会社,
类型:发明
国别省市:日本;JP
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