The invention discloses a preparation method of molybdenum target, the method comprises the following steps: first, the molybdenum disulfide powder by vacuum heat treatment; two, MoS2 powder vacuum low temperature after heat treatment of the protective atmosphere sintering, get the billet three, molybdenum disulfide; molybdenum disulfide blank machining and cleaning, eventually get the MoS2 target. The invention directly prepared by hot pressing method to protect the atmosphere MoS2 target, a molding, without ball milling of MoS2 powder or pressed blank, shorten the process, avoid the MoS2 decomposition, increase density of production efficiency and quality target; the purity and density of MoS2 target of the method get higher, and the controllable size and shape, suitable for large-scale production.
【技术实现步骤摘要】
一种二硫化钼靶材的制备方法
本专利技术属于靶材制备
，具体涉及一种二硫化钼靶材的制备方法。
技术介绍
二硫化钼是一种重要的固体润滑剂，被誉为“高级固体润滑油王”，可添加在各种油脂里，形成绝不粘结的胶体状态，增加油脂的润滑性和极压性，适用于高温、高压、高转速和高负荷的机械工作状态。二硫化钼薄膜具有承载能力高、摩擦因数低的优点，可大大降低工件表面的摩擦和磨损，提高工件的使用效率，延长工件的使用寿命，是空间精密机械应用最广的润滑薄膜材料之一，常应用于真空环境的摩擦磨损工件和太空飞行器上，包括卫星活动部件和精密滚动轴承等真空润滑。目前，二硫化钼薄膜主要通过溅射沉积技术制备得到，该技术制备的二硫化钼薄膜厚度均匀，可控性强，非常适用于空间精密活动件如滚动轴承、精密齿轮等表面的润滑改性。近年来，随着二硫化钼薄膜在光电储能和柔性透明电子等高精尖领域的应用，二硫化钼薄膜材料成为研究热点。二硫化钼薄膜材料的质量不仅与溅射工艺有关，还受到溅射靶材的影响。二硫化钼溅射靶材通常由二硫化钼粉末压制烧结而成，市售二硫化钼粉末大多采用天然法由辉钼矿除杂得到，质量纯度较低；而采用合成法得到的...
【技术保护点】
一种二硫化钼靶材的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：步骤一、将二硫化钼粉末进行真空低温热处理；步骤二、将步骤一中经真空低温热处理后的二硫化钼粉末进行保护气氛热压烧结，得到二硫化钼坯料；步骤三、将步骤二中得到的二硫化钼坯料进行机械加工和清洗，最终得到二硫化钼靶材。
【技术特征摘要】
1.一种二硫化钼靶材的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：步骤一、将二硫化钼粉末进行真空低温热处理；步骤二、将步骤一中经真空低温热处理后的二硫化钼粉末进行保护气氛热压烧结，得到二硫化钼坯料；步骤三、将步骤二中得到的二硫化钼坯料进行机械加工和清洗，最终得到二硫化钼靶材。2.根据权利要求1所述的一种二硫化钼靶材的制备方法，其特征在于，步骤一中所述二硫化钼粉末的质量纯度大于99.0％，平均粒径为0.5μm～50μm。3.根据权利要求1所述的一种二硫化钼靶材的制备方法，其特征在于，步...
【专利技术属性】
技术研发人员：崔玉青，席莎，安耿，李晶，朱琦，王娜，武洲，
申请(专利权)人：金堆城钼业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：陕西,61
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