一种带膜厚修正功能的柱形靶旋转挡板制造技术

本发明专利技术公开了一种带膜厚修正功能的柱形靶旋转挡板，包括半环形挡板、两个条状件和膜厚修正板；所述的半环形挡板的横截面为半多边形或者半圆形；所述的两个条状件的延伸方向与半环形挡板的延伸方向相同，且分别与所述半环形挡板的两个端部相连；所述膜厚修正板包括弧形状的第一修正板和第二修正板，所述第一修正板与第二修正板结构相同，且二者对称设置，二者展平后均呈等腰梯形状，等腰梯形的长边与条状件相连，等腰梯形上与前述长边相对的短边处于自由状态，且所述短边的长度与柱形靶上膜厚大于设定值的厚膜的竖直长度相等。本发明专利技术结构简单，将膜厚修正板集成安装在挡板上，在对膜厚修正板进行调整、安装和维护时，无需对柱形靶进行拆装，从而大大减小了工作量。

【技术实现步骤摘要】
一种带膜厚修正功能的柱形靶旋转挡板
本专利技术属于溅射镀膜挡板
，具体涉及一种带膜厚修正功能的柱形靶旋转挡板。
技术介绍
利用现有技术进行柱形靶在溅射镀膜工艺时，很容易出现靶平行的方向上膜厚呈现中间厚、两端薄的膜厚不均的现象。为了解决此技术问题，现有技术中，一般需要通过在设备内安装膜厚修正挡板，来缓解前述的膜厚不均匀的问题，但是安装在设备内时，对膜厚修正挡板的调整、安装和维护需要先将柱形靶拆除，然后再进行后续的工作，因而存在工作量较大的问题。
技术实现思路
针对上述问题，本专利技术提出一种带膜厚修正功能的柱形靶旋转挡板，其结构简单，将膜厚修正板集成安装在挡板上，在对膜厚修正板进行调整、安装和维护时，无需对柱形靶进行拆装，从而大大减小了工作量。实现上述技术目的，达到上述技术效果，本专利技术通过以下技术方案实现：一种带膜厚修正功能的柱形靶旋转挡板，包括半环形挡板、两个条状件和膜厚修正板；所述的半环形挡板的横截面为半多边形或者半圆形；所述的两个条状件的延伸方向与半环形挡板的延伸方向相同，且分别与所述半环形挡板的两个端部相连；所述膜厚修正板包括弧形状的第一修正板和第二修正板，所述第一修正板与第二修正板结构相同，且二者对称设置，二者展平后均呈等腰梯形状，等腰梯形的长边与条状件相连，等腰梯形上与前述长边相对的短边处于自由状态，且所述短边的长度与柱形靶上膜厚大于设定值的厚膜的竖直长度相等。进一步地，所述半环形挡板的横截面为半八边形。进一步地，所述第一修正板和第二修正板分别与对应的条状件活动相连。进一步地，所述第一修正板和第二修正板分别与对应的条状件之间为螺纹连接。进一步地，所述条状件为不锈钢竖条或者铝竖条。进一步地，所述第一修正板和第二修正板上的短边与半环形挡板之间的距离根据溅射膜厚在竖直方向的分布调整，且所述短边的长度与柱形靶上膜厚大于设定值的厚膜的竖直长度相等。本专利技术的有益效果：本专利技术提出了一种带膜厚修正功能的柱形靶旋转挡板，将膜厚修正板集成安装在挡板上，在对膜厚修正板进行调整、安装和维护时，不需要对柱形靶进行拆装工作，从而大大减小了工作量。附图说明图1为本专利技术一种实施例的带膜厚修正功能的柱形靶旋转挡板的整体结构示意图；图2为本专利技术一种实施例的带膜厚修正功能的柱形靶旋转挡板的俯视图；图3为本专利技术一种实施例的带膜厚修正功能的柱形靶旋转挡板的侧视图。具体实施方式为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。下面结合附图对本专利技术的应用原理作详细的描述。由于现有技术中很容易出现靶平行的方向上膜厚呈现中间厚(厚膜)、两端薄(薄膜)的膜厚不均的现象，如图1-3所示，本专利技术提出一种带膜厚修正功能的柱形靶旋转挡板，包括半环形挡板1、两个条状件2和膜厚修正板3；所述的半环形挡板1的横截面为半多边形或者半圆形；如图1所示，在本专利技术的一种具体实施例中，所述半环形挡板1的横截面为八边形，能够消除挡板开口处应力不均的问题，大大提高半环形挡板1的强度，起到加强筋的作用；所述的两个条状件(201，202)的延伸方向与半环形挡板1的延伸方向相同，且分别与所述半环形挡板1的两个端部相连，优选与端部的边缘相连，具体参见图2，所述两个条状件2用于起加强筋作用，防止由于长时间使用，导致本专利技术的柱形靶旋转挡板结构变形，从而影响使用；所述膜厚修正板3包括弧形状的第一修正板301和第二修正板302，所述第一修正板301与第二修正板302结构相同，且二者对称设置，二者展平后均呈等腰梯形状，等腰梯形的长边与条状件2相连，等腰梯形上与前述长边相对的短边处于自由状态，第一修正板301和第二修正板302的短边之间存在距离，共同形成膜厚修正板开口，且所述短边的长度与柱形靶上膜厚大于设定值的厚膜的竖直长度相等，且所述第一修正板301和第二修正板302上的短边与半环形挡板1之间的距离根据溅射膜厚在竖直方向的分布调整，当柱形靶溅射时，由第一修正板301和第二修正板302上的对靶的溅射材料进行遮挡，从而达到膜厚修正的功能。为了便于维修和拆装，在本专利技术的一种具体实施例中，所述第一修正板301和第二修正板302分别与对应的条状件2活动相连；进一步地，所述第一修正板301和第二修正板302分别与对应的条状件2之间为螺纹连接。在本专利技术的一种具体实施例中，所述条状件2为不锈钢竖条或者铝竖条。综上所述，本专利技术的工作原理具体为：正常工作时，对于常规的中间膜厚大两侧膜厚小的柱形靶，所述第一修正板和第二修正板上短边用于挡掉中间溅射的部分材料从而与两侧溅射的膜厚相同，最终达到均匀状态；当需要调整、安装和维护时，只需要把第一修正板和第二修正板拆下即可，不需要对靶进行拆装。以上显示和描述了本专利技术的基本原理和主要特征和本专利技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本专利技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本专利技术的原理，在不脱离本专利技术精神和范围的前提下，本专利技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本专利技术范围内。本专利技术要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种带膜厚修正功能的柱形靶旋转挡板，其特征在于：包括半环形挡板、两个条状件和膜厚修正板；所述的半环形挡板的横截面为半多边形或者半圆形；所述的两个条状件的延伸方向与半环形挡板的延伸方向相同，且分别与所述半环形挡板的两个端部相连；所述膜厚修正板包括弧形状的第一修正板和第二修正板，所述第一修正板与第二修正板结构相同，且二者对称设置，二者展平后均呈等腰梯形状，其中，等腰梯形的长边与条状件相连，等腰梯形上与前述长边相对的短边处于自由状态，且所述短边的长度与柱形靶上膜厚大于设定值的厚膜的竖直长度相等。

【技术特征摘要】
1.一种带膜厚修正功能的柱形靶旋转挡板，其特征在于：包括半环形挡板、两个条状件和膜厚修正板；所述的半环形挡板的横截面为半多边形或者半圆形；所述的两个条状件的延伸方向与半环形挡板的延伸方向相同，且分别与所述半环形挡板的两个端部相连；所述膜厚修正板包括弧形状的第一修正板和第二修正板，所述第一修正板与第二修正板结构相同，且二者对称设置，二者展平后均呈等腰梯形状，其中，等腰梯形的长边与条状件相连，等腰梯形上与前述长边相对的短边处于自由状态，且所述短边的长度与柱形靶上膜厚大于设定值的厚膜的竖直长度相等。2.根据权利要求1所述的一种带膜厚修正功能的柱形靶旋转挡板，其特征在于：所述半环形挡板的横截面为半...

【专利技术属性】
技术研发人员：李东滨，秦正春，吴疆，冯斌，王德苗，金浩，
申请(专利权)人：苏州求是真空电子有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32