研磨垫以及研磨方法技术

本发明专利技术提供一种研磨垫，其在对表面具有凸部和凹部中的至少一者的研磨对象物进行研磨时，能够充分研磨至研磨对象物的表面中凸部的附近部分、凹部的内表面。研磨垫具有立毛部(1)，所述立毛部(1)是多个长度为2mm以上的纤维(12)在基部(11)的表面立起而成的，纤维(12)的质量为250g/m

Grinding pad and grinding method

The present invention provides a polishing pad, the grinding in grinding object has at least one convex and concave on the surface, can be fully grinding and polishing object surface of convex concave part, near the inner surface. The grinding pad has a vertical hair part (1), and the vertical hair part (1) is made up of several fibers (12) above 2mm in length, and is made up on the surface of the base part (11), and the quality of the fiber (12) is 250g/m.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】研磨垫以及研磨方法
本专利技术涉及研磨垫以及研磨方法。
技术介绍
使用例如由绒面革构成的以往的研磨垫对表面具有凸部的研磨对象物进行研磨时，虽然能够对研磨对象物的大部分表面进行研磨，但是对于研磨对象物的表面中凸部的附近部分，由于研磨垫的变形性不充分，因此有时研磨垫不与其接触，不能充分研磨。若使用具有纤维立起的立毛部的布帛(例如参照专利文献1)作为研磨垫，则由于立毛部的变形性高，因此可能立毛部也会接触研磨对象物的表面中凸部的附近部分。但是，在使用了专利文献1中公开的布帛作为研磨垫的研磨中，根据凸部的形状、大小不同，有时不能对研磨对象物表面中凸部的附近部分进行充分研磨。对表面具有凹部的研磨对象物进行研磨时也同样，使用了由绒面革构成的以往的研磨垫的研磨中、使用了专利文献1中公开的布帛作为研磨垫的研磨中，有时不能充分研磨至凹部的内表面。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利公开公报2010年第53502号
技术实现思路
专利技术要解决的问题因此，本专利技术的课题在于，解决如上所述的现有技术所具有的问题，提供一种在对表面具有凸部和凹部中的至少一者的研磨对象物进行研磨时，能够充分研磨至研磨对象物的表面中凸部的附近部分、凹部的内表面的、研磨垫以及研磨方法。用于解决问题的方案为了解决前述问题，本专利技术的一个方案的研磨垫的主旨在于，该研磨垫用于含有金属、合金、或者金属氧化物材料、且表面具有凸部和凹部中的至少一者的研磨对象物的研磨，所述研磨垫具有立毛部，所述立毛部是多个长度为2mm以上的纤维在基部的表面立起而成的，纤维的质量为250g/m2以上。另外，本专利技术的另一方案的研磨方法的主旨在于，使用上述一个方案的研磨垫对研磨对象物进行研磨。专利技术的效果根据本专利技术，在表面具有凸部和凹部中的至少一者的研磨对象物的研磨中，能够充分研磨至研磨对象物的表面中凸部的附近部分、凹部的内表面。附图说明图1为说明本专利技术的研磨垫的一个实施方式的图。图2为说明表面具有凸部的研磨对象物的图。图3为说明本专利技术的研磨方法的一个实施方式的图，为说明对表面具有凸部的研磨对象物进行研磨的方法的图。图4为说明表面具有凹部的研磨对象物的图。图5为说明本专利技术的研磨方法的一个实施方式的图，为说明对表面具有凹部的研磨对象物进行研磨的方法的图。具体实施方式对本专利技术的一个实施方式进行详细说明。需要说明的是，以下实施方式是本专利技术的一个示例，本专利技术不限于本实施方式。另外，可以对以下实施方式施加各种变更或者改良，这种施加了变更或改良的方式也包括在本专利技术中。如图1所示，本实施方式的研磨垫具有立毛部1，该立毛部是多个长度L为2mm以上的纤维12在基部11的表面立起而成的。在基部11的表面立起的长度L为2mm以上的纤维12的质量为250g/m2以上。使用由绒面革、无纺布、聚氨酯等构成的以往的研磨垫对图2所示那样的表面具有凸部21的研磨对象物2、图4所示那样的表面具有凹部22的研磨对象物2进行研磨时，由于研磨垫的变形性不充分，因此存在研磨垫的形状不能追随凸部21、凹部22的形状，研磨垫不与研磨对象物2的表面中凸部21的附近部分(即，凸部21的基端部的周边部分)、凹部22的内表面接触，存在无法研磨的情况。但是，若使用上述那样构成的本实施方式的研磨垫对表面具有凸部21和凹部22中的至少一者的研磨对象物2进行研磨，则纤维12发生变形而立毛部1凹陷，从而追随凸部21、凹部22的形状，因此研磨垫也能够与研磨对象物2的表面中凸部21的附近部分、凹部22的内表面接触，进行充分地研磨。需要说明的是，绒面革不具有立毛部，其是在基材上设置具有大量孔隙的发泡聚氨酯层而成的。该发泡聚氨酯层的厚度通常为1mm以下，且最大也小于2mm。以下对本实施方式的研磨垫、研磨对象物、研磨方法等进一步详细地进行说明。(1)关于研磨垫对于纤维12的长度L，为了能够对研磨对象物2的表面中凸部21的附近部分、凹部22的内表面进行充分地研磨，可以根据凸部21、凹部22的形状、大小进行选择。若纤维12的长度L为2mm以上(更优选为10mm以上)，则研磨垫的变形性变得充分，因此研磨垫追随各种形状、大小的凸部21、凹部22而变形，能够对研磨对象物2的表面中凸部21的附近部分、凹部22的内表面进行充分研磨。需要说明的是，纤维12的长度L是根据凸部21的高度、凹部22的深度进行选择的。例如，若凸部21的高度、凹部22的深度大至1mm以上，则纤维的长度L长为5.5mm以上较好。若凸部21的高度、凹部22的深度小为0.5mm以下，则纤维的长度L可以短为3mm以上。关于在基部11的表面立起的纤维的长度，所有纤维的长度可以相同，也可以是不同长度的纤维混合。另外，在基部11的表面立起的纤维可以仅是长度L为2mm以上的纤维12，也可以是长度L为2mm以上的纤维12和长度L小于2mm的纤维这两者。另外，在基部11的表面立起的长度L为2mm以上的纤维12的质量若为250g/m2以上，则长纤维12的量变得足够，因此能够对研磨对象物2的表面中凸部21的附近部分、凹部22的内表面进行充分研磨。需要说明的是，在基部11的表面立起的长度L为2mm以上的纤维12的质量优选设为500g/m2以上，更优选设为800g/m2以上。进而，在基部11的表面立起的长度L为2mm以上的纤维12的根数可以为1000根/cm2以上。在基部11的表面立起的长度L为2mm以上的纤维12的根数若为1000根/cm2以上，则长纤维12的量(密度)足够，能够对研磨对象物2的表面中凸部21的附近部分、凹部22的内表面进行充分研磨。需要说明的是，在基部11的表面立起的长度L为2mm以上的纤维12的根数优选设为2000根/cm2以上，更优选设为4000根/cm2以上，进一步优选设为5000根/cm2以上。另外，可以将纤维12一根一根地分别安装在基部11上，也可以将多根捆成束状物或者将多根捻合成绳状物，并将该多个束状物或者绳状物安装在基部11上。若将多根纤维捻合，则强度增大，因此研磨速度提高。若不进行捻合，则纤维接触研磨对象物的次数增多，因此存在研磨后的研磨对象物的表面粗糙度降低、光泽度增加的情况。将束状物或者绳状物安装在基部11上时，上述纤维12的根数是指纤维12的根数，而不是束状物、绳状物的数量。另外，在基部11的表面立起的纤维12的长度L可以为凸部21的高度或者凹部22的深度的5.5倍以上。若为这样的构成，则相对于凸部21的高度或者凹部22的深度，在基部11的表面立起的纤维12的长度足够大，因此研磨垫的变形性变得更高。因此，研磨垫追随凸部21、凹部22并充分变形，能够更充分地对研磨对象物2的表面中凸部21的附近部分、凹部22的内表面进行研磨。需要说明的是，在基部11的表面立起的纤维12的长度L更优选设为凸部21的高度或者凹部22的深度的7倍以上。基部11的材质没有特别限定，例如可以使用无纺布等布、麻等天然原材料、橡胶等树脂等。另外，纤维12的种类没有特别限定，可以使用羊毛、丝、麻、棉、马毛、猪毛、山羊毛、Bellahair、帕奎因(Tampico)、棕榈、蕨等的天然纤维、聚酯(聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸丁二醇酯、聚乳酸等)、聚酰胺(尼龙、本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种研磨垫，其用于含有金属、合金、或者金属氧化物材料、且表面具有凸部和凹部中的至少一者的研磨对象物的研磨，所述研磨垫具有立毛部，所述立毛部是多个长度为2mm以上的纤维在基部的表面立起而成的，所述纤维的质量为250g/m

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.07.17 JP 2015-143464;2016.03.28 JP 2016-064311.一种研磨垫，其用于含有金属、合金、或者金属氧化物材料、且表面具有凸部和凹部中的至少一者的研磨对象物的研磨，所述研磨垫具有立毛部，所述立毛部是多个长度为2mm以上的纤维在基部的表面立起而成的，所述纤维的质量为250g/m2以上。2.根据权利要求1所述的研磨垫，其中，所述纤维的长度为10mm以上。3.根据权利要求1或2所述的研磨垫，其中，所述纤维的质量为800g/m2以上。4.根据权利要求1～3中任一项所述的研磨垫，其中，所述纤维的根数为1000根/cm2以上。5.根据权利要求1～3中任一项所述的研磨垫，其中，所述纤维的根数为4000根/cm2以上。6.根据权利要求1～5中任一项所述的研磨垫，其具有多层结构，所述多层结构是在所述基部的与所述纤维立起的一侧相反的一侧设置由弹性体形成的弹性层而成的。7.根据权利要求1～6中任一项所述的研磨垫，其中，所述凸部的高度或者所述凹部的深度为0.1mm以上。8.根据权利要求1～7中任一项所述的研磨垫，其中，所述纤维的长度为所述凸部的高度或者所述凹部的深度的5.5倍以上。9.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：森永均，玉井一诚，田原宗明，浅井舞子，伊藤友一，
申请(专利权)人：福吉米株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP