研磨组合物及使用其的抛光方法技术

技术编号:13426982 阅读:85 留言:0更新日期:2016-07-29 15:50
本发明专利技术公开了一种用于抛光蓝宝石的研磨组合物,包括:(A)5至50重量百分比的研磨粒子;(B)0.01至5重量百分比的水溶性聚合物,为一乙二醇单体和一丙二醇单体共聚而成的一共聚物;以及(C)余量为水。该研磨组合物可改善在抛光工艺后研磨粒子的移除率,并提升经抛光的基板的表面质量。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于抛光蓝宝石的研磨组合物,包括:(A)5至50重量百分比的研磨粒子;(B)0.01至5重量百分比的水溶性聚合物,为一乙二醇单体和一丙二醇单体共聚而成的一共聚物;以及(C)余量的水。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨霖周乃天黄新义篮伟仁
申请(专利权)人:台湾永光化学工业股份有限公司
类型:发明
国别省市:中国台湾;71

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1