下载研磨垫以及研磨方法的技术资料

文档序号:17308915

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本发明提供一种研磨垫,其在对表面具有凸部和凹部中的至少一者的研磨对象物进行研磨时,能够充分研磨至研磨对象物的表面中凸部的附近部分、凹部的内表面。研磨垫具有立毛部(1),所述立毛部(1)是多个长度为2mm以上的纤维(12)在基部(11)的表面...
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