AMOLED显示面板的制备方法技术
The preparation method of AMOLED display panel
Preparation method of AMOLED display panel, which comprises the following steps: first ionization operation mixed gas on O2, SF6 and fluorocarbon, forming a first plasma, using the first dry etching operation on the gate of the first plasma; two ionization operation of a gas mixture Cl2 and O2, the formation of second plasma, two the plasma etching on the gate second; using preset voltage injection doping elements into the drain to source. The above AMOLED display panel is prepared by first dry etching of the first plasma gate produced by the first ionization of O2, SF6 and halohydrocarbon mixture, which can better reduce the sulfur element mixed into the gate. In order to improve the quality of the product better.
【技术实现步骤摘要】
AMOLED显示面板的制备方法
本专利技术涉及AMOLED制造
，特别是涉及一种AMOLED显示面板的制备方法。
技术介绍
目前，主动式有机发光二极管(ActiveMatrixOrganicLightingEmittingDiode，AMOLED)，在AMOLED背板制备过程中，由于工艺波动、产线状态的变化。一些缺陷随之增加，降低整个产线的良品率。AMOLED面板黑色不黑和白色显示mura(显示器亮度不均匀)的问题严重的降低了产线的良率。该类产品不良产线检测困难，电路gamma、demura(电路补偿)等手段无法消除。通常会出现大批量的产品不良。例如，栅极中混入硫元素会造成影响AMOLED品质的问题。
技术实现思路
基于此，有必要提供一种能够减少栅极中混入的硫元素的AMOLED显示面板的制备方法。一种AMOLED显示面板的制备方法，包括如下步骤：对O2、SF6和氟烷烃的混合气体进行首次电离操作，形成第一等离子体，采用所述第一等离子体对所述栅极进行首次干法刻蚀操作；对Cl2和O2的混合气体进行二次电离操作，形成第二等离子体，采用所述第二等离子体对所述栅极进行二次刻...
【技术保护点】
一种AMOLED显示面板的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：对O2、SF6和氟烷烃的混合气体进行首次电离操作，形成第一等离子体，采用所述第一等离子体对所述栅极进行首次干法刻蚀操作；对Cl2和O2的混合气体进行二次电离操作，形成第二等离子体，采用所述第二等离子体对所述栅极进行二次刻蚀操作；采用预设注入电压将掺杂元素注入至所述源漏极中。
【技术特征摘要】
1.一种AMOLED显示面板的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：对O2、SF6和氟烷烃的混合气体进行首次电离操作，形成第一等离子体，采用所述第一等离子体对所述栅极进行首次干法刻蚀操作；对Cl2和O2的混合气体进行二次电离操作，形成第二等离子体，采用所述第二等离子体对所述栅极进行二次刻蚀操作；采用预设注入电压将掺杂元素注入至所述源漏极中。2.根据权利要求1所述的AMOLED显示面板的制备方法，其特征在于，在所述首次电离操作中，所述氟烷烃的体积占所述O2、SF6和氟烷烃的混合气体的体积5％～10％。3.根据权利要求1所述的AMOLED显示面板的制备方法，其特征在于，在所述首次电离操作中，O2的体积占O2和SF6的混合气体的体积28％～38％。4.根据权利要求3所述的AMOLED显示面板的制备方法，其特征在于，在所述首次电离操作中，O2的流量为240～360sccm，SF6的流量为500～600sccm。5.根据权利要求1所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：田金鹏，张毅先，任思雨，谢志生，苏君海，李建华，
申请(专利权)人：信利惠州智能显示有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44
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