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一种AMOLED显示面板的制备方法，包括如下步骤：对O2、SF6和氟烷烃的混合气体进行首次电离操作，形成第一等离子体，采用第一等离子体对栅极进行首次干法刻蚀操作；对Cl2和O2的混合气体进行二次电离操作，形成第二等离子体，采用第二等离子体对...
该专利属于信利（惠州）智能显示有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过信利（惠州）智能显示有限公司授权不得商用。

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