制备脆硬金属微球涂层样品盘制造技术

本实用新型专利技术公开了一种制备脆硬金属微球涂层样品盘，涉及微球涂层制备技术领域，解决现有样品盘内表面的涂层脱落产生碎渣，沾附到微球的表面，导致微球表面脆硬金属涂层的表面粗糙度增大的问题。本实用新型专利技术采用的技术方案是：样品盘的内表面呈曲面状，内表面呈粗糙状，内表面外侧顺次涂镀有铝涂层和石墨碳涂层。铝涂层可促使脆硬金属涂层应力弛豫释放；石墨碳涂层可增强脆硬金属与铝涂层之间的附着力，通过两种过渡层的共同作用，抑制脆硬金属涂层从石英样品盘内表面脱落碎裂，改善微球表面质量。样品盘加工方法采用离子束对样品盘内的表面进行表面刻蚀清洗处理，再分别溅射涂镀铝涂层和石墨碳涂层；此外，样品盘经简单处理加工后可重复使用。

Preparation of sample plate for the coating of brittle hard metal microspheres

The utility model discloses a preparation of brittle metal microspheres coating sample plate, which relates to the technical field of the preparation of microspheres coating solution, coating on the inner surface of the existing samples off residue, attached to the surface of the microspheres, the surface resulting in brittle metal microspheres surface roughness of the coatings increases the problem. The technical scheme of the utility model is: the inner surface of the sample plate has a curved surface, inner surface was rough shape, the inner surface of the lateral in plating Al coating and carbon coating. Aluminum coating can promote the brittle metal coating stress relaxation release; graphite carbon coating can be enhanced between the hard metal and aluminum coating adhesion, through the interaction between the two transition layer, inhibition of brittle metal coating on the surface of quartz sample disc shedding fragmentation, improve the surface quality of microspheres. The processing method of the sample plate is surface etching and cleaning by ion beam to the surface of the sample tray, then the sputtering coating, aluminum coating and graphite carbon coating are separately prepared. Besides, the sample tray can be reused after being processed simply.

【技术实现步骤摘要】
制备脆硬金属微球涂层样品盘
本技术涉及微球涂层制备
，具体涉及一种制备球形微球表面脆硬金属涂层的样品盘，以及该样品盘的加工方法。
技术介绍
在科研和生产活动中，特别是惯性约束聚变研究中，需要在微球(直径为毫米或亚毫米级)表面均匀涂镀各种金属涂层，并且对微球表面金属涂层的表面粗糙度有严格的要求。涂镀过程微球需要有样品盘支撑，沉积原子沉积到微球表面的同时也会沉积到样品盘的内表面。当样品盘的内表面的涂层厚度过厚或应力过大时，涂层会从样品盘内表面脱落并产生碎渣，特别是脆硬金属(W、Mo等)涂层，碎渣会沾附到运动微球的表面上，从而导致微球表面金属涂层的表面粗糙度迅速增大。例如，公告号为CN201552114U的专利文献公开了一种倾斜式微球滚动装置，该装置通过步进电机带动微球盘转动，实现微球在微球盘凹槽内列队滚动，避免微球与微球盘碰撞，减少微球之间的碰撞，但是当脆硬金属涂层过厚(几微米级别)时，脆硬金属涂层因应力过大容易从微球样品盘内表面脱落并产生碎渣，运动中的微球会沾附碎渣，导致微球表面脆硬金属涂层的表面粗糙度迅速增加，严重影响微球表面涂层的质量。试验测试表面，石英样品盘或只有一层过渡层本文档来自技高网...

【技术保护点】
制备脆硬金属微球涂层样品盘，其特征在于：样品盘(1)的内表面呈曲面状，内表面呈粗糙状，内表面外侧顺次涂镀有铝涂层(2)和石墨碳涂层(3)。

【技术特征摘要】
1.制备脆硬金属微球涂层样品盘，其特征在于：样品盘(1)的内表面呈曲面状，内表面呈粗糙状，内表面外侧顺次涂镀有铝涂层(2)和石墨碳涂层(3)。2.如权利要求1所述的制备脆硬金属微球涂层样品盘，其特征在于：所述铝涂层(2)的厚度为1～3μ...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘艳松，何智兵，何小珊，陈果，王涛，李朝阳，许华，李俊，谢春平，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心，
类型：新型
国别省市：四川,51