一种CZ直拉法硅单晶棒取棒装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种CZ直拉法硅单晶棒取棒装置，包括有平板小车，平板小车上设置有对应开合的固定支撑基座和活动支撑基座，固定支撑基座和活动支撑基座上分别设有由间隔排列竖直分布的支撑杆和连接横杆组成的固定框，固定框为两半圆形固定框，固定支撑基座与其上方的固定框之间通过其一侧的固定立柱固定安装在平板小车上，活动支撑基座与其上方的固定框之间通过其一侧的转动立柱转动安装在平板小车上，活动支撑基座上的固定框支撑杆上设有扶手，固定支撑基座上的固定框支撑杆上连接有倾斜辅助机构。本实用新型专利技术可以方便了单晶硅棒倾斜放置，方便人工取棒，该装置有一半可以转动完全打开，取卸方便，同时针对大直径单晶硅棒设计，提高取棒效率。

A CZ Czochralski silicon monocrystal rod pickup device

The utility model discloses a CZ silicon single crystal rod rod taking device czhralski, including car, car sets are fixed on the support base and the movable supporting base corresponding hinged, fixed support base and a movable supporting base are respectively arranged by spaced vertical distribution support bar and the connecting bar is composed of a fixed frame, fixed frame for two circular fixed frame, the fixed frame is fixed between the support base and at the top of the column through the fixed side of the fixed plate is installed in the car, and the base between the fixed frame installed on the trolley on one side of the column by rotating the rotating support activities, activities to support fixed on the base frame supporting rod with the armrest, fixed frame supporting rod is fixed on the support base is connected with a tilt auxiliary mechanism. The utility model can facilitate the tilting of the single crystal silicon rod and facilitate the manual fetching. Half of the device can be turned and opened completely, and the loading and unloading is convenient. At the same time, for the design of large diameter single crystal silicon rod, the rod taking efficiency is improved.

【技术实现步骤摘要】
一种CZ直拉法硅单晶棒取棒装置
：本技术涉及机械优化设计，主要涉及一种CZ直拉法硅单晶棒取棒装置。
技术介绍
：CZ直拉法硅单晶技术是目前主流的一种生产半导体硅单晶的技术。单晶硅生长是一种在软轴提拉的硅单晶炉内，在惰性保护性气体的环境下，用高纯石墨电阻式加热器将盛放在高纯石英坩埚内高温熔化，然后用提拉的方式缓慢地生长出无位错的硅单晶体随着这种长晶技术的进步和市场的要求，目前生长的单晶硅晶体的直径越来越大，单晶硅晶体直径目前市场上主流的是8英寸、12英寸的单晶硅棒。对于单晶硅棒的取棒装置有不同的设计，基本上大体结构相差不大呈圆形筒装结构。在实际生产过程中为了更方便地取棒操作对传统的单晶硅棒的取棒装置进行了优化改善，可以提高生产效率和节省人员的劳动量。
技术实现思路
：本技术目的就是为了弥补已有技术的缺陷，提供一种CZ直拉法硅单晶棒取棒装置，实际生产过程中为了更方便地取棒操作对传统的单晶硅棒的取棒装置进行了优化改善，可以提高生产效率和节省人员的劳动量。本技术是通过以下技术方案实现的：一种CZ直拉法硅单晶棒取棒装置，包括有平板小车，其特征在于：所述平板小车上设置有对应开合的固定支撑基座和活动支撑基座，所述固定支撑基座和活动支撑基座上分别设有由间隔排列竖直分布的支撑杆和连接横杆组成的固定框，所述固定框为两半圆形固定框，所述固定支撑基座与其上方的固定框之间通过其一侧的固定立柱固定安装在平板小车上，所述活动支撑基座与其上方的固定框之间通过其一侧的转动立柱转动安装在平板小车上，所述活动支撑基座上的固定框支撑杆上设有扶手，所述固定支撑基座上的固定框支撑杆上连接有倾斜辅助机构。所述的固定支撑基座和活动支撑基座上两固定框的开合侧边缘处分别设有固定板，所述固定板上分布有竖直分布的固定连接孔。所述的倾斜辅助机构包括有上、下连接架，所述上、下连接架分别安装在固定支撑基座上固定框的支撑杆上下端，其上连接架的连接横杆上通过转动套安装有斜撑杆，所述斜撑杆的底端端部安装有行走轮，其下连接架的连接横杆上通过转动套安装有斜拉杆，所述斜拉杆的上端通过导向套与斜撑杆导向配合。所述的斜撑杆为并列两条。本技术的优点是：（1）增加了一个倾斜辅助机构，可以方便了单晶硅棒倾斜放置，方便人工取棒。（2）该装置有一半可以上下在转动立柱的转动下完全打开，取卸方便.(3)针对大直径单晶硅棒设计的简易使用装置，提高取棒效率。附图说明：图1为本技术的结构示意图。具体实施方式：参见附图。一种CZ直拉法硅单晶棒取棒装置，包括有平板小车，其特征在于：所述平板小车1上设置有对应开合的固定支撑基座2和活动支撑基座3，所述固定支撑基座2和活动支撑基座3上分别设有由间隔排列竖直分布的支撑杆4和连接横杆5组成的固定框，所述固定框为两半圆形固定框，所述固定支撑基座2与其上方的固定框之间通过其一侧的固定立柱6固定安装在平板小车1上，所述活动支撑基座3与其上方的固定框之间通过其一侧的转动立柱7转动安装在平板小车1上，所述活动支撑基座3上的固定框支撑杆4上设有扶手8，所述固定支撑基座2上的固定框支撑杆4上连接有倾斜辅助机构9。所述的固定支撑基座2和活动支撑基座3上两固定框的开合侧边缘处分别设有固定板10，所述固定板10上分布有竖直分布的固定连接孔11。所述的倾斜辅助机构9包括有上、下连接架12、13，所述上、下连接架12、13分别安装在固定支撑基座2上固定框的支撑杆4上下端，其上连接架12的连接横杆上通过转动套安装有斜撑杆14，所述斜撑杆14的底端端部安装有行走轮15，其下连接架13的连接横杆上通过转动套安装有斜拉杆16，所述斜拉杆16的上端通过导向套17与斜撑杆14导向配合。所述的斜撑杆14为并列两条。本申请中的设计要点：（1）该装置设计的内口径在310-315mm的直径大小，针对生产的12英寸的单晶硅棒的取棒装置。生产的8英寸的整根硅棒的长度较长在2米左右甚至更长的也有，而12英寸的单晶硅棒长度在1000mm左右。（2）该取棒装置中固定立柱和固定支撑基座是固定在平板小车的台面上。转动的立柱可以旋转带动一侧打开，方便将晶棒放到倾斜后打开一侧从中人工手动搬出晶棒。（3）倾斜辅助机构可以方便操作人员将晶棒缓慢地成一定倾斜角度的倾斜放置，便于晶棒放到倾斜后打开一侧从中人工手动搬出晶棒。其具体使用方法是：（1）在CZ直拉法硅单晶炉正常生产停炉冷却取棒环节，由操作人员将取棒装置从指定存放位置推到单晶炉旁。（2）操作人员操作手操器按钮将硅单晶炉上炉体副室上升和提拉系统将单晶硅棒上升到合适位置，再将单晶棒缓慢移动到取棒装置的上口中心位置，缓慢地下降单晶硅棒，将硅棒缓慢安全地放入取棒装置中。（3）待晶棒完全放在取棒装置后，将倾斜辅助机构向内侧收起固定。操作人员用扶手将单晶硅棒推到晶棒指定区域，进行完全冷却。（4）待晶棒完全冷却后，由两个操作人员将取棒装置在倾斜辅助机构的作用下将单晶硅棒呈一定倾斜角度放下。（5）然后卸下装置上的螺丝，转动转动立柱将一侧完全打开，然后有操作人员手动直接搬出或者用有关机械抓手将晶棒安全取出放在指定区域。最后将取棒装置扶起推到指定存放区待下一次使用。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种CZ直拉法硅单晶棒取棒装置，包括有平板小车，其特征在于：所述平板小车上设置有对应开合的固定支撑基座和活动支撑基座，所述固定支撑基座和活动支撑基座上分别设有由间隔排列竖直分布的支撑杆和连接横杆组成的固定框，所述固定框为两半圆形固定框，所述固定支撑基座与其上方的固定框之间通过其一侧的固定立柱固定安装在平板小车上，所述活动支撑基座与其上方的固定框之间通过其一侧的转动立柱转动安装在平板小车上，所述活动支撑基座上的固定框支撑杆上设有扶手，所述固定支撑基座上的固定框支撑杆上连接有倾斜辅助机构。

【技术特征摘要】
1.一种CZ直拉法硅单晶棒取棒装置，包括有平板小车，其特征在于：所述平板小车上设置有对应开合的固定支撑基座和活动支撑基座，所述固定支撑基座和活动支撑基座上分别设有由间隔排列竖直分布的支撑杆和连接横杆组成的固定框，所述固定框为两半圆形固定框，所述固定支撑基座与其上方的固定框之间通过其一侧的固定立柱固定安装在平板小车上，所述活动支撑基座与其上方的固定框之间通过其一侧的转动立柱转动安装在平板小车上，所述活动支撑基座上的固定框支撑杆上设有扶手，所述固定支撑基座上的固定框支撑杆上连接有倾斜辅助机构。2.根据权利要求1所述的CZ直拉法硅单晶棒取棒装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：马四海，张笑天，马青，朱光开，丁磊，
申请(专利权)人：安徽易芯半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34