The utility model discloses a single crystal furnace. The single crystal furnace through the gas inlet pipe set on preheating device, gas preheating device can heat the argon gas enters the furnace body, avoid low temperature argon into the furnace body temperature of the furnace body has a greater impact, in the process of single crystal furnace work, can guarantee the furnace body temperature is kept at a stable range, avoid the great impact on the crystal growth, quality assurance level, finally a silicon rod to reach a higher quality in addition, using high temperature waste argon pump air discharged through the drainage pipe into the cavity, preheats new argon by using high temperature waste gas, not only can make full use of with high temperature waste heat in argon, realize energy saving and emission reduction, at the same time, by the argon preheating furnace body, the furnace body can reduce argon heat further away, To achieve energy saving and emission reduction. It is suitable for application in the field of single crystal production equipment.
【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉
本技术涉及单晶生产设备领域,尤其是一种单晶炉。
技术介绍
21世纪,世界能源危机促进了光伏市场的发展,晶体硅太阳能电池是光伏行业的主导产品。随着世界各国对太阳能光伏产业的进一步重视,特别是发达国家制定了一系列的扶持政策,鼓励开发利用太阳能,另外,随着硅太阳能电池应用面的不断扩大,太阳能电池的需求量越来越大,硅单晶材料的需求量也就越来越大。单晶硅为一种半导体材料,一般用于制造集成电路和其他电子元件,单晶硅生长技术有两种:一种是区熔法,另一种是直拉法,其中直拉法是目前普遍采用的方法。直拉法生长单晶硅的方法如下:将高纯度的多晶硅原料放入单晶炉的石英坩埚内,然后在低真空以及惰性气体的保护下加热熔化,把一支有着特定生长方向的单晶硅(也叫做籽晶)装入籽晶夹持装置中,并使籽晶与硅溶液接触,调整熔融硅溶液的温度,使其接近熔点温度,接着使籽晶自上而下伸入熔融的硅溶液中并旋转,然后缓缓上提籽晶,此时,单晶硅进入锥体部分的生长,当锥体的直径接近目标直径时,提高籽晶的提升速度,使单晶硅体直径不再增大而进入晶体的中部生长阶段,在单晶硅体生长接近结束时,再提高籽晶的提升速度,单晶硅体逐渐脱离熔融硅,形成下锥体而结束生长。用这种方法生长出来的单晶硅,其形状为两段呈锥形的圆柱体,将该圆柱体切片,即得到单晶硅半导体原料,这种圆形单晶硅片就可以作为集成电路或太阳能电池的材料。单晶硅拉制一般在单晶炉中进行,目前,所使用的单晶炉包括炉体,所述炉体内部设有石墨坩埚,所述石墨坩埚底部通过坩埚轴与炉体底部相固定,所述石墨坩埚内设有石英坩埚,石墨坩埚外侧设置有侧部加热器,所述炉体底部设置抽气 ...
【技术保护点】
一种单晶炉,包括炉体(1),所述炉体(1)内部设有石墨坩埚(2),所述石墨坩埚(2)底部通过坩埚轴(3)与炉体(1)底部相固定,所述石墨坩埚(2)内设有石英坩埚(4),石墨坩埚(2)外侧设置有侧部加热器(5),所述炉体(1)侧壁上设置有抽气孔(6),还包括氩气管(7)与氩气源(15),所述氩气源(15)与氩气管(7)通过进气管(14)相连,所述氩气管(7)的末端穿过炉体(1)伸入到石英坩埚(4)内,其特征在于:所述进气管(14)上设置有气体预热装置(16),所述气体预热装置(16)包括密闭的空腔(161),所述空腔(161)内设置有换热管(162),所述换热管(162)的两端分别延伸至空腔(161)外并与进气管(14)连通,所述氩气源(15)内的氩气依次沿进气管(14)、换热管(162)、氩气管(7)流入石英坩埚(4)内,所述换热管(162)与空腔(161)的连接处密封,所述空腔(161)上连接有引气管(163)与排气管(164),所述引气管(163)的一端与炉体(1)上设置的抽气孔(6)连通,引气管(163)的另一端与空腔(161)内部连通,所述引气管(163)上设置有抽气泵(165 ...
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉,包括炉体(1),所述炉体(1)内部设有石墨坩埚(2),所述石墨坩埚(2)底部通过坩埚轴(3)与炉体(1)底部相固定,所述石墨坩埚(2)内设有石英坩埚(4),石墨坩埚(2)外侧设置有侧部加热器(5),所述炉体(1)侧壁上设置有抽气孔(6),还包括氩气管(7)与氩气源(15),所述氩气源(15)与氩气管(7)通过进气管(14)相连,所述氩气管(7)的末端穿过炉体(1)伸入到石英坩埚(4)内,其特征在于:所述进气管(14)上设置有气体预热装置(16),所述气体预热装置(16)包括密闭的空腔(161),所述空腔(161)内设置有换热管(162),所述换热管(162)的两端分别延伸至空腔(161)外并与进气管(14)连通,所述氩气源(15)内的氩气依次沿进气管(14)、换热管(162)、氩气管(7)流入石英坩埚(4)内,所述换热管(162)与空腔(161)的连...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈五奎,刘强,付红霞,黄振华,冯加保,
申请(专利权)人:青海拓日新能源科技有限公司,
类型:新型
国别省市:青海,63
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