The invention provides a silicon single crystal growth furnace feeder, including a feed pipe and a long rod, a lower end of the feed pipe is provided with a feed port and on the growth of the furnace, the feed pipe axis for the internal position with long rod up and down movement of the pipe, the feeding pipe at the top the feeding port and an inward contraction of the neck, closed lower part of the long rod is a cone shape, the closed part is positioned on the neck and the feeding mouth between and with the long rod to move up and down with the neck clipping or separation. The invention can in the production process of monocrystalline silicon, to join in the crucible to increase the total aggregate of silicon raw materials in single dosage, which can greatly reduce the production cost. At the same time, direct contact with the feeder silicon material of the invention the parts are made of quartz material, avoid the pollution of silicon raw materials.
【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅生长炉的加料器
本专利技术涉及单晶硅制备
,尤其涉及一种单晶硅生长炉的加料器。
技术介绍
单晶硅制备方法主要有直拉法和区熔法,直拉法制备工艺中又有一种CZ单晶生长工艺,在CZ单晶生长工艺制备单晶硅的设备中,需要用到单晶硅生长炉。单晶硅生长炉包括石英坩埚。当制备时,先将坩埚放置于热场中,再将硅原料装满坩埚,然后直接对坩埚中的熔融的硅原料进行抽空、化料、引晶、放肩、等径等CZ单晶生产步骤。目前的CZ单晶生产工艺中,石英坩埚是拉制单晶硅的消耗性器皿,每生产一炉单晶硅就要用掉一只石英坩埚。由于硅原料多为不规则形状(块状、粒状和片状等),各种形状的硅原料在坩埚中堆放时,会产生很大的空隙,此外,硅元素固体形态的密度小于其液体形态的密度,这样当硅原料完全融化时,坩埚中的液面都不到坩埚总容量的三分之二,使得每次烧炉时所能制备的单晶硅产量比较低,导致生产成本居高不下。因此,希望一种单晶硅生长炉的加料器来解决上述缺陷。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种可以在生产过程中不断向坩埚中加原料的单晶硅生长炉的加料器。本专利技术解决上述技术问题的技术方案如下:一种单晶硅生长炉的加料器,包括加料管和长杆,所述加料管的下端设有投料口并置于所述生长炉中,所述加料管内部轴线位置处具有供所述长杆上下运动的通管,所述加料管在所述投料口的上方具有向内收缩的颈部,所述长杆的下端具有一锥体状的闭口部,所述闭口部置于所述颈部与所述投料口之间并可随所述长杆的上下伸缩与所述颈部卡接或分离。在上述技术方案的基础上,本专利技术还可以做如下改进:可选地,所述通管通过多个支撑杆支撑固定在所述加料管 ...
【技术保护点】
一种单晶硅生长炉的加料器,其特征在于,包括加料管和长杆,所述加料管的下端设有投料口并置于所述生长炉中,所述加料管内部轴线位置处具有供所述长杆上下运动的通管,所述加料管在所述投料口的上方具有向内收缩的颈部,所述长杆的下端具有一锥体状的闭口部,所述闭口部置于所述颈部与所述投料口之间并可随所述长杆的上下运动与所述颈部卡接或分离。
【技术特征摘要】
1.一种单晶硅生长炉的加料器,其特征在于,包括加料管和长杆,所述加料管的下端设有投料口并置于所述生长炉中,所述加料管内部轴线位置处具有供所述长杆上下运动的通管,所述加料管在所述投料口的上方具有向内收缩的颈部,所述长杆的下端具有一锥体状的闭口部,所述闭口部置于所述颈部与所述投料口之间并可随所述长杆的上下运动与所述颈部卡接或分离。2.根据权利要求1所述的单晶硅生长炉的加料器,其特征在于,所述通管通过多个支撑杆支撑固定在所述加料管的内壁处。3.根据权利要求2所述的单晶硅生长炉的加料器,其特征在于,所述支撑杆的数量为三个,所述三个支撑杆在同一水平面且均匀分布在所述通管的外围。4.根据权利要求1-3中任一项所述的单晶硅生长炉的加料器,其特征在于,所述加料管的上端向外延伸设...
【专利技术属性】
技术研发人员:周小勇,
申请(专利权)人:扬州合晶科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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