一种晶棒槽深测试治具制造技术

本实用新型专利技术属于检具工装的技术领域，具体涉及一种晶棒槽深测试治具。本实用新型专利技术包括：安装座，安装座的顶面开设有通孔，安装座的底面设有两根轮轴；百分表，百分表设在安装座的顶面，且百分表的探针从通孔伸出；两对滚轮，两对滚轮分别设在两根轮轴的两端；探针位于两对滚轮的中间。本实用新型专利技术用于解决现有技术中游标卡尺、投影测量仪等检测设备无法简便、精准的测量晶棒表面槽深的技术问题。的测量晶棒表面槽深的技术问题。的测量晶棒表面槽深的技术问题。

【技术实现步骤摘要】
一种晶棒槽深测试治具


[0001]本技术属于检具工装的
，具体涉及一种晶棒槽深测试治具。

技术介绍

[0002]晶棒在生产过程中需要切割、研磨等，会在晶棒的表面留下径向的凹槽，现有的测量凹槽的深度方向一般是游标卡尺、投影测量仪等，但是游标卡尺测量精度低，而投影测量仪只适合较小、较轻的晶棒，无法测量较大直径的晶棒表面的凹槽深度。
[0003]因此，如何简便、精准的测量晶棒表面槽深，已成为本领域亟需解决的技术问题。

技术实现思路

[0004]本技术要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，提供一种晶棒槽深测试治具，用于解决现有技术中游标卡尺、投影测量仪等检测设备无法简便、精准的测量晶棒表面槽深的技术问题。
[0005]本技术解决上述技术问题的技术方案如下：一种晶棒槽深测试治具，包括：
[0006]安装座，所述安装座的顶面开设有通孔，所述安装座的底面设有两根轮轴；
[0007]所述百分表，所述百分表设在所述安装座的顶面，且所述百分表的探针从所述通孔伸出；
[0008]两对滚轮，两对所述滚轮分别设在两根所述轮轴的两端；
[0009]所述探针位于两对所述滚轮的中间。
[0010]本技术将百分表固定在安装座上，然后在安装座的底面设有滚轮，滚轮能够沿晶棒的径向滚动；百分表能与被测点保持垂直状态，保证百分表测量的准确性。
[0011]进一步地：所述安装座包括：
[0012]固定块，所述固定块用于固定所述百分表，所述固定块的两端设有插槽；
[0013]一对弧形连接块，所述弧形连接块的一端设有与所述插槽适配的榫头，另一端的下方设有所述轮轴。
[0014]采用本步的有益效果：弧形连接块具有多个弧度可供选择，能够适应不同直径的晶棒，都能让百分表的探针接触到凹槽。
[0015]进一步地：所述滚轮为轴承，所述轴承的内圈套设在所述轮轴上。
[0016]采用本步的有益效果：轴承是刚性的，这样安装座接触在晶棒上时，不会发生细微的弹性变化，不会影响百分表的测量精确度。
[0017]进一步地：所述安装座的一侧设有笔套，所述笔套的轴线与所述通孔的轴线所共处的一面与所述晶棒的轴线平行。
[0018]采用本步的有益效果：将记号笔插入笔套，就能在晶棒被测点位上做记号；笔套能保证记号与被测点准确对应。
[0019]进一步地：所述安装座的侧面对应所述滚轮的位置还设有限位机构，所述限位机构包括：
[0020]限位片，所述限位片的顶端与所述安装座铰接；
[0021]两根挡杆，两根所述挡杆竖直地设在所述限位片上，且两根所述挡杆分别设在所述滚轮的两侧，且与所述滚轮相切。
[0022]采用本步的有益效果：需要固定安装座时，将限位片朝下翻，让两根挡杆插入滚轮的两侧，阻止滚轮转动，保持测量位置，方便读数。
[0023]本技术的有益效果是：
[0024]1、将百分表固定在安装座上，并通过滚轮沿径向滚动测量，使得百分表能垂直的竖在凹槽内的被测点位上，保持测量准确性；
[0025]2、其次，通过能够沿晶棒滚动的安装座，就能够在不转动晶棒的情况下对凹槽内不同的被测点位进行测量，降低了测量难度。
附图说明
[0026]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0027]图1为本技术提供的一种晶棒槽深测试治具实施例一的应用示意图；
[0028]图2为本技术提供的一种晶棒槽深测试治具实施例二的应用示意图；
[0029]图3为本技术提供的一种晶棒槽深测试治具实施例三的应用示意图；
[0030]图4为本技术提供的一种晶棒槽深测试治具实施例四的应用示意图。
[0031]附图标记：
[0032]1‑
安装座；2
‑
百分表；3
‑
滚轮；4
‑
晶棒；5
‑
笔套；6
‑
限位片；
[0033]11
‑
通孔；12
‑
固定块；13
‑
弧形连接块；21
‑
探针；61
‑
挡杆。
具体实施方式
[0034]下面将结合附图对本技术技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本技术的保护范围。
[0035]需要注意的是，除非另有说明，本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域技术人员所理解的通常意义。
[0036]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0037]此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0038]在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等
术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0039]在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征
ꢀ“
上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0040]实施例
[0041]如图1所示，本技术所提供的一种晶棒槽深测试治具，包括：
[0042]安装座1，所述安装座1的顶面开设有通孔11，所述安装座1的底面设有两根轮轴；
[0043]所述百分表2，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶棒槽深测试治具，其特征在于，包括：安装座，所述安装座的顶面开设有通孔，所述安装座的底面设有两根轮轴；百分表，所述百分表设在所述安装座的顶面，且所述百分表的探针从所述通孔伸出；两对滚轮，两对所述滚轮分别设在两根所述轮轴的两端；所述探针位于两对所述滚轮的中间。2.根据权利要求1所述的晶棒槽深测试治具，其特征在于，所述安装座包括：固定块，所述固定块用于固定所述百分表，所述固定块的两端设有插槽；一对弧形连接块，所述弧形连接块的一端设有与所述插槽适配的榫头，另一端的下方设有所述轮轴。3.根据权利要求1或2所...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹健，周小勇，
申请(专利权)人：扬州合晶科技有限公司，
类型：新型
国别省市：