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本实用新型公开了一种单晶炉。该单晶炉通过在进气管上设置气体预热装置,气体预热装置可以对进入炉体内的氩气进行加热,避免温度较低的氩气进入炉体内对炉体内的温度造成较大的影响,在单晶炉工作的过程中,可以保证炉体内的温度保持在一个稳定的范围内,避免...该专利属于青海拓日新能源科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青海拓日新能源科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种单晶炉。该单晶炉通过在进气管上设置气体预热装置,气体预热装置可以对进入炉体内的氩气进行加热,避免温度较低的氩气进入炉体内对炉体内的温度造成较大的影响,在单晶炉工作的过程中,可以保证炉体内的温度保持在一个稳定的范围内,避免...