本实用新型专利技术公开了一种半导体单晶炉的集成吊装结构，包括多个立杆，每个立杆上分别设置有可动吊装装置，可动吊装装置包括支架以及立向转动连接于立杆的旋转轴，支架固定连接旋转轴，支架上设有驱动旋转轴转动的旋转驱动机构，支架上还固定有悬臂，悬臂水平滑动安装有动臂，悬臂上设置有驱动动臂水平运动的平移驱动机构，动臂的臂端固定有提升卷扬机。本实用新型专利技术可实现在较大辐射区域进行吊装动作，满足单晶炉周边半径的吊装工作需求，并且吊装输送时通过旋转、平移即可进行，无须过多人工参与。无须过多人工参与。无须过多人工参与。
【技术实现步骤摘要】
一种半导体单晶炉的集成吊装结构
[0001]本技术涉及吊装机构领域，具体是一种半导体单晶炉的集成吊装结构。
技术介绍
[0002]多晶硅是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅。多晶硅可作拉制单晶硅的原料，多晶硅与单晶硅的差异主要表现在物理性质方面。目前市场上单晶硅片被大量的用在光伏太阳能发电中，高品质的单晶硅片也是半导体集成电路产业中制造各种芯片的基础原材。多晶硅和单晶硅可从外观上加以区别，但真正的鉴别须通过分析测定晶体的晶面方向、导电类型和电阻率等。
[0003]随着晶体直径与生长热系统的尺寸越来越大，针对φ300mm或者以上单晶基本上都是采用φ1200mm~1600mm以上的单晶炉来进行生产。随着尺寸的加大，相对的热系统以及晶体的提升装置都必须要用相对的机械设备来进行完成，动辄1
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200kg的搬运已经超过人工操作的极限。传统的CZ法的生长模式，使用单独的机械结构，需要单独进行人员操作，辅助，会造成一些人力的浪费。因此有必要在现有单晶炉上集成专用的吊装工具。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是提供一种半导体单晶炉的集成吊装结构，以解决现有技术单晶炉吊装存在人力浪费的问题。
[0005]为了达到上述目的，本技术所采用的技术方案为：
[0006]一种半导体单晶炉的集成吊装结构，包括多个立向设置的立杆，每个立杆上分别设置有可动吊装装置，所述可动吊装装置包括支架以及立向转动连接于立杆的旋转轴，所述支架呈立向并固定连接于旋转轴，支架上设有驱动支架及旋转轴整体转动的旋转驱动机构，支架上还固定连接有水平延伸的悬臂，所述悬臂侧面水平滑动安装有动臂，悬臂上设置有驱动所述动臂水平运动的平移驱动机构，动臂的臂端固定有提升卷扬机。
[0007]进一步的，所述旋转驱动机构包括旋转驱动电机、齿轮组，所述旋转驱动电机固定于支架上，所述齿轮组包括同轴固定于旋转轴的第一齿轮，以及固定于旋转驱动电机输出轴的第二齿轮，第二齿轮传动啮合于第一齿轮。
[0008]进一步的，所述平移驱动机构包括平移电机，平移电机的输出轴同轴固定有驱动齿轮，所述动臂上设有齿面，所述驱动齿轮传动啮合于动臂上的齿面。
[0009]进一步的，还包括电控箱，所述电控箱分别与旋转驱动机构、平移驱动机构、提升卷扬机控制连接。
[0010]与现有技术相比，本技术的优点为：
[0011]本技术能够集成在单晶炉系统内，可以单独控制旋转角度以及平移距离，以实现在较大辐射区域进行吊装动作，满足单晶炉周边半径的吊装工作需求，并且吊装输送时通过旋转、平移即可进行，无须过多人工参与。
附图说明
[0012]图1是本技术实施例结构示意图。
具体实施方式
[0013]下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。
[0014]如图1所示，本实施例半导体单晶炉的集成吊装结构，包括多个立向设置的立杆1，每个立杆1固定连接单晶炉中炉筒配套的液压系统中的液压杆，由此可共用单晶炉炉筒配套的液压系统，实现本实施例整个集成吊装结构的升降。通过上述方式，使本实施例集成吊装结构具有较大的升降运动范围。
[0015]立杆1上端安装有推力轴承2，本实施例还包括旋转轴3、支架4，旋转轴3呈立向，并且旋转轴3的下端转动安装于推力轴承2。支架4为立向的框型结构，支架4的一侧框边通过连接套固定连接于旋转轴3，形成整体转动机构。
[0016]支架4的顶部框边对应于旋转轴3上端位置固定有旋转驱动机构，旋转驱动机构包括旋转驱动电机5、第一减速机、第一齿轮6、第二齿轮7，第一齿轮6同轴固定于旋转轴3的上端，第二齿轮7同轴固定于第一减速机的输出轴，第一减速机的输入轴同轴固定连接旋转驱动电机5的输出轴，旋转驱动电机5固定于支架4的顶部框边，第二齿轮7的直径小于第一齿轮6的直径，并且第二齿轮7传动啮合于第一齿轮6的边缘。旋转驱动电机5工作时，通过第一减速机驱动第二齿轮7转动，进而使第一齿轮6带动旋转轴3转动，由此支架4随旋转轴3整体转动。通过该方式使本实施例集成吊装结构能够水平旋转，以覆盖较大的吊装区域。
[0017]支架4连接有水平延伸的悬臂8，悬臂8的外侧面设有水平延伸的导轨，导轨上水平滑动安装有动臂9。动臂9的臂端固定有提升卷扬机10，动臂9的顶部设有水平分布的齿面。悬臂8上还设置有平移驱动机构，平移驱动机构包括平移电机11、第二减速机、驱动齿轮12，平移电机11固定在悬臂8顶部，平移驱动电机11的输出轴与第二减速机的输入轴同轴固定连接，驱动齿轮12同轴固定于第二减速机的输出轴，并且驱动齿轮12在上方与动臂9上的齿轮传动啮合。平移电机11工作时，通过第二减速机驱动驱动齿轮12转动，进而使动臂9沿着悬臂8上的导轨水平平移。通过上述方式，使本实施例的集成吊装机构能够覆盖较大的水平吊装区域。
[0018]本实施例还包括电控箱，电控箱内设有电机控制器，电机控制器分别与旋转驱动电机5、平移电机11、提升卷扬机10控制连接，由电机控制器驱动它们工作，以实现自动化吊装作业。
[0019]本实施例的集成吊装机构，整体总高度不超过单晶炉炉腔高度。提升卷扬机10的中心点与炉体额中心点在同轴线上，以确保在吊装时不会出现偏心情况，进而防止提升时歪斜。
[0020]工作时，选进行动臂9的平移，使提升卷扬机10处于物品上方，然后通过提升卷扬机10吊装后，再令动臂9平移后，接着通过旋转驱动电机5实现旋转，将物品转动至相应方位，最后通过动臂9的平移、提升卷扬机10的动作，将物品放至对应方位。
[0021]本技术所述的实施例仅仅是对本技术的优选实施方式进行的描述，并非对本技术构思和范围进行限定，在不脱离本技术设计思想的前提下，本领域中工程技术人员对本技术的技术方案作出的各种变型和改进，均应落入本技术的保护
范围，本技术请求保护的
技术实现思路
，已经全部记载在权利要求书中。
本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体单晶炉的集成吊装结构，其特征在于，包括多个立向设置的立杆，每个立杆上分别设置有可动吊装装置，所述可动吊装装置包括支架以及立向转动连接于立杆的旋转轴，所述支架呈立向并固定连接于旋转轴，支架上设有驱动支架及旋转轴整体转动的旋转驱动机构，支架上还固定连接有水平延伸的悬臂，所述悬臂侧面水平滑动安装有动臂，悬臂上设置有驱动所述动臂水平运动的平移驱动机构，动臂的臂端固定有提升卷扬机。2.根据权利要求1所述的一种半导体单晶炉的集成吊装结构，其特征在于，所述旋转驱动机构包括旋转驱动电机、齿轮...
【专利技术属性】
技术研发人员：马四海，张笑天，马青，马先松，见亚军，张锋，刘伟，
申请(专利权)人：安徽易芯半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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