一种半导体单晶炉对中辅助测具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体单晶炉对中辅助测具，包括内衬架，内衬架由多个共中心交叉固定一体的长度相同的直杆构成，且各个直杆的中心位置设有孔，每个直杆一侧侧面两端位置分别固定连接有固定座，每个固定座中分别贯穿安装有多个调节件。本实用新型专利技术可在硅单晶棒装入硅单晶炉之前对硅单晶棒进行对中测量，具有对中中心点精度高、通用性良好、校准方便、操作便捷的优点。便捷的优点。便捷的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体单晶炉对中辅助测具


[0001]本技术涉及半导体单晶炉辅助测具领域，具体是一种半导体单晶炉对中辅助测具。

技术介绍

[0002]在半导体的生产领域，硅单晶炉是常用的生产设备，具体生产时，需要令硅棒处于硅单晶炉内热屏的中心，若硅棒在热屏内的中心偏移，主要会造成下列影响：1、大直径的硅单晶棒在热屏内不在中心会导致负压环境下，惰性保护气体流速不均匀，从而造成液面温度的起伏，影响硅单晶的生长。2、中心偏移会导致晶转与石英坩埚反向转速的情况下，导致晶棒的晃动，同样对硅单晶的生长产生影响。3、硅单晶棒在中心偏移的情况下，坩埚位置和转速不变，会导致硅液内热对流交换区域产生变化，会导致硅单晶棒的电阻均匀性受到影响。
[0003]综上，硅单晶棒通过硅单晶炉提拉系统的钨丝绳吊装于硅单晶炉内热屏时，需要事先进行对中测量，以确保硅单晶棒处于硅单晶炉内热屏中心，因此需要有相应的辅助测具实现对中测量。

技术实现思路

[0004]本技术提供了一种半导体单晶炉对中辅助测具，以实现硅单晶棒装入硅单晶炉之前的对中测量。
[0005]为了达到上述目的，本技术所采用的技术方案为：
[0006]一种半导体单晶炉对中辅助测具，包括内衬架，所述内衬架由多个共中心交叉固定一体的直杆构成，且各个直杆的中心位置设有孔，各个直杆长度相同，并且各个直杆的杆端位于环绕各个直杆中心的同一环向上，每个直杆平行于所述环向确定的环面的一侧侧面两端位置分别固定连接有固定座，每个固定座中分别贯穿安装有多个调节件，每个调节件的贯穿方向分别平行于各自对应的直杆，并且每个调节件沿其贯穿方向位置可调。
[0007]进一步的，各个直杆用于连接固定座的侧面方向相同。
[0008]进一步的，每个固定座中分别设有螺纹通孔，螺纹通孔轴向平行于对应的直杆，所述调节件为螺栓，螺栓贯穿对应固定座的螺纹通孔。
[0009]本技术可在硅单晶棒装入硅单晶炉之前，对硅单晶棒进行对中测量，具有对中中心点精度高、通用性良好、校准方便、操作便捷的优点，能够缩短设备对中找中心点的时间，简化流程。
附图说明
[0010]图1是本技术实施例结构示意图。
具体实施方式
[0011]下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。
[0012]如图1所示，本实施例公开了一种半导体单晶炉对中辅助测具，包括内衬架，内衬架由多个共中心交叉固定一体的直杆2构成，各个直杆2的长边分别沿水平不同方向延伸，本实施例以两个直杆2为例进行说明，两个直杆2共中心交叉固定一体形成十字架1作为内衬架，十字架1的中心设有竖直的中心通孔3，各个直杆2的长度相同， 由此各个直杆2的杆端组成同一环向，该环向的中心即为十字架1中心通孔3的中心。
[0013]每个直杆2的下侧面两端位置分别固定连接有固定座4，每个固定座4中分别设有两组螺纹通孔，螺纹通孔的轴向平行于对应的直杆2的长边，每个固定座4的螺纹通孔中贯穿安装有螺栓5，且螺栓5螺合安装有螺母，螺栓作为调节件用于对中时的调节。本实施例中，固定座4中还可以设置光孔取代螺纹孔，调节件可采用圆柱体取代螺栓5，只需圆柱体与对应光孔之间可相对滑动配合，并且光孔对圆柱体具有较大摩擦力，也可以实现对中时的调节功能。
[0014]本实施例工作过程如下：
[0015]以十字架1中心的中心通孔3作为对照点，将十字架1放置于硅单晶炉内的热屏中央，并由螺栓5与热屏罩内壁接触。因热屏为正圆型，通过调节螺栓5，来达到十字架1中心点移动至与热屏中心点重合的目的。
[0016]调整各个螺栓5，使十字架1中心点距离热屏罩内壁距离相同，理论上此时十字架1的中心点与热屏的中心点重合。在保持中心点位置不移动的前提下，紧固螺栓5，达到工具校准标准。
[0017]借助本实施例，可在硅单晶炉开炉之间，组装好保温系统后，将热屏罩安装，使用硅单晶炉提拉系统的钨丝绳空载状态下悬挂硅单晶棒，将硅单晶棒下降至接近本实施例，观察硅单晶棒的细晶尾端是否与本实施例中十字架1的中心点重合，如重合，则说明对中情况完好，如有偏移情况，则代表目前硅单晶炉提拉系统的中心点出现偏移情况。
[0018]以上结合附图详细描述了本技术的优选实施方式，本技术所述的实施例仅仅是对本技术的优选实施方式进行的描述，并非对本技术构思和范围进行限定。在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，这种组合只要其不违背本技术的思想，其同样应当视为本公开所公开的内容。为了避免不必要的重复，本技术对各种可能的组合方式不再另行说明。
[0019]本技术并不限于上述实施方式中的具体细节，在本技术的技术构思范围内以及不脱离本技术设计思想的前提下，本领域技术人员对本技术的技术方案作出的各种变型和改进，均应落入本技术的保护范围，本技术请求保护的
技术实现思路
，已经全部记载在权利要求书中。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体单晶炉对中辅助测具，其特征在于，包括内衬架，所述内衬架由多个共中心交叉固定一体的直杆构成，且各个直杆的中心位置设有孔，各个直杆长度相同，并且各个直杆的杆端位于环绕各个直杆中心的同一环向上，每个直杆平行于所述环向确定的环面的一侧侧面两端位置分别固定连接有固定座，每个固定座中分别贯穿安装有多个调节件，每个调节件的贯穿方向分别平行于...

【专利技术属性】
技术研发人员：马四海，马青，马先松，见亚军，张笑天，
申请(专利权)人：安徽易芯半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：