单晶炉用视觉系统支架技术方案

本实用新型专利技术公开了一种单晶炉用视觉系统支架，包括法兰，法兰的一面两对称位置分别固定有侧座，两个侧座之间沿Y向滑动安装有背框，背框正面沿Z向滑动安装有连接座，连接座正面沿X向滑动安装有安装座。本实用新型专利技术可固定于单晶炉观测窗位置实现视觉系统的三轴方向以及俯仰姿态的调节，具有操作简单、调节方便的优点。优点。优点。

【技术实现步骤摘要】
单晶炉用视觉系统支架


[0001]本技术涉及单晶炉用支架领域，具体是一种单晶炉用视觉系统支架。

技术介绍

[0002]单晶炉内硅单晶生长环节里的等径直径控制时，需要通过视觉系统如CCD相机等采集单晶炉内硅单晶生长图像，具体的CCD相机的镜头通过单晶炉的观测窗采集单晶炉内图像。CCD相机在采集过程中需要根据需要调节姿态和位置，因此需要一种适用于单晶炉的支架系统辅助CCD相机的调节。

技术实现思路

[0003]本技术提供了一种单晶炉用视觉系统支架，以实现对单晶炉配置的CCD相机的调节。
[0004]为了达到上述目的，本技术所采用的技术方案为：
[0005]单晶炉用视觉系统支架，包括法兰，法兰的一面两对称位置分别固定有侧座，两个侧座之间安装有背框，且背框在两侧座之间可沿Y向滑动，背框正面安装有连接座，且连接座在背框正面可沿Z向滑动，连接座正面安装有安装座，且安装座在连接座正面可沿X向滑动。
[0006]进一步的，所述背框在两侧座之间可以X向直线为回转中心线做回转运动。
[0007]与现有技术相比，本技术可固定于单晶炉观测窗位置，能够实现视觉系统的三轴方向以及俯仰姿态的调节，具有成本低、操作简单、安装和调节方便的优点。
附图说明
[0008]图1是本技术实施例结构正视图。
[0009]图2是本技术实施例结构后视图。
具体实施方式
[0010]下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。
[0011]如图1、图2所示，本实施例公开了一种单晶炉用视觉系统支架，包括轴向竖直的法兰1，以及一对侧座2、背框3、连接座4、安装座5。其中：
[0012]每个侧座2呈L型，两侧座2的L型竖直段端部分别固定连接于法兰1顶面，并且两个侧座2位置呈X向对称，两个侧座2的L型水平段相对平行并均沿Y向延伸，每个侧座2的L型水平段分别设有腰型孔2.1，腰型孔2.1沿X向贯通对应的侧座2水平段，并且腰型孔2.1沿Y向延伸。
[0013]背框3设于两侧座2的水平段之间，背框3的X向两侧分别连接有轴向呈X向水平的螺栓3.1，螺栓3.1分别穿过对应侧侧座2的腰型孔2.1，每个螺栓3.1分别螺合安装有螺母，由此背框3可在两侧座2的水平段之间沿Y向滑动，并且背框3可以两个螺栓3.1为转动支点
进行回转运动。
[0014]背框3中上、下框边之间固定有一对Z向导轨3.2，连接座4设于背框3的正面，连接座4背面有凸出部，凸出部伸入背框3中并滑动安装于Z向导轨3.2，由此连接座4可在背框3的正面沿Z向滑动。
[0015]连接座4正面的X向两侧分别连接有边壁，边壁之间固定有一对X向导轨4.1。安装座5设于连接座4的正面，并且安装座5滑动安装于X向导轨4.1，由此安装座5可在连接座4的正面沿X向滑动。
[0016]工作时，将法兰1固定于单晶炉的观测窗口上，CCD相机固定于安装座5的正面并且CCD相机的镜头向下朝向法兰1的圈内，具体的可将CCD相机的背板通过螺栓固定于安装座5的正面。然后沿Y向移动背框3，可调节CCD相机的Y向位置，以两个螺栓3.1为转动支点转动背框3，可调节CCD相机的俯仰角度，沿Z向移动连接座4可调节CCD相机的Z向位置，沿X向一端安装座5可调节CCD相机的X向位置。
[0017]以上结合附图详细描述了本技术的优选实施方式，本技术所述的实施例仅仅是对本技术的优选实施方式进行的描述，并非对本技术构思和范围进行限定。在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，这种组合只要其不违背本技术的思想，其同样应当视为本公开所公开的内容。为了避免不必要的重复，本技术对各种可能的组合方式不再另行说明。
[0018]本技术并不限于上述实施方式中的具体细节，在本技术的技术构思范围内以及不脱离本技术设计思想的前提下，本领域技术人员对本技术的技术方案作出的各种变型和改进，均应落入本技术的保护范围，本技术请求保护的
技术实现思路
，已经全部记载在权利要求书中。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.单晶炉用视觉系统支架，其特征在于，包括法兰，法兰的一面两对称位置分别固定有侧座，两个侧座之间安装有背框，且背框在两侧座之间可沿Y向滑动，背框正面安装有连接座，且连接座在背框正面可沿Z向滑...

【专利技术属性】
技术研发人员：马四海，马青，马先松，见亚军，张笑天，
申请(专利权)人：安徽易芯半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：