工件游星轮及工件游星轮的制造方法技术

本发明专利技术提供一种工件游星轮及其制造方法，该工件游星轮的游星轮基板与树脂插入件部的一体性较高。工件游星轮(10)为，沿着形成在金属制的游星轮基板(1)上的工件保持孔(2)的内周面而设置有树脂插入部(3)的工件游星轮。并且，在工件保持孔(2)内，沿着圆周方向而以交替的方式连续地形成有相对于表里方向的倾斜为相反的正倾斜面(正倾斜部(21))和负倾斜面(负倾斜部(22))，并且在正倾斜面和负倾斜面上以紧贴的方式而形成有树脂插入部(3)。

Manufacturing method of rotating star wheel and workpiece for workpiece

The invention provides a workpiece traveling star wheel and its manufacturing method. The workpiece has a higher integration of the star wheel base plate and the resin insert part. The work piece star wheel (10) is a workwheel traveling wheel set with a resin insertion part (3) along the inner surface of the workpiece holding hole (2) formed on the metal swimming star wheel substrate (1). Also, keep the hole in the workpiece (2), along the circumferential direction and alternate ways to continuously form a tilted relative to the inside and outside direction are positive inclined opposite (positive inclined portion (21) and negative (negative) inclined inclined portion (22)), and in positive and negative inclined inclined plane on the way to form a resin insert (3).

【技术实现步骤摘要】
工件游星轮及工件游星轮的制造方法
本专利技术涉及一种在通过研磨装置而对硅晶片、玻璃、陶瓷、水晶等的薄板状的工件进行研磨加工时被使用于工件的保持中的工件游星轮及工件游星轮的制造方法。
技术介绍
已知一种在通过研磨装置而对硅晶片等的工件的双面或者单面进行研磨加工时将工件保持在具有工件保持孔的工件游星轮上的技术(例如，参见专利文献1至3)。由于成为工件游星轮的主体的游星轮基板由SK钢或不锈钢等这样的硬质金属材料而形成，因此若将工件直接地保持于钻设在游星轮基板上的工件保持孔中，则在研磨加工过程中工件将与工件保持孔的内周面接触而可能在工件上产生破裂或缺口等的损伤。因此，如专利文献1至3所公开的那样，沿着工件保持孔的内周面而安装合成树脂制的柔软的插入件，从而实施防止研磨加工过程中的工件的损伤的处理。专利文献1中公开了一种咬合结构，所述咬合结构在工件保持孔的内周面上以在圆周方向上隔开间隔的方式而设置有凸齿，并使合成树脂保护环(插入件)的凸齿嵌合在凸齿间的齿槽中。在该文献中还记载有如下结构，即，为使合成树脂保护环在上下方向上不易脱离而在凸齿的侧缘上交替地设置有相反方向的倾斜面。另一方面，在专利文献2中公开了一种在保持孔的内周面上形成有向上展开的锥面，并经由所述锥面而使树脂插入件嵌入保持孔内的结构。另外，在专利文献3中记载有如下结构，即，沿着游星轮基板的工件保持孔的内周面设置有槽，并通过以将合成树脂注入槽内的方式而注塑成型，从而设置柔软的环状的插入件。在先技术文献专利文献专利文献1：日本专利第3552108号公报专利文献2：日本专利第4605233号公报专利文献3：日本专利第5114113号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题但是，专利文献1所公开的咬合结构是仅在凸齿的侧缘设置有倾斜面的结构，而在齿槽的里侧未设置倾斜面。即，倾斜面并非是在工件保持孔的内周面上连续地设置的结构。另外，由于专利文献2所公开的保持孔的锥面仅为向上展开的倾斜面，因此虽然能够防止树脂插入件向下方脱落，但是无法防止其向上方偏离。因此，本专利技术的目的在于，提供一种游星轮基板与树脂插入部的一体性较高的工件游星轮和工件游星轮的制造方法。用于解决课题的方法为了达到上述目的，本专利技术的工件游星轮为，沿着形成在金属制的游星轮基板上的工件保持孔的内周面而设置有树脂插入部的工件游星轮，其特征在于，在所述工件保持孔内，沿着圆周方向而以交替的方式连续地形成有正倾斜面和负倾斜面，所述正倾斜面和负倾斜面相对于表里方向的倾斜为相反，在所述正倾斜面和负倾斜面上以紧贴的方式而形成有树脂插入部。在此，能够采用如下结构，即，在所述工件保持孔上沿着圆周方向而形成有凹凸，并且在所述凹凸的全部长度上形成有所述正倾斜面或负倾斜面。此外，也能够采用如下结构，即，在多个凹凸上连续地形成有所述正倾斜面，并且在与之相邻的多个凹凸上连续地形成有所述负倾斜面。另外，工件游星轮的制造方法的专利技术为上述任意的工件游星轮的制造方法，其特征在于，具备：为了在所述游星轮基板上钻设所述工件保持孔，而从所述游星轮基板的表面侧起以在圆周方向上隔开间隔的方式而对所述正倾斜面进行切割加工的工序；通过从所述游星轮基板的背面侧起在所述正倾斜面之间对所述负倾斜面进行切割加工从而形成所述工件保持孔的工序；针对于所述工件保持孔通过注塑成型而设置树脂插入件的工序。专利技术效果如此构成的本专利技术的工件游星轮沿着工件保持孔的圆周方向以交替的方式而连续地形成有相对于表里方向的倾斜为相反的正倾斜面和负倾斜面，并且在这些倾斜面上以紧贴的方式而形成有树脂插入部。通过设置倾斜为相反的正倾斜面和负倾斜面，从而不仅针对于游星轮基板的表里方向中的任意方向均能够防止树脂插入部从工件保持孔中脱落的情况，而且，由于倾斜面沿着工件保持孔的圆周方向而连续地设置，因此能够提高工件保持孔对树脂插入部进行保持的保持力。因此，能够形成游星轮基板与树脂插入部的一体性较高的工件游星轮。特别是，通过在工件保持孔的圆周方向上形成有凹凸，从而利用由该凹凸实现的嵌合和形成在凹凸的全部长度上的正倾斜面及负倾斜面之间的协同效应，能够确保游星轮基板与树脂插入部的较高的一体性。此外，如果在多个凹凸上连续地形成正倾斜面和负倾斜面，则能够有效地进行切割加工。另外，在工件游星轮的制造方法的专利技术中，通过从游星轮基板的表面侧起以在圆周方向上隔开间隔的方式而对正倾斜面进行切割加工的工序、和从游星轮基板的背面侧起对负倾斜面进行切割加工的工序，从而能够同时实施工件保持孔的钻孔和倾斜面的成型，由此较为高效。附图说明图1为将本实施方式的工件游星轮的工件保持孔的内周面附近放大来进行说明的俯视图。图2为对工件游星轮的概要结构进行说明的俯视图。图3为对本实施方式的工件游星轮的制造方法的工序进行说明的流程图。图4为将工件保持孔的内周面附近放大来进行说明的立体图。图5A为从图4的A-A箭头方向进行观察的剖视图。图5B为从图4的B-B箭头方向进行观察的剖视图。图5C为从图4的C-C箭头方向进行观察的剖视图。图5D为从图4的D-D箭头方向进行观察的剖视图。图6A为对将树脂插入部设置在工件保持孔的内周面上的结构进行说明的、与图5A为相同位置的剖视图。图6B为对将树脂插入部设置在工件保持孔的内周面上的结构进行说明的、与图5B为相同位置的剖视图。图6C为对将树脂插入部设置在工件保持孔的内周面上的结构进行说明的、与图5C为相同位置的剖视图。图6D为对将树脂插入部设置在工件保持孔的内周面上的结构进行说明的、与图5D为相同位置的剖视图。图7为将实施例的工件保持孔的内周面附近放大来进行说明的俯视图。图8A为从图7的E-E箭头方向进行观察的剖视图。图8B为从图7的F-F箭头方向进行观察的剖视图。图9为对其他的实施方式的工件游星轮的概要结构进行说明的俯视图。具体实施方式以下，参照附图，对本专利技术的实施方式进行说明。图1、图2为对本实施方式的工件游星轮10的结构进行说明的图，图2示出了整体的概要结构，图1放大示出了工件保持孔2的内周面附近。工件游星轮10被安装并用于对硅晶片或玻璃等工件的双面或者单面进行研磨加工的平面研磨装置中。例如，对工件的双面进行研磨加工的平面研磨装置具备：作为定盘的上定盘及下定盘；太阳齿轮，其以旋转自如的方式而被配置在上定盘及下定盘的中心部上；以及内啮合齿轮，其被配置在上定盘及下定盘的外周侧。并且，如图2所示那样的工件游星轮10被配置于平面研磨装置的上定盘与下定盘之间。工件游星轮10通过金属制的游星轮基板1而形成圆板形的主体。在该游星轮基板1上钻设有例如圆形的工件保持孔2、……和研磨剂供给孔12、……。并且，沿着工件保持孔2的内周面而设置有树脂插入部3。在所述工件游星轮10中，在外缘的外形部11上设置有与太阳齿轮及内啮合齿轮相啮合的齿部(省略图示)，并且成为通过太阳齿轮和内啮合齿轮的旋转而进行自转及公转的结构。而且，通过工件游星轮10的自转及公转，从而对被配置在工件游星轮10的工件保持孔2内的工件的双面进行研磨。游星轮基板1为由金属板切割而成的圆板状。作为金属板而能够使用不锈钢(SUS)、高碳铬轴承钢、碳素工具钢(SK钢)、高速工具钢、合金工具钢、高强度钢、钛等。另一方面，树脂插入件部由合成树脂材料而形成。合成树脂材料能够使用本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种工件游星轮，其为沿着形成在金属制的游星轮基板上的工件保持孔的内周面而设置有树脂插入部的工件游星轮，其特征在于，在所述工件保持孔内，沿着圆周方向而以交替的方式连续地形成有正倾斜面和负倾斜面，所述正倾斜面和负倾斜面相对于表里方向的倾斜为相反，在所述正倾斜面和负倾斜面上以紧贴的方式而形成有所述树脂插入部。

【技术特征摘要】
2016.07.27 JP 2016-1473081.一种工件游星轮，其为沿着形成在金属制的游星轮基板上的工件保持孔的内周面而设置有树脂插入部的工件游星轮，其特征在于，在所述工件保持孔内，沿着圆周方向而以交替的方式连续地形成有正倾斜面和负倾斜面，所述正倾斜面和负倾斜面相对于表里方向的倾斜为相反，在所述正倾斜面和负倾斜面上以紧贴的方式而形成有所述树脂插入部。2.如权利要求1所述的工件游星轮，其特征在于，在所述工件保持孔上沿着圆周方向而形成有凹凸，并且在所述凹凸的全部长度上形成有所述正倾斜面或...

【专利技术属性】
技术研发人员：三桥伸一，
申请(专利权)人：快递股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP