工件的板厚计测用窗结构制造技术

本发明专利技术提供一种能够将窗部件稳定地固定在定盘的表面上的工件的板厚计测用窗结构。工件的板厚计测用窗结构(1)具备：计测孔(2)，其贯穿用于研磨薄板状的工件(W)的研磨装置(201)的上定盘(211)的上下表面(211a、211b)；以及窗部件(3)，其被插入在计测孔(2)中。窗部件(3)具有：筒状部(31)，其下端侧被插入在计测孔(2)中；以及具有透光性的窗板(32)，其被设置在筒状部(31)的下端处。工件的板厚计测用窗结构(1)还具备：固定部(4)，其以面接触的方式而对筒状部(31)的上端侧的外周面(31a)进行保持并被固定在上定盘(211)的上表面(211a)上。

Window structure of plate thickness gauge for workpiece

The invention provides a plate thickness measuring window structure which can stabilize the window parts on the surface of the fixed plate. The thickness measurement and window structure of the workpiece (1) has: measuring hole (2), which runs through the upper and lower surfaces (211A and 211b) of the upper set (211) of the grinding device (201) for grinding the sheet like workpiece (W), and the window component (3) is inserted into the measuring hole (2). A window part (3) has a cylindrical portion (31), the lower end side is inserted in the measuring hole (2); and the shutter with transparency (32), which is arranged in the cylindrical part (31) at the lower end of the. The thickness measurement and window structure of the workpiece (1) also has a fixed part (4), which maintains the upper end side outer surface (31a) of the cylindrical part (31) and is fixed on the upper surface (211A) of the upper fixed disk (211) in the way of face contact.

【技术实现步骤摘要】
工件的板厚计测用窗结构
本专利技术涉及工件的板厚计测用窗结构。
技术介绍
现在，为了使硅晶片、玻璃、陶瓷、水晶等的薄板状的工件的双面或单面平坦而使用有对研磨工件进行研磨的研磨装置。在这种研磨装置上，通常连接有在工件的研磨过程中对工件的板厚进行计测的板厚计测装置。作为这种板厚计测装置，已知有一种例如将红外线照射至工件上并接收(受光)反射的反射光而对工件的板厚进行计测的装置。在研磨装置的定盘(Surfaceplate)上设置有：如专利文献1所示那样的计测用窗结构(工件的板厚计测用窗结构)。这种计测用窗结构通过在贯通研磨装置的定盘的表面及背面的计测孔中安装窗部件而形成。窗部件由一端侧被插入至计测孔中的筒状部、被设置在筒状部的一端的具有透光性的窗板、以及被设置在筒状部的另一端侧的固定部所构成。固定部被固定在定盘的表面上。这样构成的专利文献1的计测用窗结构，使从板厚计测装置发射的红外线通过筒状部并透过窗板而照射到工件的表面，并且使工件的表面及背面所反射的反射光透过窗板并通过筒状部而使板厚计测装置接收(受光)。(在先技术文献)(专利文献)专利文献1：日本特开2013-223908号公报
技术实现思路
(专利技术所要解决的问题)然而，在专利文献1的计测用窗结构中，由于固定部对窗部件的筒状部的另一端进行保持并被固定在定盘的表面上，因此存在有窗部件因定盘的振动等而意外倾斜的情况。在此情况下，窗部件无法使工件的板厚计测所需的量的红外线、反射光透过，因此会导致板厚计测装置所测得的板厚的计测值的精度下降。于是，需要一种能够将窗部件稳定地固定在定盘的表面上的工件的板厚计测用窗结构。本专利技术是鉴于上述的问题而完成的，其目的在于，提供一种能够将窗部件稳定地固定在定盘的表面上的工件的板厚计测用窗结构。(用于解决问题的方法)本专利技术的工件的板厚计测用窗结构具备：计测孔，其贯穿研磨薄板状的工件的研磨装置的定盘的表面及背面；窗部件，其具有一端侧被插入至所述计测孔中的筒状部及被设置在所述筒状部的一端处的具有透光性的窗板；以及固定部，其以面接触的方式而对所述筒状部的另一端侧的外周面进行保持并被固定在所述定盘的表面上。(专利技术的效果)在本专利技术的工件的板厚计测用窗结构中，固定部以面接触的方式而对筒状部的另一端侧的外周面进行保持。据此，与现有技术相比，固定部保持窗部件的筒状部的范围变宽，因此能够以预先调整好的角度而持续地对窗部件的筒状部进行保持。因此，本专利技术的工件的板厚计测用窗结构能够将窗部件稳定地固定于定盘的表面上。附图说明图1为示出应用了本专利技术的一个实施方式的工件的板厚计测用窗结构的研磨系统的结构的模式图。图2为本专利技术的一个实施方式的工件的板厚计测用窗结构的纵剖视图。图3为构成本实施方式的工件的板厚计测用窗结构的套筒的俯视图。图4为图3的套筒的主视图。图5为构成本实施方式的工件的板厚计测用窗结构的套圈的纵剖视图。图6为构成本实施方式的工件的板厚计测用窗结构的壳体的俯视图。图7为图6的A-A剖视图及B-B剖视图。图8为构成本实施方式的工件的板厚计测用窗结构的盖体的俯视图。图9为图8的C-C剖视图及D-D剖视图。图10为构成本实施方式的工件的板厚计测用窗结构的外罩的俯视图。图11为从上定盘的外周侧对图10的外罩进行观察的概要立体图。图12为图10的外罩的概要仰视图。图13为用于对使用了本实施方式的工件的板厚计测用窗结构的工件的板厚计测方法进行说明的图。具体实施方式以下，依照附图说明本专利技术的实施方式的工件的板厚计测用窗结构。图1为示出应用了本专利技术的一个实施方式的工件的板厚计测用窗结构1的研磨系统101的结构的模式图。该研磨系统101具备：研磨装置201；以及与研磨装置201连接的板厚计测装置301。使用图1来简单说明研磨装置201和板厚计测装置301的结构。研磨装置201是使用研磨剂而对薄板状的工件W的两面进行研磨的装置。该研磨装置201具备：进行旋转驱动的上定盘211及下定盘212；以及对上定盘211及下定盘212的驱动进行控制的控制部213。在上定盘211的下表面211b及下定盘212的上表面212a上分别安装有研磨垫(未图示)。在双方的研磨垫之间，配置有游星轮214并使其载置在下定盘212上。该游星轮214对工件W进行保持。研磨装置201构成为：使上定盘211及下定盘212旋转驱动，并在利用双方的研磨垫而供给研磨剂的同时，对工件W的两面进行研磨。板厚计测装置301是用于计测研磨中的工件W的板厚Wt的装置。该板厚计测装置301具备：计测装置主体311；以及与计测装置主体311的连接的激光头312及数据解析部313。虽然未进行图示，计测装置主体311具备：振荡产生红外线Ra的振荡器；以及测量反射光Rb(参见图13)的干涉强度的测量器。激光头312被构成为：将从振荡器振荡产生的红外线Ra照射于研磨中的工件W的表面Wa，并且接收(受光)工件W的表面Wa及背面Wb所反射的反射光Rb。数据解析部313的输入侧被连接在计测装置主体311的测量器上，数据解析部313的输出侧被连接在研磨装置201的控制部213上。该数据解析部313被构成为：从测量器获取干涉强度的计测值，并根据该计测值而实时地对工件W的板厚Wt进行运算。进而，数据解析部313被构成为：能够将运算而得到的工件W的板厚Wt发送至控制器213。控制部213被构成为：对上定盘211及下定盘212的旋转驱动进行控制。在上定盘211上设置有本实施方式的工件的板厚计测用窗结构1。如图13所示，该工件的板厚计测用窗结构1的用途为：使从激光头312发射的红外线Ra穿过而照射于工件W的表面Wa，并且使工件W的表面Wa及背面Wb所反射的反射光Rb穿过而使激光头312接收(受光)。以下，对该工件的板厚计测用窗结构1的结构进行具体说明。图2为工件的板厚计测用窗结构1的纵剖视图。该工件的板厚计测用窗结构1具备：计测孔2，其贯穿研磨装置201的上定盘211的上下面(表面及背面)211a、211b；窗部件3，其被插入至计测孔2中；以及固定部4，其对窗部件3进行保持并被固定在上定盘211的上表面211a上。该工件的板厚计测用窗结构1还具备：外罩5，其覆盖窗部件3及固定部4并被固定在上定盘211的上表面211a上。计测孔2的直径从上定盘211的下表面211b朝向上表面211a而形成。在该计测孔2的上部插入而固定有带孔螺栓6。插穿孔6a以贯穿上下面的方式而被设置于带孔螺栓6中。在带孔螺栓6的外周嵌合有衬套7，并且该衬套7被固定在上定盘211的上表面211a上。在衬套7的上表面7a上，在带孔螺栓6所穿过的中央孔7b的周围设置有多个固定孔7c。该多个固定孔7c沿着衬套7的圆周方向以预定的间隔而配置。另外，也可以不经由带孔螺栓6、衬套7而将对窗部件3进行了保持的固定部4固定在上定盘211的上表面211a上。接着，对窗部件3的结构进行说明。该窗部件3具备：筒状部31，其被插入至计测孔2中；以及窗板32，其被设置在筒状部31的下端处。还具备：包覆材33，其覆盖筒状部31的外周面31a。筒状部31通过石英玻璃、BK-7等的玻璃系材料、蓝宝石(Sapphire)、树脂等的材料而被形成为筒状。筒状部31的一端为开口。从该筒状部31的中间部至下部的部分3本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种工件的板厚计测用窗结构，其特征在于，具备：计测孔，其贯穿对薄板状的工件进行研磨的研磨装置的定盘的表面和背面；窗部件，其具有一端侧被插入至所述计测孔中的筒状部、及设置在所述筒状部的一端处的具有透光性的窗板；以及固定部，其以面接触的方式而对所述筒状部的另一端侧的外周面进行保持并被固定在所述定盘的表面上。

【技术特征摘要】
2016.05.24 JP 2016-1034101.一种工件的板厚计测用窗结构，其特征在于，具备：计测孔，其贯穿对薄板状的工件进行研磨的研磨装置的定盘的表面和背面；窗部件，其具有一端侧被插入至所述计测孔中的筒状部、及设置在所述筒状部的一端处的具有透光性的窗板；以及固定部，其以面接触的方式而对所述筒状部的另一端侧的外周面进行保持并被固定在所述定盘的表面上。2.根据权利要求1所述的工件的板厚计测用窗结构，其特征在于，所述固定部具备：套筒，其供所述筒状部的另一端侧穿过；圆环状弹性部件，其被嵌入在所述套筒的外周面上；固定部主体，其约束所述圆环状弹性部件的外周并被固定在所述定盘的表面上。3.根据权利要求2所述的工件的板厚计测用窗结构，其特征在于，在所述套筒的两端侧，在圆周方向上以预定的间隔而分别设置有多个开槽。4.根据权利要求1所述的工件的板厚计测...

【专利技术属性】
技术研发人员：小池喜雄，井上裕介，吉原秀明，
申请(专利权)人：快递股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP