平面研磨装置制造方法及图纸
Flat grinding device
The invention provides a flat grinding device, the problem is, to prevent the static side or the rotating part side cable damage through cable and the stationary part to prevent static side cable and the rotating part of the contact, or rotate the side contact, can achieve stable grinding machining. In the rotary joint (60) of the rotary side joint part (63) connected to the cable (53) is provided with a covered position, keep the space between department at (75) first cables are arranged in a cover (73) and second (74) in the cable cover, two cable cover (73, 74 the space between the Department) (75) is placed and connected with the side of the head rotation (63) connected to the cable (53).
【技术实现步骤摘要】
平面研磨装置
本专利技术涉及一种平面研磨装置，其用于工件的研磨。
技术介绍
近年来，例如在对硅晶片等工件的表面进行研磨的研磨装置上搭载有工件厚度测定传感器、定盘温度测定传感器等各种各样的传感器。这些传感器设置于旋转的定盘，在研磨加工中一边与定盘一起旋转一边对工件厚度、定盘温度等进行测定。对于工件厚度测定传感器，通常采用对工件照射激光而根据反射光对该工件的厚度进行测定的光学式的传感器。在研磨加工中的研磨装置中，从测定单元向传感器的激光以及电力的供给经由光缆(光纤线缆)、电缆(电线缆)而进行。另外，研磨加工中由传感器测定所得的数据始终通过光缆、电缆等从传感器向测定单元传递。此时，由于传感器设置于定盘等的旋转部，测定单元设置于机体等不旋转的静止部，因此，作为用于在旋转部与静止部之间对激光、电力或者电信号等进行传递的传递部件而使用旋转接头(rotaryjoint)，且该旋转接头的静止侧接头部和测定单元、以及旋转侧接头部和传感器分别通过光缆或者电缆连接。然而，在使用了旋转接头的情况下，当旋转部相对于静止部旋转时，存在与旋转接头的旋转部侧连接的线缆与旋转接头的静止部侧接触、或...
【技术保护点】
一种平面研磨装置，其特征在于，具有：机体；定盘，其用于对工件进行研磨，并以旋转自如的方式支承于机体；传感器单元，其用于在研磨工件时对与工件或定盘有关的数据进行测定，并被设置为与定盘一体地旋转；测定单元，其设置于机体，并通过线缆而与传感器单元连接；旋转接头，其夹设于机体侧的静止部与定盘侧的旋转部之间，并具有与静止部侧连结的静止侧接头部和与旋转部侧连结的旋转侧接头部；一次侧线缆，其将旋转接头的静止侧接头部与测定单元连接；以及二次侧线缆，其将旋转接头的旋转侧接头部与传感器单元连接，在将与旋转接头的静止侧接头部或者旋转侧接头部连接的线缆覆盖的位置，设置有在相互间保持空间部地配设的第...
【技术特征摘要】
2016.02.10 JP 2016-0235361.一种平面研磨装置，其特征在于，具有：机体；定盘，其用于对工件进行研磨，并以旋转自如的方式支承于机体；传感器单元，其用于在研磨工件时对与工件或定盘有关的数据进行测定，并被设置为与定盘一体地旋转；测定单元，其设置于机体，并通过线缆而与传感器单元连接；旋转接头，其夹设于机体侧的静止部与定盘侧的旋转部之间，并具有与静止部侧连结的静止侧接头部和与旋转部侧连结的旋转侧接头部；一次侧线缆，其将旋转接头的静止侧接头部与测定单元连接；以及二次侧线缆，其将旋转接头的旋转侧接头部与传感器单元连接，在将与旋转接头的静止侧接头部或者旋转侧接头部连接的线缆覆盖的位置，...
【专利技术属性】
技术研发人员：小田桐茂，井上裕介，小池喜雄，吉原秀明，
申请(专利权)人：快递股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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