The invention relates to a device and a mask mask assembly, mask, mask device comprises a mask and a mask frame assembly, the mask assembly includes a mask and a shield; the edge of the mask and the mask frame connected to the mask plate; the uniform is provided with a plurality of through holes in the shield is provided with a plurality of openings; the shield is connected to the mask plate, each of the openings are respectively aligned to the mask portion of the film plate on the through hole, the shield block is arranged in the remaining part of the sheet mask the through hole. The mask without reservation according to different display different settings, only the overall etching, reduce the etching process, reduced process complexity, uniform mask plate is provided with a through hole, the mask for each part of the mechanical properties tend to be consistent, can effectively reduce deformation, while steaming plating display area different shapes, improve the utilization ratio of the glass substrate, improve the evaporation efficiency, can quickly adapt to the needs of product updates.
【技术实现步骤摘要】
掩膜装置及其掩膜组件、掩膜板
本专利技术涉及有机发光显示制造
,特别是涉及掩膜装置及其掩膜组件、掩膜板。
技术介绍
AMOLED(Active-matrixorganiclightemittingdiode,有源矩阵有机发光二极体)生产制程中最影响良率的制程为蒸镀制程,蒸镀制程的基本过程即通过加热有机材料,使得有机材料蒸发,并通过高精度精细掩膜板蚀刻完成的通孔蒸镀到玻璃基板上,形成发光单元。蒸镀制程中,蒸发后的有机材料通过掩膜板的有效区的通孔蒸镀到基板上,形成显示屏的AA(AtiveArea,有效显示区域)区,AA区也称显示区,也就是掩膜板的有效区对应显示屏的AA区。目前传统的掩模板通常设计为Divide(单条的形式),以对应某一种产品型号,最后再分别将多条的掩模板分别焊接到掩模板框架上,以对应基板的产品排版,此种方式虽能满足目前生产,但在实际中存在如下方面的问题;1:由于掩模板为单条的形式,在制作掩膜板时,通常需要在掩膜板的蚀刻有效区,并在有效区的周围的不同形状的Dummy(预留区)部分蚀刻,以保证掩模板在张网力的影响下,有效区和预留区的力学性能尽可能一致,减少变形;但此种单条的掩膜板的的制造工艺比较复杂,通常需要多次曝光以分别对应蚀刻出有效区蚀刻孔和预留区的蚀刻孔;2:掩模板通常需要根据具体的产品型号进行设计,之后再进行刻蚀制造,而由于掩模板制造周期通常比较长,而显示屏的产品型号更新较快,所以此种方法不能快速的对应市场产品需求;3:由于利用单条掩膜板的焊接形式,最终基板的排版只能对应某一种产品型号,无法合理利用排版中的空闲位置,使得玻璃基板排版的 ...
【技术保护点】
一种掩膜装置,其特征在于,包括掩膜组件和掩膜框架,所述掩膜组件包括一掩膜板和一遮挡件;所述掩膜板的边沿与所述掩膜框架连接;所述掩膜板上均匀开设有若干通孔,各所述通孔的形状相同,且各所述通孔的尺寸相等,所述遮挡件开设有若干通口;所述遮挡件抵接于所述掩膜板,各所述通口分别对齐于所述掩膜板上的部分所述通孔,且所述通口与对齐的各所述通孔连通,所述遮挡件挡设于所述掩膜板上的剩余部分所述通孔。
【技术特征摘要】
1.一种掩膜装置,其特征在于,包括掩膜组件和掩膜框架,所述掩膜组件包括一掩膜板和一遮挡件;所述掩膜板的边沿与所述掩膜框架连接;所述掩膜板上均匀开设有若干通孔,各所述通孔的形状相同,且各所述通孔的尺寸相等,所述遮挡件开设有若干通口;所述遮挡件抵接于所述掩膜板,各所述通口分别对齐于所述掩膜板上的部分所述通孔,且所述通口与对齐的各所述通孔连通,所述遮挡件挡设于所述掩膜板上的剩余部分所述通孔。2.根据权利要求1所述的掩膜装置,其特征在于,各所述通口形状相同。3.根据权利要求1所述的掩膜装置,其特征在于,各所述通口中至少有两个所述通口的形状相异。4.根据权利要求1所述的掩膜装置,其特征在于,所述通口的形状为不规则形状。5.根据权利要求1所述的掩膜装置,其特征在于,所述遮挡件为遮挡膜。6...
【专利技术属性】
技术研发人员:苏君海,龚建国,吴俊雄,冉应刚,柯贤军,李建华,
申请(专利权)人:信利惠州智能显示有限公司,
类型:发明
国别省市:广东,44
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