A method of manufacturing microsphere resonant cavity based on power jet printing of current body, which involves an optical microcavity. The pipe is connected to the pump, the metal material storage tube provided in the melt polymer materials; suspended droplet formation in the nozzle metal micro channel; the heater and the metal material storage tube tightly regulated metal material storage tube prepared by polymer melt temperature controller temperature, adding additives in polymer melt materials, open the high voltage power supply switch, regulating voltage to the electrode plate 600V hanging drop electric force due to injection into the collection plate, the nozzle metal micro channel high voltage power supply and grounding terminal connection plate electrode and the high voltage power supply connected to the negative pressure, when the high-voltage power supply output voltage regulation, the nozzle droplet metal micro channel in the form of spray jet printing to melt polymer collecting plate, forming and collecting plate has a certain contact angle of droplet cooling, curing after microsphere resonator in solid phase.
【技术实现步骤摘要】
一种基于电流体动力喷印的微球谐振腔制造方法
本专利技术涉及光学微腔,尤其是涉及一种基于电流体动力喷印的微球谐振腔制造方法。
技术介绍
光学微腔是一种尺寸在微米或亚微米量级的光学谐振腔,它利用在折射率不连续界面上的反射、散射或衍射等效应,将光限制在一个很小的区域。基于回音壁模式(ModeGalleryWhispering,WGM)的光学微腔是目前研究的热点,按照形状主要分为微球腔、微盘腔、微环腔和微芯环腔等。微球谐振腔具有超高的腔品质因子(大于109)、丰富的回音壁模式、极小的模体积等特点,近年来在低阈值微球激光器、高灵敏度光学传感、非线性光学、腔量子电动力学及量子光学等研究领域引起了广泛关注(WangP,DingM,LeeT,andetal.,PackagedchalcogenidemicrosphereresonatorwithhighQ-factor,AppliedPhysicsLetters,102(13):131110(2013))。制作微球谐振腔的方法主要有以下几种,一是采用传统光刻与刻蚀方法制作固相微球腔,这种方法工艺复杂;二是玻璃粉料漂浮高温熔融法,即将玻璃粉末高温雾化,利用熔体的表面张力使其成为玻璃微球,该方法制备效率极高,但所制备的微球腔尺寸较小(60~160μm),并且需要进行微球的固定才能用于实验;三是采用CO2激光器烧蚀石英光纤末端制作微球腔,这种方法制作微球腔时一般需要实时监视成球过程,并且微球腔尺寸受到光纤尺寸的限制。近年来还出现了诸如强磁场冷凝法、超快脉冲激光加工法、玻璃液旋转法、模压法和伽马射线辐照法等制造方法(YangZ, ...
【技术保护点】
一种基于电流体动力喷印的微球谐振腔制造方法,其特征在于包括以下步骤:1)将气管连接气泵,给金属储料管中提供熔体聚合物原料;2)在金属微通道的喷嘴处形成悬滴;3)将加热器与金属储料管贴合,通过温度控制器调节金属储料管中熔体聚合物原料的温度,再将熔体聚合物原料中加入添加剂,调节温度至250±10℃并保持30min,调节气泵压强到0.1MPa,使得金属微通道的喷嘴处形成稳定的小流量的熔体聚合物溶液,打开高压电源开关,调节电极板电压到‑600V,悬滴由于电场力作用喷射到收集板上,将金属微通道的喷嘴与高压电源接地端联接,电极板与高压电源负压端联接,当高压电源输出规定电压时,金属微通道的喷嘴处液滴以熔体聚合物射流的形式喷印至收集板上,形成与收集板具有一定接触角的微液滴,降温固化后得固相的微球谐振腔。
【技术特征摘要】
1.一种基于电流体动力喷印的微球谐振腔制造方法,其特征在于包括以下步骤:1)将气管连接气泵,给金属储料管中提供熔体聚合物原料;2)在金属微通道的喷嘴处形成悬滴;3)将加热器与金属储料管贴合,通过温度控制器调节金属储料管中熔体聚合物原料的温度,再将熔体聚合物原料中加入添加剂,调节温度至250±10℃并保持30min,调节气泵压强到0.1MPa,使得金属微通道的喷嘴处形成稳定的小流量的熔体聚合物溶液,打开高压电源开关,调节电极板电压到-600V,悬滴由于电场力作用喷射到收集板上,将金属微通道的喷嘴与高压电源接地端联接,电极板与高压电源负压端联接,当高压电源输出规定电压时,金属微通道的喷嘴处液滴以熔体聚合物射流的形式喷印至收集板上,形成与收集板具有一定接触角的微液滴,降温固化后得固相的微球谐振腔。2.如权利要求1所述一种基于电流体动力喷印的微球谐振腔制造方法,其特征在于在步骤1)中,所述给金属储料管中...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈沁楠,孙道恒,吴德志,梅学翠,陈小军,方可,
申请(专利权)人:厦门大学,
类型:发明
国别省市:福建,35
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