一种阵列可调光衰减器及其衰减和制作方法技术

本发明专利技术涉及一种衰减器及其衰减和制作方法，属于光通信领域，具体是涉及一种阵列可调光衰减器及其衰减和制作方法。本发明专利技术采用弯曲光波导结构设计，可以减小由输入端漏光形成的杂散光对相邻信道产生的光串扰；并且，在信道之间采用深刻蚀的隔热槽设计，在槽中填充低导热及低膨胀性能的Polymer材料，可以有效的隔离各信道之间的交叉热传导。

【技术实现步骤摘要】
一种阵列可调光衰减器及其衰减和制作方法
本专利技术涉及一种衰减器及其衰减和制作方法，属于光通信领域，具体是涉及一种阵列可调光衰减器及其衰减和制作方法。
技术介绍
可调光衰减器(VariableOpticalAttenuation,VOA)是DWDM(密集波分复用)光通信信号传输系统中不可缺少的器件，它的功能和作用是平衡和调节光信号的幅度，进而实现信号的有效传输和接收。目前可调光衰减器有多种类型的制造技术，大致可分为分立微光元件技术、微机电系统(MEMS)技术及平面光波导(PlanarLightwaveCircuit,PLC)技术等。其中，基于热光效应PLC技术制造的马赫曾德干涉仪(Mach-ZehnderInterferometer,MZI)型VOA具有稳定性好，尺寸小，成本低，易于集成，适合大规模生产等优点，已成为最广泛使用的可调光衰减器之一。一般基于热光效应PLC技术的MZI型VOA光路结构输入输出光波导多设计成直波导，如图1所示，当制成阵列可调光衰减器时，由于输入端漏光形成的杂散光容易对相邻信道产生光干扰，从而导致器件的光学性能指标变差，如偏振相关损耗大、光串扰大等；另外，基于本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种阵列可调光衰减器，包括至少一个信道单元，所述信道单元包括至少两路相互独立的调制光波导以及设置于至少一路调制光波导上的加热电极；其特征在于，与所述调制光波导相连的输入光波导和/或输出光波导具有遮挡漏光以防止漏光与调制光波导耦合的弯曲状部位。

【技术特征摘要】
1.一种阵列可调光衰减器，包括至少一个信道单元，所述信道单元包括至少两路相互独立的调制光波导以及设置于至少一路调制光波导上的加热电极；其特征在于，与所述调制光波导相连的输入光波导和/或输出光波导具有遮挡漏光以防止漏光与调制光波导耦合的弯曲状部位。2.根据权利要求1所述的一种阵列可调光衰减器，其特征在于，各路调制光波导分光于同一输入光波导并汇聚于同一输出光波导。3.根据权利要求1所述的一种阵列可调光衰减器，其特征在于，所述的加热电极两端连接有导电功能的电极引线。4.根据权利要求1所述的一种阵列可调光衰减器，其特征在于，所述信道单元为若干个，相邻信道单元之间设置有隔热槽。5.根据权利要求4所述的一种阵列可调光衰减器，其特征在于，所述隔热槽内填充有导热系数小于0.026W/(m.k)、热膨胀系数小于0.5×10^-6/K的聚合物。6.根据权利要求1所述的一种阵列可调光衰减器，其特征在于，所述加热电极的电阻率为50～500nΩ·m；和/或与所述加热电极相连的电极引线的电导率为60～110％IACS。7.根据权利要求1所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐晓辉，陈辉，张伊，丁丽，周天红，马卫东，
申请(专利权)人：武汉光迅科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42