激光沉积系统技术方案

本发明专利技术提供一种激光沉积系统，包括激光源、一驱动机构、一第一反射镜、至少两个第二反射镜、真空室、至少两个用于固定不同的源材料靶材的第一固定平台以及用于沉积复合材料的基片；第一固定平台以及基片均设置于所述真空室内，至少两个固定平台分别与所述基片的预设区域相对，真空室设置有通光部，第二反射镜与所述第一反射镜平行，激光源与第一反射镜的出光方向呈预设夹角；驱动机构与所述第一反射镜连接，以驱动第一反射镜沿着所述激光源的出光方向移动，所述第一反射镜用于将所述激光源发出的光反射至所述至少两个第二反射镜中的一个第二反射镜，进而使得第二反射镜将第一反射镜反射的激光通过所述通光部反射至对应的所述第一固定平台。

Laser deposition system

The invention provides a laser deposition system includes a laser source, a driving mechanism, a first reflector, at least two of the second mirror, vacuum chamber, at least for the first two fixed platform source material target fixed and different substrate for deposition of composite materials; the fixed platform and the substrate are provided in the vacuum chamber, at least two fixed platform respectively with the preset region of the substrate, the vacuum chamber is provided with a light, second mirror and the first mirror parallel laser source and the first reflector light direction preinstall angle; the drive mechanism and the first mirror connected to drive the first reflector along the laser source light direction, the first reflector for the laser source emits light reflected to the at least two of the second mirror a The second reflector enables the second reflector to reflect the laser reflected by the first mirror to the corresponding first fixed platform through the light part.

【技术实现步骤摘要】
激光沉积系统
本专利技术涉及复合材料制备领域，特别涉及一种激光沉积系统。
技术介绍
目前在材料学领域有非常大的热点集中于对复合材料的研究，譬如太阳能材料，这些复合材料的性能都主要由其成份决定。为了研究以及优化这些材料，通常方法是一个一个地合成材料。这种探索的过程非常耗时间。因此非常有必要寻找一种高效的系统的探索研究复合材料的方法。这样复合材料的研究特别是还没有被充分开发利用的三成份或者四成份的复合材料的研究效率会大大提高。1995年，项晓东等人专利技术了用于复合材料制备的组合方法。此方法是在反应溅射法中采用了一系列的掩模(美国专利号5985356,6004617,6326090,6346290,7442665)(Xiang,etal.,Science268:1738(1995)；Wang,etal.,Science279:1712(1998)；Briceno,etal.,Science270:273(1995))。沉积的薄膜被掩模分成一系列的小样品。图1是这种组合方法使用的掩模。在合成过程中通过使用不同的掩模，旋转这些掩模，或者使用不同的源材料，使各个小样品沉积的源材料，材料的沉积量本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光沉积系统，其特征在于，包括激光源、一驱动机构、一第一反射镜、至少两个第二反射镜、真空室、至少两个用于固定不同的源材料靶材的第一固定平台以及用于沉积复合材料的基片；所述第一固定平台以及基片均设置于所述真空室内，所述至少两个第一固定平台分别与所述基片的预设区域相对，所述真空室设置有通光部，所述第二反射镜与所述第一反射镜平行，所述激光源与所述第一反射镜的出光方向呈预设夹角；所述驱动机构与所述第一反射镜连接，以驱动所述第一反射镜沿着所述激光源的出光方向移动，所述第一反射镜用于将所述激光源发出的光反射至所述至少两个第二反射镜中的一个第二反射镜，进而使得所述第二反射镜将第一反射镜反射的激光通过所述...

【技术特征摘要】
1.一种激光沉积系统，其特征在于，包括激光源、一驱动机构、一第一反射镜、至少两个第二反射镜、真空室、至少两个用于固定不同的源材料靶材的第一固定平台以及用于沉积复合材料的基片；所述第一固定平台以及基片均设置于所述真空室内，所述至少两个第一固定平台分别与所述基片的预设区域相对，所述真空室设置有通光部，所述第二反射镜与所述第一反射镜平行，所述激光源与所述第一反射镜的出光方向呈预设夹角；所述驱动机构与所述第一反射镜连接，以驱动所述第一反射镜沿着所述激光源的出光方向移动，所述第一反射镜用于将所述激光源发出的光反射至所述至少两个第二反射镜中的一个第二反射镜，进而使得所述第二反射镜将第一反射镜反射的激光通过所述通光部反射至对应的所述第一固定平台；所述控制组件与所述激光源以及所述一驱动机构电连接；还包括用于提供惰性气体的储气结构以及用于抽出惰性气体的真空泵；所述真空室的侧壁上开设进气孔以及出气孔，所述储气结构通过所述进气孔与所述真空室连通，所述真空泵通...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢宏林，
申请(专利权)人：惠州市宏策企业管理咨询有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44