用于批量合成复合材料的激光沉积系统技术方案

本发明专利技术提供一种用于批量合成复合材料的激光沉积系统，包括一种用于批量合成复合材料的激光沉积系统，包括激光源、驱动机构、第一反射镜、第二反射镜、真空室、至少两个用于固定不同的源材料靶材的第一固定平台以及用于沉积复合材料的基片；所述第一固定平台以及所述基片均设置于所述真空室内，所述至少两个第一固定平台分别与所述基片的预设区域相对，所述真空室设置有通光部，所述激光源与所述第一反射镜的出光方向呈预设夹角；所述驱动机构与所述第二反射镜连接，以驱动所述第二反射镜旋转至预设角度，所述第一反射镜用于将所述激光源发出的激光反射对应位置的所述第二反射镜。

Laser deposition system for batch synthesis of composite materials

The present invention provides a method for the synthesis of bulk composite laser deposition system, including a batch for composite materials with laser deposition system includes a laser source, a driving mechanism, a first mirror, second mirror, vacuum chamber, at least for the first two fixed platform source material target fixed and for different substrates the deposition of composite materials; the first fixed platform and the substrate are arranged in the vacuum chamber, wherein at least two of the first fixed platform respectively with the preset region of the substrate, wherein the vacuum chamber is provided with a light, the laser source and the first mirror out light direction is a preset angle; the drive mechanism is connected with the second mirror, to drive the second mirror rotate to a predetermined angle, the first reflector for the laser source The laser reflected the second mirror of the corresponding position.

【技术实现步骤摘要】
用于批量合成复合材料的激光沉积系统
本专利技术涉及复合材料制备领域，特别涉及一种用于批量合成复合材料的激光沉积系统。
技术介绍
目前在材料学领域有非常大的热点集中于对复合材料的研究，譬如太阳能材料，这些复合材料的性能都主要由其成份决定。为了研究以及优化这些材料，通常方法是一个一个地合成材料。这种探索的过程非常耗时间。因此非常有必要寻找一种高效的系统的探索研究复合材料的方法。这样复合材料的研究特别是还没有被充分开发利用的三成份或者四成份的复合材料的研究效率会大大提高。1995年，项晓东等人专利技术了用于复合材料制备的组合方法。此方法是在反应溅射法中采用了一系列的掩模(美国专利号5985356,6004617,6326090,6346290,7442665)(Xiang,etal.,Science268:1738(1995)；Wang,etal.,Science279:1712(1998)；Briceno,etal.,Science270:273(1995))。沉积的薄膜被掩模分成一系列的小样品。图1是这种组合方法使用的掩模。在合成过程中通过使用不同的掩模，旋转这些掩模，或者使用不同的源本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于批量合成复合材料的激光沉积系统，其特征在于，包括激光源、驱动机构、第一反射镜、第二反射镜、真空室、至少两个用于固定不同的源材料靶材的第一固定平台以及用于沉积复合材料的基片；所述第一固定平台以及所述基片均设置于所述真空室内，所述至少两个第一固定平台分别与所述基片的预设区域相对，所述真空室设置有通光部，所述激光源与所述第一反射镜的出光方向呈45度夹角；所述驱动机构与所述第二反射镜连接，以驱动所述第二反射镜旋转至预设角度，所述第一反射镜用于将所述激光源发出的激光反射对应位置的所述第二反射镜，进而使得处于预设角度的所述第二反射镜将第一反射镜反射的激光通过所述通光部反射至对应的所述第一固定平台上...

【技术特征摘要】
1.一种用于批量合成复合材料的激光沉积系统，其特征在于，包括激光源、驱动机构、第一反射镜、第二反射镜、真空室、至少两个用于固定不同的源材料靶材的第一固定平台以及用于沉积复合材料的基片；所述第一固定平台以及所述基片均设置于所述真空室内，所述至少两个第一固定平台分别与所述基片的预设区域相对，所述真空室设置有通光部，所述激光源与所述第一反射镜的出光方向呈45度夹角；所述驱动机构与所述第二反射镜连接，以驱动所述第二反射镜旋转至预设角度，所述第一反射镜用于将所述激光源发出的激光反射对应位置的所述第二反射镜，进而使得处于预设角度的所述第二反射镜将第一反射镜反射的激光通过所述通光部反射至对应的所述第一固定平台上；还包括一第二固定平台，所述至少两个第一固定平台固定设置于所述第二固定平台上；所述真空室的壁上设置有至少两个通孔，所述通光部包括覆盖在所述至少两个通孔处的至少两个石英玻璃。2.根据权利要求1所述的用于批量合成复合材料的激光沉积系统，其特征在于，还包括一控制组件，所述控制组件与所述激光源以及所述驱动机构电连接。3.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢宏林，
申请(专利权)人：惠州市宏策企业管理咨询有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44