基于可见光的复合材料沉积系统技术方案

本发明专利技术提供了一种基于可见光的复合材料沉积系统，其包括激光源、至少两个升降机构、至少两个第一反射镜、真空室、至少两个用于固定不同的源材料靶材的第一固定平台以及用于沉积复合材料的基片；所述第一固定平台以及基片均设置于所述真空室内，所述至少两个第一固定平台分别与所述基片的预设区域相对，所述真空室设置有通光部，所述激光源与所述第一反射镜的出光方向呈预设夹角；所述至少两个升降机构分别与所述至少两个第一反射镜一一对应地连接，所述至少三个第一反射镜分别与所述至少两个第一固定平台对应，所述升降机构用于调整对应所述第一反射镜的高度。

Composite deposition system based on visible light

The invention provides a composite deposition system based on visible light, which comprises a laser source, at least two lifting mechanism, at least two of the first mirror, vacuum chamber, at least for the first two fixed platform source material target fixed and different substrate for deposition of composite material; the first fixing the platform and the substrate are arranged in the vacuum chamber, wherein at least two of the first fixed platform respectively with the preset region of the substrate, wherein the vacuum chamber is provided with a light, the laser source and the first mirror light direction in preset angle; the at least two the lifting mechanism is respectively connected with the at least two first mirror corresponding to the connection, the at least three first mirror are respectively connected with the at least two first fixed platform corresponding to the lifting mechanism for adjusting the corresponding The height of the first reflector.

【技术实现步骤摘要】
基于可见光的复合材料沉积系统
本专利技术涉及复合材料制备领域，特别涉及一种基于可见光的复合材料沉积系统。
技术介绍
目前在材料学领域有非常大的热点集中于对复合材料的研究，譬如太阳能材料，这些复合材料的性能都主要由其成份决定。为了研究以及优化这些材料，通常方法是一个一个地合成材料。这种探索的过程非常耗时间。因此非常有必要寻找一种高效的系统的探索研究复合材料的方法。这样复合材料的研究特别是还没有被充分开发利用的三成份或者四成份的复合材料的研究效率会大大提高。1995年，项晓东等人专利技术了用于复合材料制备的组合方法。此方法是在反应溅射法中采用了一系列的掩模(美国专利号5985356,6004617,6326090,6346290,7442665)(Xiang,etal.,Science268:1738(1995)；Wang,etal.,Science279:1712(1998)；Briceno,etal.,Science270:273(1995))。沉积的薄膜被掩模分成一系列的小样品。图1是这种组合方法使用的掩模。在合成过程中通过使用不同的掩模，旋转这些掩模，或者使用不同的源材料，使各个本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于可见光的复合材料沉积系统，其特征在于，包括激光源、至少两个升降机构、至少两个第一反射镜、真空室、至少两个用于固定不同的源材料靶材的第一固定平台以及用于沉积复合材料的基片；所述第一固定平台以及基片均设置于所述真空室内，所述至少两个第一固定平台分别与所述基片的预设区域相对，所述真空室设置有通光部，所述激光源与所述第一反射镜的出光方向呈预设夹角；所述至少两个升降机构分别与所述至少两个第一反射镜一一对应地连接，所述至少三个第一反射镜分别与所述至少两个第一固定平台对应，所述升降机构用于调整对应所述第一反射镜的高度以避开所述激光源发出的激光，使得所述激光源发出的激光射至对应的第一反射镜处，该对应的...

【技术特征摘要】
1.一种基于可见光的复合材料沉积系统，其特征在于，包括激光源、至少两个升降机构、至少两个第一反射镜、真空室、至少两个用于固定不同的源材料靶材的第一固定平台以及用于沉积复合材料的基片；所述第一固定平台以及基片均设置于所述真空室内，所述至少两个第一固定平台分别与所述基片的预设区域相对，所述真空室设置有通光部，所述激光源与所述第一反射镜的出光方向呈预设夹角；所述至少两个升降机构分别与所述至少两个第一反射镜一一对应地连接，所述至少三个第一反射镜分别与所述至少两个第一固定平台对应，所述升降机构用于调整对应所述第一反射镜的高度以避开所述激光源发出的激光，使得所述激光源发出的激光射至对应的第一反射镜处，该对应的第一反射镜将该激光反射至对应的所述第一固定平台处。2.根据权利要求1所述的基于可见光的复合材料沉积系统，其特征在于，还包括一控制组件，所述控制组件与所述激光源以及所述升降机构电连接。3.根据权利要求2所述的基于可见光的复合材料沉积系统，其特征在于，所述基片上与所述第一固定平台相对的一面贴有掩模。4.根据权利要求3所述的基于可见光的复合材料沉积系统，其特征在于，所述掩模上设置有多个呈矩阵分布的沉积孔。5....

【专利技术属性】
技术研发人员：谢宏林，
申请(专利权)人：惠州市宏策企业管理咨询有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44