复合材料沉积系统技术方案

本发明专利技术提供了一种复合材料沉积系统，包括激光源、一驱动机构、至少两个第一反射镜、真空室、至少两个用于固定不同的源材料靶材的第一固定平台以及用于沉积复合材料的基片；所述第一固定平台以及基片均设置于所述真空室内，所述至少两个第一固定平台分别与所述基片的预设区域相对，所述真空室设置有通光部，所述激光源与所述第一反射镜的出光方向呈预设夹角；所述驱动机构与所述激光源连接以驱动所述激光源移动，使得所述激光源发出的激光选择性地射入至所述至少两个第一反射镜中的一个第一反射镜，所述第一反射镜用于将激光通过所述通光部射入所述真空室中的对应所述第一固定平台处。

Composite deposition system

The invention provides a composite deposition system includes a laser source, a driving mechanism, at least two of the first mirror, vacuum chamber, at least for the first two fixed platform source material target fixed and different substrate for deposition of composite materials; the first fixed platform and are arranged on the substrate the vacuum chamber, wherein at least two of the first fixed platform respectively with the preset region of the substrate, wherein the vacuum chamber is provided with a light, the laser source and the first mirror light direction in preset angle; the drive mechanism and the laser source is connected to the drive the laser source mobile, allowing the laser source a first mirror laser selectively emitted into to the at least two first reflection mirror, the first reflecting mirror for laser light pass through the The section is injected into the vacuum chamber corresponding to the first fixed platform.

【技术实现步骤摘要】
复合材料沉积系统
本专利技术涉及复合材料制备领域，特别涉及一种复合材料沉积系统。
技术介绍
目前在材料学领域有非常大的热点集中于对复合材料的研究，譬如太阳能材料，这些复合材料的性能都主要由其成份决定。为了研究以及优化这些材料，通常方法是一个一个地合成材料。这种探索的过程非常耗时间。因此非常有必要寻找一种高效的系统的探索研究复合材料的方法。这样复合材料的研究特别是还没有被充分开发利用的三成份或者四成份的复合材料的研究效率会大大提高。1995年，项晓东等人专利技术了用于复合材料制备的组合方法。此方法是在反应溅射法中采用了一系列的掩模(美国专利号5985356,6004617,6326090,6346290,7442665)(Xiang,etal.,Science268:1738(1995)；Wang,etal.,Science279:1712(1998)；Briceno,etal.,Science270:273(1995))。沉积的薄膜被掩模分成一系列的小样品。图1是这种组合方法使用的掩模。在合成过程中通过使用不同的掩模，旋转这些掩模，或者使用不同的源材料，使各个小样品沉积的源材料，材料本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种复合材料沉积系统，其特征在于，包括激光源、一驱动机构、至少两个第一反射镜、真空室、至少两个用于固定不同的源材料靶材的第一固定平台以及用于沉积复合材料的基片；所述第一固定平台以及基片均设置于所述真空室内，所述至少两个第一固定平台分别与所述基片的预设区域相对，所述真空室设置有通光部；所述驱动机构与所述激光源连接以驱动所述激光源移动，使得所述激光源发出的激光选择性地射入至所述至少两个第一反射镜中的一个第一反射镜，所述第一反射镜用于将激光通过所述通光部射入所述真空室中的对应所述第一固定平台处；还包括一控制组件，所述控制组件与所述激光源以及所述一驱动机构电连接；所述基片上与所述第一固定平台相对的一面...

【技术特征摘要】
1.一种复合材料沉积系统，其特征在于，包括激光源、一驱动机构、至少两个第一反射镜、真空室、至少两个用于固定不同的源材料靶材的第一固定平台以及用于沉积复合材料的基片；所述第一固定平台以及基片均设置于所述真空室内，所述至少两个第一固定平台分别与所述基片的预设区域相对，所述真空室设置有通光部；所述驱动机构与所述激光源连接以驱动所述激光源移动，使得所述激光源发出的激光选择性地射入至所述至少两个第一反射镜中的一个第一反射镜，所述第一反射镜用于将激光通过所述通光部射入所述真空室中的对应所述第一固定平台处；还包括一控制组件，所述控制组件与所述激光源以及所述一驱动机构电连接；所述基片上与所述第一固定平台相对的一面贴有掩模；所述掩模上设置有多个呈矩阵分布的沉积孔。2.根据权利要求1所述的复合材料沉积系统，其特征在于，所述基片的远离所述第一固定平台的一面设置有加热组件。3.根据权利要求1所述的复合材料沉积...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢宏林，
申请(专利权)人：惠州市宏策企业管理咨询有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44