激光沉积设备制造技术

本发明专利技术提供一种激光沉积设备，包括激光源、第一反射镜、第二反射镜、第一分光镜、第二分光镜、真空室、三个用于固定不同的源材料靶材的第一固定平台、用于沉积复合材料的基片以及三个光通开关；所述第一固定平台以及所述基片均设置于所述真空室内；第一固定平台分别与所述基片的预设区域相对，所述真空室设置有通光部，所述激光源与所述第一反射镜的出光方向呈预设夹角，所述第二反射镜、第一分光镜、第二分光镜均与所述第一反射镜相互平行。

Laser deposition equipment

The invention provides a laser deposition device comprises a laser source, a first mirror, second mirror, the first beam splitter, second spectroscope, vacuum chamber, three for the first fixed platform, the source material target fixed different substrate for deposition of composite materials and three optical switch; the first fixed platform and the substrate is arranged in the vacuum chamber; the first fixed platform respectively with the preset region of the substrate, wherein the vacuum chamber is provided with a light, the laser source and the first mirror light direction in preset angle, the second mirror, the first beam splitter, second with the first beam splitter mirror parallel to each other.

【技术实现步骤摘要】
激光沉积设备
本专利技术涉及复合材料制备领域，特别涉及一种激光沉积设备。
技术介绍
目前在材料学领域有非常大的热点集中于对复合材料的研究，譬如太阳能材料，这些复合材料的性能都主要由其成份决定。为了研究以及优化这些材料，通常方法是一个一个地合成材料。这种探索的过程非常耗时间。因此非常有必要寻找一种高效的系统的探索研究复合材料的方法。这样复合材料的研究特别是还没有被充分开发利用的三成份或者四成份的复合材料的研究效率会大大提高。1995年，项晓东等人专利技术了用于复合材料制备的组合方法。此方法是在反应溅射法中采用了一系列的掩模(美国专利号5985356,6004617,6326090,6346290,7442665)(Xiang,etal.,Science268:1738(1995)；Wang,etal.,Science279:1712(1998)；Briceno,etal.,Science270:273(1995))。沉积的薄膜被掩模分成一系列的小样品。图1是这种组合方法使用的掩模。在合成过程中通过使用不同的掩模，旋转这些掩模，或者使用不同的源材料，使各个小样品沉积的源材料，材料的沉积量本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光沉积设备，其特征在于，包括激光源、、第一反射镜、第二反射镜、第一分光镜、第二分光镜、真空室、三个用于固定不同的源材料靶材的第一固定平台、用于沉积复合材料的基片以及三个光通开关；所述第一固定平台以及所述基片均设置于所述真空室内；第一固定平台分别与所述基片的预设区域相对，所述真空室设置有通光部，所述激光源与所述第一反射镜的出光方向呈预设夹角，所述第二反射镜、第一分光镜、第二分光镜均与所述第一反射镜相互平行；所述激光源发出的激光经过所述第一反射镜反射后射入所述第一分光镜，所述第一分光镜的反射光线经过所述通光部射至所述真空室内，所述第一分光镜的分光光线射至所述第二分光镜处，所述第二分光镜的反射...

【技术特征摘要】
1.一种激光沉积设备，其特征在于，包括激光源、、第一反射镜、第二反射镜、第一分光镜、第二分光镜、真空室、三个用于固定不同的源材料靶材的第一固定平台、用于沉积复合材料的基片以及三个光通开关；所述第一固定平台以及所述基片均设置于所述真空室内；第一固定平台分别与所述基片的预设区域相对，所述真空室设置有通光部，所述激光源与所述第一反射镜的出光方向呈预设夹角，所述第二反射镜、第一分光镜、第二分光镜均与所述第一反射镜相互平行；所述激光源发出的激光经过所述第一反射镜反射后射入所述第一分光镜，所述第一分光镜的反射光线经过所述通光部射至所述真空室内，所述第一分光镜的分光光线射至所述第二分光镜处，所述第二分光镜的反射光线经过所述通光部射入所述真空室内，所第二分光镜的分光光线经所述第二反射镜反射后通过所述通光部射入所述真空室，所述第二反射镜、第一分光镜、第二分光镜的反射光线分别对应射至一所述第一固定平台处；所述三个光通开关分别设置于所述第二反射镜、第一分光镜、第二分光镜的反射光线的路径上，并位于所述真空室外；还包括一控制组件，所述控制组件与所述激光源以及所述光通开关...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢宏林，
申请(专利权)人：惠州市宏策企业管理咨询有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44