下载激光沉积系统的技术资料

文档序号:17133031

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本发明提供一种激光沉积系统,包括激光源、一驱动机构、一第一反射镜、至少两个第二反射镜、真空室、至少两个用于固定不同的源材料靶材的第一固定平台以及用于沉积复合材料的基片;第一固定平台以及基片均设置于所述真空室内,至少两个固定平台分别与所述基片...
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