一种石墨烯的生长设备制造技术

本发明专利技术公开了一种石墨烯的生长设备，它包括第一输气管、外壳、第二输气管及加热器；所述设备内部开有腔体；所述外壳一侧设有门体，所述门体上部设有把手，外壳左侧外壁下部设有调温钮；所述第一输气管从外壳左侧外壁顶部穿入设备内部腔体，第一输气管上设有流量阀；所述第二输气管从外壳右侧外壁顶部穿入设备内部腔体；所述加热器置于所述设备内部腔体底部，加热器上设置有四个支座，所述支座上设置有加热板，所述加热板上可放置III族氮化物衬底。本发明专利技术可以在功能性衬底上直接长出石墨烯，实现不需要转移石墨烯而直接应用的目的，使其独特的电性能、导热性能和光学性质获得较好的体现，对实现石墨烯的广泛应用具有重要价值。

A growth equipment for graphene

The invention discloses a growth device of graphene, which comprises a first shell, second gas pipe, gas pipe and heater; the inside of the equipment has a cavity; one side of the shell is provided with a door body, the upper part of the door body is provided with a handle, the left outer shell is arranged on the lower part of the temperature adjusting button of the first pipeline from; the internal shell cavity wall into the left top equipment, the flow valve is provided with a first gas pipe; the second pipelines from the internal cavity shell on the right side into the top equipment; the heater is arranged on the bottom of the cavity inside the device, the heater is provided with four bearings, the bearing is arranged on the heating plate, the heating plate can be placed on III nitride substrate. The invention can directly grow graphene on functional substrates and achieve direct application without transferring graphene, so that its unique electrical properties, thermal conductivity and optical properties are well reflected. It is of great value for the wide application of graphene.

【技术实现步骤摘要】
一种石墨烯的生长设备
本专利技术涉及纳米材料生产设备领域，尤其涉及一种石墨烯的生长设备。
技术介绍
石墨烯作为目前发现的最薄、强度最大、导电导热性能最强的一种新型纳米材料，被称为“黑金”，是“新材料之王”，科学家甚至预言石墨烯将“彻底改变21世纪”。石墨烯是一种由碳原子构成的单层片状结构材料，因其高强度、高热导率、高导电性及高比表面积等优点受到了研究者的广泛重视，其极有可能掀起一场席卷全球的颠覆性新技术新产业革命。石墨烯的研究和应用对它的大批量、低成本制备提出了迫切要求。采用现有方法制备的石墨烯在实际应用时，都需要转移到相应的衬底上，导致石墨烯与衬底结合不紧密；加上转移过程中不可避免产生的褶皱和破裂，严重影响和限制了石墨烯的应用。如果能有一种设备，操作简单、成本低廉，在功能性衬底上直接长出石墨烯，实现不需要转移石墨烯而直接应用的目的，将改变目前的问题现状。
技术实现思路
为了解决上述问题，本专利技术提出了一种石墨烯的生长设备。为了实现上述目的，本专利技术采用如下技术方案：一种石墨烯的生长设备，它包括第一输气管、外壳、第二输气管及加热器；所述设备内部开有腔体；所述外壳一侧设置有门体，所述门本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种石墨烯的生长设备，其特征在于：它包括第一输气管（1）、外壳（2）、第二输气管（3）及加热器（4）；所述设备内部开有腔体；所述外壳（2）一侧设置有门体（7），所述门体（7）上部设置有把手（6），外壳左侧外壁下部设置有调温钮（10）；所述第一输气管（1）从外壳（2）左侧外壁顶部穿入设备内部腔体，第一输气管（1）上设置有流量阀（5）；所述第二输气管（3）从外壳（2）右侧外壁顶部穿入设备内部腔体，第二输气管（3）上也设置有流量阀；所述加热器（4）置于所述设备内部腔体底部，加热器（4）上设置有四个支座，所述支座上设置有加热板（8），所述加热板（8）上可放置III族氮化物衬底（9）。

【技术特征摘要】
1.一种石墨烯的生长设备，其特征在于：它包括第一输气管（1）、外壳（2）、第二输气管（3）及加热器（4）；所述设备内部开有腔体；所述外壳（2）一侧设置有门体（7），所述门体（7）上部设置有把手（6），外壳左侧外壁下部设置有调温钮（10）；所述第一输气管（1）从外壳（2）左侧外壁顶部穿入设备内部腔体，第一输气管（1）上设置有流量阀（5）；所述第二输气管（3）从外壳（2）右侧外壁顶部穿入设备内部腔体，第二输气管（3）上也设置有流量阀；所述加热器（4）置于所述设备内部腔体底部，加热器（4）上设置有四个支座，所述支座上设置有加热板（8），所述加热板（8）上可放置III族氮化物衬底（9）。2.如权利要求1所述的一种石墨烯的...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘兴翀，魏欣，魏泽忠，
申请(专利权)人：成都格莱飞科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：四川,51