加载端口及包括加载端口的基板输送系统技术方案

本发明专利技术提供一种加载端口及包括加载端口的基板输送系统，即使在使具有旋转机构的加载端口的容器的交接位置与不具有旋转机构的加载端口一致的情况下，也能够避免容器旋转时容器与门部等的碰撞。加载端口(4)包括：基座(20)，其具有开口部；门部(21)，其设于基座，用于开闭开口部；框架，其设置为在与基座正交的前后方向上从基座向前方突出，并支承载置盘；旋转机构，其使载置盘绕铅垂轴线旋转；以及移动机构，在利用OHT将FOUP载置于载置盘之后，且在旋转机构使载置盘旋转之前或者正在旋转的过程中，使门部及载置盘中的至少一者远离另一者。因为FOUP与门部等相对地远离，所以能够避免FOUP旋转时与门部等发生碰撞。

Loading port and baseboard conveying system including loading port

The invention provides a loading port and loading port substrate comprises a conveying system, even in the transfer position of the vessel with rotating mechanism and the loading port is not consistent with rotating mechanism of loading port, also can avoid collision and rotation of the container when the container of the. The loading port (4) includes a base (20), which has an opening door; (21), the base, for opening and closing the opening; the framework set in the direction orthogonal to the base before and after and from the base to the front and prominent, supported plate rotating mechanism, the load; the coiled vertical axis; and the moving mechanism, after the use of OHT FOUP will be mounted on the mounting plate, and the rotating mechanism makes carrying disc rotation before or are in the process of rotation, at least one of the doors and carrying plate away from one another. Because the FOUP and the door are relatively far away, it is possible to avoid collisions with the door when the FOUP rotates.

【技术实现步骤摘要】
加载端口及包括加载端口的基板输送系统
本专利技术涉及包括使收纳基板的容器旋转的旋转机构的加载端口及包括该加载端口的基板输送系统。
技术介绍
以往，公知有加载端口这样的装置，在收纳半导体晶圆等基板的FOUP(Front-OpeningUnifiedPod)等容器和设置有用于输送基板的输送单元的输送室之间进行基板的输入输出时，加载端口用于载置容器。另外，加载端口与所述输送单元及输送室一起构成EFEM(EquipmentFrontEndModule)等基板输送系统。通常，所述容器以设于容器的侧面的盖和为了开闭该盖而设于加载端口的门正对的状态载置于加载端口，但是存在容器没有以那样的朝向载置的情况。例如，在工厂内保管容器的储料器不具有使容器旋转的旋转机构的情况等时，容器可能以成为与通常相反的朝向的状态载置于加载端口。在这样的情况下，需要使容器旋转以使容器的盖与门正对，专利文献1～3公开了包括用于实现该功能的旋转单元的加载端口。专利文献1所记载的加载端口包括：供容器载置的载置部、使载置部移动的移动机构以及使移动机构旋转的旋转机构。载置部能够在交接位置与门开闭位置之间移动，在交接位置处，在载置部与包括叉部的移动装载机(即、在地面上行进的移动装载机)之间进行容器的交接，在门开闭位置处，容器的盖同门一起开闭。旋转机构使容器同载置部一起旋转，从而容器的盖与门正对。其中，使容器旋转的旋转位置位于交接位置和门开闭位置之间。专利文献2、3中也与专利文献1同样地公开了具有使容器旋转的旋转机构的加载端口，但在专利文献2、3所记载的加载端口中，使容器旋转的旋转位置和与向加载端口运送容器的装置等之间交接容器的交接位置为同一位置。另一方面，作为在半导体工厂等工厂内输送容器的输送单元，公知有沿预先设置好的轨道行进的OHT(OverheadHoistTransfer)等无人输送车。在配置有那样的输送单元的工厂内，具有旋转机构的加载端口和不具有旋转机构的加载端口(以下，通常称为加载端口)混杂的情况下，为了提高输送效率，要求这两种加载端口的容器交接位置沿输送单元的轨道配置。其中，输送单元的行进轨道与所述输送室的配置有加载端口的壁面之间的距离已经被标准规定了，例如OHT的情况下，根据SEMI标准，不管基板的大小，定为在俯视时是243mm左右。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2013－219159号公报专利文献2：日本特许第4168724号公报专利文献3：日本特许第4816637号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题像专利文献1～3所记载的加载端口那样，在不以利用OHT等无人输送车进行容器的交接为前提，能够使交接位置位于距离门开闭位置足够远的位置的情况下，能够将容器的旋转位置设定在与交接位置同一位置或者比交接位置靠门开闭位置侧。但是，依照所述标准，若将交接位置定在与门开闭位置较近的位置，则对于这些加载端口，从尺寸上看，旋转时容器会与门或门周边的壁面碰撞。因此，存在这样的问题：无法沿同一输送单元的轨道配置这些具有旋转机构的加载端口的交接位置和不具有旋转机构的加载端口的交接位置，容器的输送效率下降。本专利技术的目的在于，即使在具有旋转机构的加载端口的从输送单元向载置部交接容器的交接位置与不具有旋转机构的加载端口的交接位置沿同一输送单元的轨道配置的情况下，也能够避免容器旋转时容器与门等的碰撞。用于解决问题的方案第1方案的加载端口包括供用于收纳基板的容器载置的载置部，在所述载置部位于能够与沿预先设置的轨道行进并输送所述容器的输送单元之间交接所述容器的交接位置时，在该加载端口与所述输送单元之间交接所述容器，其特征在于，该加载端口还包括：基座，其配置为竖立设置，具有开口部；门部，其设于所述基座，用于开闭所述开口部；框架，其设置为在与所述基座正交的前后方向上从所述基座向前方突出，并支承所述载置部；旋转机构，其使所述载置部绕铅垂轴线旋转；以及移动机构，在利用所述输送单元将所述容器载置于所述载置部之后，且在所述旋转机构使所述载置部旋转之前或者正在旋转的过程中，该移动机构使所述门部和所述载置部中的至少一者远离另一者。在具有旋转机构的加载端口中，在利用输送单元将容器载置于载置部之后，且在旋转机构使载置部旋转之前或者正在旋转的过程中，使门部与载置部在前后方向上的距离相对变远。因而，即使在具有旋转机构的加载端口的从输送单元向载置部交接容器的交接位置与不具有旋转机构的加载端口的交接位置沿同一输送单元的轨道配置的情况下，也能够避免容器旋转时容器与门部、基座发生碰撞。在所述第1专利技术的基础上，第2方案的加载端口的特征在于，所述移动机构使所述载置部从与所述输送单元之间向所述载置部交接所述容器的交接位置沿前后方向移动，在利用所述输送单元将所述容器载置到位于所述交接位置的所述载置部之后，且在所述旋转机构使所述载置部旋转之前或者正在旋转的过程中，使所述载置部向比所述交接位置靠所述前方的位置移动。在将容器载置于载置部之后，且在旋转单元使载置部旋转之前或者与旋转同时地，利用移动机构使载置部移动到比交接位置靠前方的位置，因此能够避免容器旋转时容器与门部、基座发生碰撞。这里，与使门部后退的情况相比，加载端口侧的空气难以经由开口部进入后方的空间，因此对后方空间的污染的担心较小。在所述第2专利技术的基础上，第3方案的加载端口的特征在于，在所述移动机构使所述载置部移动到比所述交接位置靠所述前方的旋转位置之后，所述旋转机构使所述载置部旋转。在载置部由移动机构移动至比交接位置靠前方的旋转位置之后，在旋转机构的作用下旋转，因此能够进一步可靠地避免容器旋转时容器与门部、基座发生碰撞。在所述第3专利技术的基础上，第4方案的加载端口的特征在于，所述移动机构使所述载置部比所述框架向所述前方突出，从而使所述载置部移动至所述旋转位置。采用本专利技术，仅使载置部突出至旋转位置，因此不需要使框架突出到旋转位置，框架的前后方向上的大小变得紧凑，能够缩小加载端口的设置面积。在所述第4专利技术的基础上，第5方案的加载端口的特征在于，该加载端口还包括：检测单元，其检测位于所述框架的所述前方的障碍物；以及控制单元，其在所述检测单元检测到所述障碍物的情况下限制所述载置部向所述旋转位置的移动。采用本专利技术，能够防止人等在附近通行时载置部及容器比框架向前方突出，因此能够确保安全性。在所述第2～第5方案中的任一方案的基础上，第6方案的加载端口的特征在于，所述移动机构具有从下方支承所述旋转机构并且能够沿所述前后方向移动的可动部，由所述旋转机构从下方支承所述载置部，气体注入或者排出用的喷嘴支承于所述可动部，所述喷嘴能够在与喷嘴插入口连接的连接位置和向下方与所述喷嘴插入口分开的分开位置之间升降，所述喷嘴插入口形成在被载置于所述载置部的所述容器的底面。采用本专利技术，旋转机构由移动机构的可动部支承，载置部由旋转机构支承，因此仅载置部在旋转机构的作用下旋转，设于移动机构的可动部的上表面的气体注入或者排出用的喷嘴不旋转。因而，能够在不会因与喷嘴连接的气体注入或者排出用的配管妨碍旋转机构的动作的前提下使载置部旋转。在所述第6专利技术的基础上，第7方案的加载端口的特征在于，在所述移动机构使所述载置部向门开闭位置移动之前或者正在移动的过程中，所述喷嘴向所述连接位置移动，经由所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种加载端口，其包括供用于收纳基板的容器载置的载置部，在所述载置部位于能够与沿预先设置的轨道行进并输送所述容器的输送单元之间交接所述容器的交接位置时，在该加载端口与所述输送单元之间交接所述容器，其特征在于，该加载端口还包括：基座，其配置为竖立设置，具有开口部；门部，其设于所述基座，用于开闭所述开口部；框架，其设置为在与所述基座正交的前后方向上从所述基座向前方突出，并支承所述载置部；旋转机构，其使所述载置部绕铅垂轴线旋转；以及移动机构，在利用所述输送单元将所述容器载置于所述载置部之后，且在所述旋转机构使所述载置部旋转之前或者正在旋转的过程中，该移动机构使所述门部和所述载置部中的至少一者远离另一者。

【技术特征摘要】
2016.07.08 JP 2016-1361751.一种加载端口，其包括供用于收纳基板的容器载置的载置部，在所述载置部位于能够与沿预先设置的轨道行进并输送所述容器的输送单元之间交接所述容器的交接位置时，在该加载端口与所述输送单元之间交接所述容器，其特征在于，该加载端口还包括：基座，其配置为竖立设置，具有开口部；门部，其设于所述基座，用于开闭所述开口部；框架，其设置为在与所述基座正交的前后方向上从所述基座向前方突出，并支承所述载置部；旋转机构，其使所述载置部绕铅垂轴线旋转；以及移动机构，在利用所述输送单元将所述容器载置于所述载置部之后，且在所述旋转机构使所述载置部旋转之前或者正在旋转的过程中，该移动机构使所述门部和所述载置部中的至少一者远离另一者。2.根据权利要求1所述的加载端口，其特征在于，所述移动机构使所述载置部从所述交接位置沿所述前后方向移动，在利用所述输送单元将所述容器载置到位于所述交接位置的所述载置部之后，且在所述旋转机构使所述载置部旋转之前或者正在旋转的过程中，使所述载置部向比所述交接位置靠所述前方的位置移动。3.根据权利要求2所述的加载端口，其特征在于，在所述移动机构使所述载置部移动到比所述交接位置靠所述前方的旋转位置之后，所述旋转机构使所述载置部旋转。4.根据权利要求3所述的加载端口，其特征在于，所述移动机构使所述载置部比所述框架...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏目光夫，谷山育志，吉川雅顺，
申请(专利权)人：昕芙旎雅有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP