抗蚀剂剥离液组合物、显示器基板及其制造方法技术

本发明专利技术提供抗蚀剂剥离液组合物、显示器基板及其制造方法，所述抗蚀剂剥离液组合物的特征在于，包含(a)具有下述化学式1的结构的氨基烷基硅烷系化合物、(b)烷醇胺、和(c)极性有机溶剂，且不包含氢氧化铵和季铵碱。下述化学式1中，R1、R2和R3各自独立地为碳原子数1～4的烷基，R4为碳原子数1～5的亚烷基，及R5和R6各自独立地为氢原子、碳原子数1～5的烷基、羟基或碳原子数1～4的烷氧基，在R5为羟基或烷氧基的情况下，R6为氢原子或烷基，在R6为羟基或烷氧基的情况下，R5为氢原子或烷基。[化学式1]

【技术实现步骤摘要】
抗蚀剂剥离液组合物、显示器基板及其制造方法
本专利技术涉及应用防电偶及缝隙腐蚀能力优异的氨基烷基硅烷系化合物的抗蚀剂剥离液组合物，使用其制造的显示器基板的制造方法及由其制造的显示器基板。
技术介绍
近年来，随着显示器基板的高分辨率呈现要求增加，持续进行着使每单位面积的像素数增加的努力。根据这样的趋势，要求配线宽度的减小。为了应对于此，导入干式蚀刻工序等工序条件也变得越来越苛刻。此外，由于平板显示装置的大型化，也要求配线中的信号速度加快，因此电阻率比铝低的铜被用作配线材料。受此影响，对于作为抗蚀剂去除工序的剥离工序中所使用的剥离液的需求性能也变高。具体而言，对于针对金属配线的腐蚀抑制力等，要求相当高水平的剥离特性。特别是，除了铝以外，也要求对于铜的腐蚀抑制能力，为了确保价格竞争力，也要求基板的处理张数增加之类的经济性。应对如上所述的业界的需求，公开了新技术。比如，韩国注册专利10-1557778中公开了包含烷醇胺、有机溶剂等的抗蚀剂剥离液组合物，但没有改善针对包含钼等金属的下部金属膜或金属配线等的防腐蚀力。现有技术文献专利文献专利文献1：韩国注册专利第10-1557778号
技术实现思路
所要解决的课题本专利技术是用于解决如上问题的专利技术，其目的在于，提供对于包含钼的下部金属膜或金属配线的防腐蚀力优异，且表现出高剥离力的抗蚀剂剥离液组合物，使用其制造的显示器基板的制造方法及由其制造的显示器基板。解决课题的方法为了达成上述目的，本专利技术提供一种抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，包含：(a)具有下述化学式1的结构的氨基烷基硅烷系化合物、(b)烷醇胺、和(c)极性有机溶剂，但不包含氢氧化铵和季铵碱(quaternaryammoniumhydroxide)。本专利技术提供一种显示器基板的制造方法，其包括使用上述抗蚀剂剥离液组合物来清洗显示器基板的工序。此外，本专利技术提供由上述制造方法制造的显示器基板。专利技术效果本专利技术的抗蚀剂剥离液组合物使用在去离子水及极性溶剂中溶解力优异的氨基烷基硅烷系化合物，因而不会使铝、铜、钨、钼、钛及包含它们的下部金属膜或金属配线发生腐蚀，且具有表现高剥离力的效果。具体实施方式本专利技术涉及抗蚀剂剥离液组合物、使用其制造的显示器基板的制造方法及由该方法制造的显示器基板。本专利技术的抗蚀剂剥离液组合物的特征在于，包含(a)氨基烷基硅烷系化合物、(b)烷醇胺和(c)极性有机溶剂，且不包含氢氧化铵，特别是由于使用在去离子水及极性溶剂中溶解力优异的氨基烷基硅烷系化合物，因而不会使铝、铜、钨、钼、钛及包含它们的下部金属膜或金属配线发生腐蚀，具有表现高剥离力的效果。本专利技术的抗蚀剂剥离液组合物可以进一步包含(d)防腐蚀剂。以下，按构成详细说明本专利技术的内容。(a)氨基烷基硅烷系化合物本专利技术中使用的(a)氨基烷基硅烷系化合物具有下述化学式1的结构。[化学式1]上述化学式1中，R1、R2和R3各自独立地为碳原子数1～4的烷基，R4为碳原子数1～5的亚烷基，R5和R6各自独立地为氢原子、碳原子数1～5的烷基、羟基或碳原子数1～4的烷氧基，在R5为羟基或烷氧基的情况下，R6为氢原子或烷基，在R6为羟基或烷氧基的情况下，R5为氢原子或烷基。上述碳原子数1～4的烷基在具有3个以上碳原子的情况下，可以为直链或支链状。作为化学式1所表示的(a)氨基烷基硅烷系化合物的种类，优选可以举出(2-氨基乙基)三乙氧基硅烷、(3-氨基丙基)三甲氧基硅烷、(3-氨基丙基)三乙氧基硅烷等，它们可以单独或将两种以上混合使用。此外，本专利技术中，上述(a)氨基烷基硅烷系化合物中可以进一步添加(3-氨基丙基)硅烷三醇等化合物而使用。本专利技术的(a)氨基烷基硅烷系化合物防止抗蚀剂剥离中可能发生的金属的腐蚀的能力优异，尤其通过实验确认到在包含铝、钼、以及铜和钼的合金中所发生的电偶腐蚀及缝隙腐蚀的防腐蚀力优异。相对于组合物总重量，上述化学式1所表示的(a)氨基烷基硅烷系化合物的含量优选为0.001重量％～3.0重量％，更优选为0.005重量％～1.0重量％。如果低于0.001重量％，则在剥离或利用去离子水的冲洗工序中金属配线可能发生腐蚀，在超过3.0重量％的情况下，无法获得防腐蚀剂含量增加所带来的腐蚀防止效果的提高，因而在经济方面不佳。(b)烷醇胺本专利技术的烷醇胺发挥如下作用：在干式或湿式蚀刻、灰化(ashing)或离子注入工序(ionimplantprocessing)等各种工序条件下，有效地渗透至被改性或被交联的抗蚀剂(resist)的高分子基体中，破坏存在于分子内或分子间的结合。此外，在残留于基板上的抗蚀剂内的结构上脆弱的部分形成空隙，使抗蚀剂改性为无定形的高分子凝胶(gel)块状态，从而能够使附着于基板上部的抗蚀剂被容易地去除。上述烷醇胺可以举出单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、单丙醇胺、2-氨基乙醇、2-(乙基氨基)乙醇、2-(甲基氨基)乙醇、N-甲基二乙醇胺、N,N-二甲基乙醇胺、N,N-二乙基氨基乙醇、2-(2-氨基乙基氨基)-1-乙醇、1-氨基-2-丙醇、2-氨基-1-丙醇、3-氨基-1-丙醇、4-氨基-1-丁醇、二丁醇胺、(甲氧基甲基)二乙醇胺、(羟基乙基氧基甲基)二乙基胺、甲基(甲氧基甲基)氨基乙醇、甲基(丁氧基甲基)氨基乙醇、2-(2-氨基乙氧基)乙醇、1-(2-羟基乙基)哌嗪、1-(2-羟基乙基)甲基哌嗪、N-(2-羟基乙基)吗啉、N-(3-羟基丙基)吗啉等，它们可以单独或将两种以上混合使用。但是，本专利技术可以不包含氢氧化铵和/或季铵碱。在包含氢氧化铵和/或季铵碱的情况下，可能会对Mo或Mo合金膜质产生侵蚀(Attack)，季铵碱具体可以举出四甲基氢氧化铵(TMAH)、四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵、四丁基氢氧化铵、四甲基-2-羟基乙基氢氧化铵(胆碱)、三甲基-3-羟基丙基氢氧化铵、三甲基-3-羟基丁基氢氧化铵、三甲基-4-羟基丁基氢氧化铵、三乙基-2-羟基乙基氢氧化铵、三丙基-2-羟基乙基氢氧化铵、三丁基-2-羟基乙基氢氧化铵、二甲基乙基-2-羟基乙基氢氧化铵、二甲基二(2-羟基乙基氢氧化铵、单甲基三(2-羟基乙基)氢氧化铵、单甲基三乙基氢氧化铵、单甲基三乙基氢氧化铵、单甲基三丁基氢氧化铵、单乙基三甲基氢氧化铵、单乙基三丁基氢氧化铵、二甲基二乙基氢氧化铵和二甲基二丁基氢氧化铵等，尤其优选不包含四甲基氢氧化铵。相对于整体组合物总重量，本专利技术的(b)烷醇胺的含量优选为0.1～20.0重量％，更优选为0.5～10.0重量％。如果低于0.1重量％，则可能发生抗蚀剂去除力降低，如果超过20.0重量％，则无法获得烷醇胺含量增加所来的抗蚀剂去除力提高的效果而不经济，而且可能发生使针对金属膜质的腐蚀水平提高的问题。(c)极性有机溶剂本专利技术中使用的(c)极性有机溶剂可以举出质子性极性溶剂和非质子性极性溶剂，它们可以单独或将两种以上混合使用。作为上述质子性极性溶剂的优选的例子，可以举出乙二醇单甲基醚、乙二醇单乙基醚、乙二醇单异丙基醚、乙二醇单丁基醚、二乙二醇单甲基醚、二乙二醇单乙基醚、二乙二醇单异丙基醚、二乙二醇单丁基醚、三乙二醇单甲基醚、三乙二醇单乙基醚、三乙二醇单异丙基醚、三乙二醇单丁基醚、聚乙二醇、聚丙二醇、聚乙二醇单甲基醚、聚乙二醇单丁基醚、丙二醇单甲基醚、二丙二醇本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，包含：(a)具有下述化学式1的结构的氨基烷基硅烷系化合物、(b)烷醇胺、和(c)极性有机溶剂，且不包含氢氧化铵和季铵碱，化学式1

【技术特征摘要】
2016.07.04 KR 10-2016-00844021.一种抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，包含：(a)具有下述化学式1的结构的氨基烷基硅烷系化合物、(b)烷醇胺、和(c)极性有机溶剂，且不包含氢氧化铵和季铵碱，化学式1所述化学式1中，R1、R2和R3各自独立地为碳原子数1～4的烷基，R4为碳原子数1～5的亚烷基，及R5和R6各自独立地为氢原子、碳原子数1～5的烷基、羟基或碳原子数1～4的烷氧基，在R5为羟基或烷氧基的情况下，R6为氢原子或烷基，在R6为羟基或烷氧基的情况下，R5为氢原子或烷基。2.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，进一步包含(d)防腐蚀剂。3.根据权利要求2所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，所述(d)防腐蚀剂为Cu防腐蚀剂。4.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，所述(a)氨基烷基硅烷系化合物为(2-氨基乙基)三乙氧基硅烷、(3-氨基丙基)三甲氧基硅烷和(3-氨基丙基)三乙氧基硅烷中的一种以上。5.根据权利要求1～4中任一项所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，所述(b)烷醇胺为单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、单丙醇胺、2-氨基乙醇、2-(乙基氨基)乙醇、2-(甲基氨基)乙醇、N-甲基二乙醇胺、N,N-二甲基乙醇胺、N,N-二乙基氨基乙醇、2-(2-氨基乙基氨基)-1-乙醇、1-氨基-2-丙醇、2-氨基-1-丙醇、3-氨基-1-丙醇、4-氨基-1-丁醇、二丁醇胺、(甲氧基甲基)二乙醇胺、(羟基乙基氧基甲基)二乙基胺、甲基(甲氧基甲基)氨基乙醇、甲基(丁氧基甲基)氨基乙醇、2-(2-氨基乙氧基)乙醇、1-(2-羟基乙基)哌嗪、1-(2-羟基乙基)甲基哌嗪、N-(2-羟基乙基)吗啉和N-(3-羟基丙基)吗啉中的一种以上。6.根据权利要求1～4中任一项所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，所述(c)极性有机溶剂为质子性极性溶剂和非质子性极性溶剂中的一种以上。7.根据权利要求6所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，所述质子性极性溶剂为乙二醇单甲基醚、乙二醇单乙基醚、乙二醇单异丙基醚、乙二醇单丁基醚、二乙二醇单甲基醚、二乙二醇单乙基醚、二乙二醇单异丙基醚、二乙二醇单丁基醚、三乙二醇单甲基醚、三乙二醇单乙基醚、三乙二醇单异丙基醚、三乙二醇单丁基醚、聚乙二醇单甲基醚、聚乙二醇单丁基醚、丙二醇单甲基醚、二丙二醇单甲基醚、三丙二醇单甲基醚、丙二醇单甲基醚乙酸酯和四氢糠醇中的一种以上。8.根据权利要求6所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，所述非质子性极性溶剂为N-甲基吡咯烷酮、N-乙基吡咯烷酮、1,3-二甲基-2-咪唑烷酮、1,3-二丙基-2-咪唑烷酮、γ-丁内酯、二甲基亚砜、环丁砜...

【专利技术属性】
技术研发人员：金正铉，金圣植，高京俊，
申请(专利权)人：东友精细化工有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR