可结晶液体雾化装置及方法制造方法及图纸

一种可结晶液体雾化装置及方法，所述装置包括液体源，用于提供液体；液体传输管路，一端与所述液体源连通；雾化装置，与所述液体传输管路的另一端连通，用于对所述液体进行雾化处理；还包括：加热过滤装置，设置在所述液体传输管路上，用于对所述液体传输管路中的液体进行加热以及过滤。本发明专利技术方案可以有效地降低导入雾化装置的液体中的结晶程度和杂质比例，从而提高雾化效果，提高工艺稳定性。

【技术实现步骤摘要】
可结晶液体雾化装置及方法
本专利技术涉及半导体制造领域，尤其是涉及一种可结晶液体雾化装置及方法。
技术介绍
在半导体集成电路制造工艺中，需要将多种液体从液体雾化为微小液滴，以进行淀积工艺或者形成中间产品。例如，可以利用正硅酸乙酯(TEOS)台阶覆盖性好以及成本低的特点，采用TEOS淀积二氧化硅；或者采用磷酸三乙酯(TEPO)生成磷硅玻璃或硼磷硅玻璃，所述磷硅玻璃或硼磷硅玻璃可用于形成层间介质。但是，部分液体在工艺过程中容易发生结晶，导致运输该液体的管路发生堵塞以及流量不稳定的问题，甚至导致对该液体进行雾化处理的雾化装置发生堵塞，影响机台产出率。
技术实现思路
本专利技术解决的技术问题是提供一种可结晶液体雾化装置及方法，可以有效地降低导入雾化装置的液体中的结晶程度和杂质比例，从而提高雾化效果，提高工艺稳定性。为解决上述技术问题，本专利技术实施例提供一种可结晶液体雾化装置，包括：液体源，用于提供液体；液体传输管路，一端与所述液体源连通；雾化装置，与所述液体传输管路的另一端连通，用于对所述液体进行雾化处理；还包括：加热过滤装置，设置在所述液体传输管路上，用于对所述液体传输管路中的液体进行加热以本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可结晶液体雾化装置，包括：液体源，用于提供液体；液体传输管路，一端与所述液体源连通；雾化装置，与所述液体传输管路的另一端连通，用于对所述液体进行雾化处理；其特征在于，还包括：加热过滤装置，设置在所述液体传输管路上，用于对所述液体传输管路中的液体进行加热以及过滤。

【技术特征摘要】
1.一种可结晶液体雾化装置，包括：液体源，用于提供液体；液体传输管路，一端与所述液体源连通；雾化装置，与所述液体传输管路的另一端连通，用于对所述液体进行雾化处理；其特征在于，还包括：加热过滤装置，设置在所述液体传输管路上，用于对所述液体传输管路中的液体进行加热以及过滤。2.根据权利要求1所述的可结晶液体雾化装置，其特征在于，还包括：流量控制阀，设置在所述液体传输管路上，用于控制所述液体传输管路中的液体的流量；其中，所述加热过滤装置设置在所述液体源与所述流量控制阀之间的液体传输管路上。3.根据权利要求1所述的可结晶液体雾化装置，其特征在于，所述加热过滤装置包括：外壁，所述外壁包覆有加热层；过滤结构，设置于所述外壁包围形成的管腔内，以对流经所述管腔的液体进行过滤。4.根据权利要求3所述的可结晶液体雾化装置，其特征在于，所述加热层包括氧化镁以及电热丝中的至少一项。5.根据权利要求3所述的可结晶液体雾化装置，其特征在于，所述过滤结构的材质为不锈钢材质。6.根据权利要求1所述的可结晶液体雾化装置，其特征在于，所述液体为...

【专利技术属性】
技术研发人员：孟杰，林宗贤，吴龙江，
申请(专利权)人：德淮半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32