一种可调节角度扫描电镜样品台制造技术

本实用新型专利技术涉及一种可调节角度扫描电镜样品台，包括U型座板，U型座板的两侧板之间设置有上侧面为平面的载物台，载物台中间穿设有一转轴，转轴两端与U型座板两侧板上的座孔旋转配合；所述转轴一端设置有一凸齿，与凸齿对应端的座孔内侧壁设置有多个齿槽。该可调节角度扫描电镜样品台实现了多个不同形状样品批量扫描，避免频繁的装样和抽放真空，提高了扫描测试的效率；实现了样品扫描角度可控性，使用方便易操作，通用性强，提高了扫描质量。

【技术实现步骤摘要】
一种可调节角度扫描电镜样品台
本技术涉及一种可调节角度扫描电镜样品台。
技术介绍
由于近年来，材料发展及应用越来越快速及广泛，特别是国家又加大了对新材料产业扶持力度，以至于材料研究愈加频繁。但是，现有的载物台多是用于平面观测，载物台为普通圆形平台，此种载物台无法固定住底部不平整的柱状样品。此外，目前的EBSD样品台一般为圆柱状，每次只能装载一个样品，在有多个样品测试时，要频繁的放真空—装样—抽真空等操作，既费时又费力，给电镜测试带来极大的不便。研究人员迫切需要一种能一次性承载多个样品的EBSD样品台，并通过简单的方法使样品台角度可调节，提高样品台实用性。本实验新型就是为了解决这样一个令众多实验者为之头痛的放样问题。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的目的是提供一种结构新颖，使用方便的可调节角度扫描电镜样品台。本技术采用以下方案实现：一种可调节角度扫描电镜样品台，包括U型座板，U型座板的两侧板之间设置有上侧面为平面的载物台，载物台中间穿设有一转轴，转轴两端与U型座板两侧板上的座孔旋转配合；所述转轴一端设置有一凸齿，与凸齿对应端的座孔内侧壁设置有多个齿槽，齿槽择一与凸齿配合。进一步的，所述转轴与载本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可调节角度扫描电镜样品台，其特征在于：包括U型座板，U型座板的两侧板之间设置有上侧面为平面的载物台，载物台中间穿设有一转轴，转轴两端与U型座板两侧板上的座孔旋转配合；所述转轴一端设置有一凸齿，与凸齿对应端的座孔内侧壁设置有多个齿槽，齿槽择一与凸齿配合。

【技术特征摘要】
1.一种可调节角度扫描电镜样品台，其特征在于：包括U型座板，U型座板的两侧板之间设置有上侧面为平面的载物台，载物台中间穿设有一转轴，转轴两端与U型座板两侧板上的座孔旋转配合；所述转轴一端设置有一凸齿，与凸齿对应端的座孔内侧壁设置有多个齿槽，齿槽择一与凸齿配合。2.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪炳叔，刘慧敏，杨容，张鼎，王菊荣，
申请(专利权)人：福州大学，
类型：新型
国别省市：福建,35