The utility model discloses a low temperature vacuum evaporation source, including heating system, cooling system, temperature measurement system, control system, connection components; the device powered electrode filament heating of the heating system, when the temperature reaches the sublimation temperature of crucible material, source material to evaporation, evaporation of gas molecules the substrate to be coated on to launch in a vacuum chamber, can be realized on the alkali metal and organic compound evaporation; thermocouple temperature measurement system in real time through the evaporation temperature of thermocouple wire conduction detection, water cooling system of pipe cooling water is injected into the internal water circulation for cooling by cooling the crucible cover, achieve the low temperature evaporation effect; the rotary baffle above a crucible opening through the manual control rod evaporated material on substrate coating.
【技术实现步骤摘要】
一种低温真空蒸发源
本技术涉及真空设备领域,特别是一种低温真空蒸发源设备。
技术介绍
镀膜技术是最初起源于20世纪30年代,直到70年代后期得到较大发展。20世纪60年代,为了满足微波和光学器件的要求,人们一直希望得到高质量的低维材料。分子束外延(MBE)作为一种能够提供更高质量的薄膜生长的方法应运而生。MBE是一种在超高真空的环境下(10-8pa)下外延生长高质量单品薄膜和纳米结构生长技术。其过程为加热蒸发容器中待形成薄膜的原材料,使其原子或分子从表面气化逸出,形成蒸气流,入射到固体(称为衬底或基片)表面,沉积的原子(分子)经过成核、扩散、合并,相互反映以及和衬底表面的相互作用,最后凝结形成固态薄膜。MBE技术是由美国贝尔实验室在20世纪60年代末发展起来的。MBE的专利技术推动了以超薄层微结构材料为基础的半导体器件的发展,扩展了半导体科学的领域,并在之后广泛应用在金属,绝缘体和超导材料的生长中,在基础研究和工业生产中发挥了巨大的作用。为实现完美的分子束外延生长,蒸发装置显得尤其重要,它直接影响分子束流的稳定性,均匀性,材料的高纯度,表面平整性。在分子束外延设备中,我国最弱的就是蒸发源设备。目前,我国的蒸发源设备蒸发源温度一般在250-2000℃之间,可蒸发铁、铬、镍等金属,对于某些金属化合物和有机物很难蒸发,例如AS、Sb、Ba、Bi、K、Li、Mg等,这些物质的蒸发或升华温度都低于1000℃,当前的蒸发设备不能实现完美的降温效果,对于特殊物质的镀膜技术难以实现。本人研究的低温真空蒸发源结构简单,操作方便,可控性强,可以用来蒸发蒸气压较高的碱金属和有机 ...
【技术保护点】
一种低温真空蒸发源,其特征在于,包括:加热系统、冷却系统、测温系统、控制系统、连接组件;所述加热系统包括:电极端口(8)、加热灯丝(16)、屏蔽罩(13)、坩埚(14)、固定环(15)、底片(17)和电极连接件(11);其中,加热灯丝(16)与多个固定环(15)围成中空筒状加热芯,屏蔽罩(13)罩于加热芯外部,坩埚(14)嵌入于加热芯顶部,底片(17)固定于加热芯底端,加热灯丝(16)伸出的供电接头通过电极连接件(11)与电极端口(8)伸出的供电线连接;所述冷却系统包括:冷却罩(12)、进水管(18)、出水管(19)、进水管接口(3)和出水管接口(9);所述冷却罩(12)罩置于屏蔽罩(13)外部,冷却罩(12)本体为内外两层罩壁之间带有密闭柱形腔的带腔罩体;其中,进水管(18)一端伸入于与冷却罩(12)的柱形腔的入口位置,另一端与进水管接口(3)连接;出水管(19)一端伸入于冷却罩(12)的柱形腔的出口位置,另一端与出水管接口(9)连接;所述测温系统包括:电偶丝(6)和热电偶测温器接口(2);所述电偶丝(6)一端穿过底片上预设的小孔置于坩埚(14)底端1‑3mm处,一端用螺栓与热电偶测 ...
【技术特征摘要】
1.一种低温真空蒸发源,其特征在于,包括:加热系统、冷却系统、测温系统、控制系统、连接组件;所述加热系统包括:电极端口(8)、加热灯丝(16)、屏蔽罩(13)、坩埚(14)、固定环(15)、底片(17)和电极连接件(11);其中,加热灯丝(16)与多个固定环(15)围成中空筒状加热芯,屏蔽罩(13)罩于加热芯外部,坩埚(14)嵌入于加热芯顶部,底片(17)固定于加热芯底端,加热灯丝(16)伸出的供电接头通过电极连接件(11)与电极端口(8)伸出的供电线连接;所述冷却系统包括:冷却罩(12)、进水管(18)、出水管(19)、进水管接口(3)和出水管接口(9);所述冷却罩(12)罩置于屏蔽罩(13)外部,冷却罩(12)本体为内外两层罩壁之间带有密闭柱形腔的带腔罩体;其中,进水管(18)一端伸入于与冷却罩(12)的柱形腔的入口位置,另一端与进水管接口(3)连接;出水管(19)一端伸入于冷却罩(12)的柱形腔的出口位置,另一端与出水管接口(9)连接;所述测温系统包括:电偶丝(6)和热电偶测温器接口(2);所述电偶丝(6)一端穿过底片上预设的小孔置于坩埚(14)底端1-3mm处,一端用螺栓与热电偶...
【专利技术属性】
技术研发人员:郭方准,张晓敏,臧侃,董华军,李红娟,杨云,
申请(专利权)人:大连交通大学,
类型:新型
国别省市:辽宁,21
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