一种连续蒸镀系统技术方案

本发明专利技术公开了一种连续蒸镀系统，该系统包括：蒸镀坩埚，所述蒸镀坩埚内存储蒸镀材料，所述蒸镀坩埚顶部设有蒸镀出口；存储坩埚，所述存储坩埚内存储蒸镀材料；传输管，所述传输管的一端连接所述存储坩埚，另一端连接所述蒸镀坩埚；阀门，所述阀门设置在所述传输管的管路上；温度控制装置，所述温度控制装置与所述蒸镀坩埚、存储坩埚和传输管连接，用于控制所述蒸镀坩埚、存储坩埚和传输管的温度。本发明专利技术的连续蒸镀系统避免了传统的降温添料升温工序，降低了基板发生污染的可能，也提高了生产效率，降低了生产成本。

A continuous evaporation system

The invention discloses a continuous evaporation system, the system includes: evaporation crucible, the evaporation crucible storage evaporation material, the evaporation crucible is arranged at the top of the evaporation outlet; storage crucible, the storage crucible memory evaporation materials; transmission pipe is connected with the storage of the crucible one end of the transmission pipe, the other end is connected with the evaporation crucible; the valve, the valve installed in the pipeline transmission tube; temperature control device, the temperature control device and the evaporation crucible, crucible and storage transmission pipe connection, which is used to control the evaporation crucible, crucible storage the tube temperature and transmission. The continuous evaporation system of the invention avoids the traditional cooling and heating process, reduces the possibility of contamination on the substrate, and improves the production efficiency and reduces the production cost.

【技术实现步骤摘要】
一种连续蒸镀系统
本专利技术涉及蒸镀
，特别是涉及一种连续蒸镀系统。
技术介绍
OLED(OrganicLight-EmittingDiode，有机发光二极管，简称OLED)显示屏由于具有薄、轻、宽视角、主动发光、发光颜色连续可调、响应速度快、能耗小、驱动电压低、工作温度范围宽、生产工艺简单、发光效率高及可柔性显示等优点，已被列为极具发展前景的下一代显示技术。制备OLED器件通常需要采用小分子蒸镀，小分子蒸镀主要是在高真空环境下加热有机材料，使升华型或者熔融型的有机材料在高温状态下汽化，蒸镀材料升华或汽化后的原子、分子或原子团组成的蒸气沉积在基板表面成膜。但由于蒸镀坩埚的容量有限，经常需要开腔添加蒸镀材料，而从降温到添加蒸镀材料再到高真空环境的建立耗时较长，这大大限制了蒸镀机的产能，增加了OLED显示器的制作成本，此外，向蒸镀腔体内添加蒸镀材料也极易导致粉尘进入，从而造成基板污染。
技术实现思路
本专利技术主要解决的技术问题是提供一种连续蒸镀系统，能够实现连续蒸镀。为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是一种连续蒸镀系统，包括：蒸镀坩埚，所述蒸镀坩埚内存储蒸镀材料，所述蒸镀坩本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种连续蒸镀系统，其特征在于，包括：蒸镀坩埚，所述蒸镀坩埚内存储蒸镀材料，所述蒸镀坩埚顶部设有蒸镀出口；存储坩埚，所述存储坩埚内存储蒸镀材料；传输管，所述传输管的一端连接所述存储坩埚，另一端连接所述蒸镀坩埚；阀门，所述阀门设置在所述传输管的管路上；温度控制装置，所述温度控制装置与所述蒸镀坩埚、存储坩埚和传输管连接，用于控制所述蒸镀坩埚、存储坩埚和传输管的温度。

【技术特征摘要】
1.一种连续蒸镀系统，其特征在于，包括：蒸镀坩埚，所述蒸镀坩埚内存储蒸镀材料，所述蒸镀坩埚顶部设有蒸镀出口；存储坩埚，所述存储坩埚内存储蒸镀材料；传输管，所述传输管的一端连接所述存储坩埚，另一端连接所述蒸镀坩埚；阀门，所述阀门设置在所述传输管的管路上；温度控制装置，所述温度控制装置与所述蒸镀坩埚、存储坩埚和传输管连接，用于控制所述蒸镀坩埚、存储坩埚和传输管的温度。2.根据权利要求1所述的一种连续蒸镀系统，其特征在于，所述蒸镀材料为熔融型材料。3.根据权利要求1所述的一种连续蒸镀系统,其特征在于,所述传输管的一端连接所述存储坩埚的底部，另一端连接所述蒸镀坩埚的中上部。4.根据权利要求1所述的一种连续蒸镀系统，其特征在于,所述阀门为电动阀门。5.根据权利要求1所述的一种连续蒸镀系统，其特征在于，所述温度控制装置的数...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐超，
申请(专利权)人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42