一种蒸发源制造技术

本发明专利技术提供一种蒸发源，包括由导电材料制成的蒸发源本体；所述蒸发源本体包括：主体，所述主体内部开设有材料腔室；其中，所述主体外侧的任意位置设置有第一电极连接端，以及与所述第一电极连接端极性相反的第二电极连接端，所述第一电极连接端与所述第二电极连接端通电后，所述主体自身导电产生热量以加热所述材料腔室内的材料；相较于现有的蒸发源，本发明专利技术所提供的蒸发源，自身采用导电材料制成，通过在蒸发源的相应位置设置正、负电极即可实现蒸发源的自发热，进而得到均匀的加热效果，蒸镀制得高品质的膜层。

A kind of steaming source

The invention provides an evaporation source, including evaporation source body is made of conductive material; the evaporation source body comprises a main body, the main body is internally provided material chamber; the arbitrary position outside the body is provided with a first electrode connecting end, and connected with the first electrode polarity second the opposite ends of the electrodes, connected to the first electrode end is connected with the second electrode is energized, the main body of the conductive heat is generated to heat the material chamber material; compared with the existing evaporation source, the evaporation source provided by the invention, the use of conductive material, and is set up the negative electrode can be through the corresponding position in the evaporation source to achieve self heating evaporation source, and then obtain the uniform heating result, film deposition to prepare high quality.

【技术实现步骤摘要】
一种蒸发源
本专利技术涉及真空镀膜
，尤其涉及一种蒸发源。
技术介绍
在真空镀膜过程中，需要通过蒸发源将蒸镀材料蒸发(或升华)为蒸汽，蒸汽在待蒸镀物体表面凝结后形成膜层。因此，蒸发源产生的蒸汽是否均匀，对所形成的膜层的质量是十分重要的。蒸发源通常为“线源”形式，其包括长条形的腔室，腔室顶部均匀开设有多个出气孔，底部则连接坩埚，坩埚用于盛放蒸镀材料并将其蒸发，产生的蒸汽进入腔室后并从喷嘴排出。成膜质量与蒸镀的温度、速率有直接联系。要得到均匀的膜层，就需要蒸镀材料受热均匀。而目前产线在用的蒸发源导致坩埚温度分布不均主要原因有：加热丝变形，坩埚放置偏位、坩埚周围热反射受热变形等导致的热传导环境发生改变。综上所述，现有技术的蒸发源，坩埚受热不均匀，使得蒸镀腔室内的蒸镀材料受热不均匀，成膜质量欠佳，进而难以生产出高品质的OLED显示面板。
技术实现思路
本专利技术提供一种蒸发源，能够使材料腔室的各区域受热均匀，进而蒸镀形成高品质的膜层，以解决现有技术的蒸发源，坩埚受热不均匀，使得蒸镀腔室内的蒸镀材料受热不均匀，成膜质量欠佳，进而难以生产出高品质的OLED显示面板的技术问题。为解决上述问题，本专利技术提供的技术方案如下：本专利技术提供一种蒸发源，包括由导电材料制成的蒸发源本体；所述蒸发源本体包括：主体，所述主体内部开设有材料腔室，所述材料腔室的开口位于所述主体表面；其中，所述主体外侧设置有第一电极连接端，以及与所述第一电极连接端极性相反的第二电极连接端，所述第一电极连接端与所述第二电极连接端通电后，所述主体自身导电产生热量以加热所述材料腔室内的材料。根据本专利技术一优选实施例，所述蒸发源本体还包括：盖体，盖合于所述主体表面以密闭所述材料腔室；所述盖体表面一体成形有至少一喷嘴；所述盖体外侧的任意位置设置有第三电极连接端，以及与所述第三电极连接端极性相反的第四电极连接端，所述第三电极连接端与所述第四电极连接端通电后，所述盖体自身导电产生热量以加热所述喷嘴。根据本专利技术一优选实施例，所述第一电极连接端位于所述主体的第一端部，所述第二电极连接端位于所述主体相对所述主体的第一端部的第二端部；所述第三电极连接端位于所述盖体的第一端部，所述第四电极连接端位于所述盖体相对所述盖体的第一端部的第二端部。根据本专利技术一优选实施例，所述第一电极连接端与所述第三电极连接端同为正电极，所述第二电极连接端与所述第四电极连接端同为负电极；其中，所述第一电极连接端与所述第三电极连接端位于所述蒸发源本体的同一侧；所述第二电极连接端与所述第四电极连接端位于所述蒸发源本体的同一侧。根据本专利技术一优选实施例，所述主体形状接近长方体，所述第一端部位于所述主体一端面的中心位置，所述第二端部位于所述主体另一端面的中心位置；所述盖体形状接近长方体，所述第三端部位于所述盖体一端面的中心位置，所述第四端部位于所述盖体另一端面的中心位置。根据本专利技术一优选实施例，所述主体与所述盖体采用高熔点材料制作，所述高熔点材料为W，Ni，Cr，Cu，Fe，Al，Nb，Mo，Ti的一者或两者以上的组合。根据本专利技术一优选实施例，所述材料腔室内壁与所述盖体底部涂覆有用以避免蒸镀材料与所述主体和所述盖体的制作材料发生化学反应的涂层。根据本专利技术一优选实施例，所述涂层为Cu，Ti，Al2O3，MgO，BN，Si3N4，PBN，石墨，石英，陶瓷的一者或两者以上的组合。根据本专利技术一优选实施例，所述主体底部突出形成一子材料腔室，所述子材料腔室一侧设置有第五电极连接端，所述子材料腔室相对另一侧设置有第六电极连接端，所述第五电极连接端与所述第六电极连接端极性相反。根据本专利技术一优选实施例，所述子材料腔室位于所述主体底部中心位置。本专利技术的有益效果为：相较于现有的蒸发源，本专利技术所提供的蒸发源，自身采用导电材料制成，通过在蒸发源的相应位置设置正、负电极即可实现蒸发源的自发热，进而得到均匀的加热效果，蒸镀制得高品质的膜层；解决了现有技术的蒸发源，坩埚受热不均匀，使得蒸镀腔室内的蒸镀材料受热不均匀，成膜质量欠佳，进而难以生产出高品质的OLED显示面板。附图说明为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术提供的蒸发源一结构示意图；图2为本专利技术提供的蒸发源另一结构示意图。具体实施方式以下各实施例的说明是参考附加的图示，用以例示本专利技术可用以实施的特定实施例。本专利技术所提到的方向用语，例如[上]、[下]、[前]、[后]、[左]、[右]、[内]、[外]、[侧面]等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本专利技术，而非用以限制本专利技术。在图中，结构相似的单元是用以相同标号表示。本专利技术针对现有的现有技术的蒸发源，坩埚受热不均匀，使得蒸镀腔室内的蒸镀材料受热不均匀，成膜质量欠佳，进而难以生产出高品质的OLED显示面板的技术问题，本实施例能够解决该缺陷。如图1所示，本专利技术提供的蒸发源，包括蒸发源本体；所述蒸发源本体自身采用导电材料制成，由于所述蒸发源加热的各种材料的熔点不同，所述蒸发源体的导电材料选用高熔点金属材料，例如，W(钨)，Ni(镍)，Cr(铬)，Cu(铜)，Fe(铁)，Al(铝)，Nb(铌)，Mo(钼)，Ti(钛)的一者或两者以上的组合。所述蒸发源本体至少包括一主体101，所述主体101即坩埚，所述主体101由液态金属材料浇铸制成，在所述主体101内部形成一材料腔室102，所述材料腔室102的开口位于所述主体101表面；所述材料腔室102内盛置蒸镀材料，所述主体101加热后使得蒸镀材料蒸发，凝结在目标基板表面形成金属膜层。在所述主体101的外侧设置有第一电极连接端103和第二电极连接端104，将所述第一电极连接端103连接电源的正电极接口，所述第二电极连接端104连接所述电源的负电极接口，此时，所述主体101作为导体，将电能转化为热能，所述主体101电流经过区域均为加热区域，电流的分布取决于导电材料的导电能力，因此，选择导电性能较佳的材料制得的所述主体101具备更佳的加热均匀性。相比现有技术使用加热丝对所述主体101进行加热，加热丝的分布对所述主体101加热的均匀性起到决定性作用，通常情况下，加热丝分布于所述主体101的外部，通过加热丝先将所述主体101的外表面加热，再通过所述主体101本身的热传递将热量传递至位于所述主体101内部的所述材料腔室102，从加热丝加热所述主体101表面至所述主体101内部的所述材料腔室102，热量在传导过程会有部分消耗，导致所述材料腔室102内的温度难以控制。所述蒸发源本体还包括一盖体105，所述盖体105盖合于所述主体101表面，所述盖体105与所述主体101上的所述材料腔室102密封结合；所述盖体105远离所述密封腔室的一侧设置有喷嘴106，所述喷嘴106用以将所述材料腔室102内蒸发的蒸镀材料均匀喷洒至目标基板的表面；其中，所述盖体105同样采用高熔点的导电材料制成；设置于所述盖体105表面的所述喷嘴106与所述盖体105采用相同材料且一体成型。具体的，所述盖体105本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸发源，其特征在于，包括由导电材料制成的蒸发源本体；所述蒸发源本体包括：主体，所述主体内部开设有材料腔室；其中，所述主体外侧设置有第一电极连接端，以及与所述第一电极连接端极性相反的第二电极连接端，所述第一电极连接端与所述第二电极连接端通电后，所述主体自身导电产生热量以加热所述材料腔室内的材料。

【技术特征摘要】
1.一种蒸发源，其特征在于，包括由导电材料制成的蒸发源本体；所述蒸发源本体包括：主体，所述主体内部开设有材料腔室；其中，所述主体外侧设置有第一电极连接端，以及与所述第一电极连接端极性相反的第二电极连接端，所述第一电极连接端与所述第二电极连接端通电后，所述主体自身导电产生热量以加热所述材料腔室内的材料。2.根据权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，所述蒸发源本体还包括：盖体，盖合于所述主体表面以密闭所述材料腔室；所述盖体表面一体成形有至少一喷嘴；所述盖体外侧设置有第三电极连接端，以及与所述第三电极连接端极性相反的第四电极连接端，所述第三电极连接端与所述第四电极连接端通电后，所述盖体自身导电产生热量以加热所述喷嘴。3.根据权利要求2所述的蒸发源，其特征在于，所述第一电极连接端位于所述主体的第一端部，所述第二电极连接端位于所述主体相对所述主体的第一端部的第二端部；所述第三电极连接端位于所述盖体的第一端部，所述第四电极连接端位于所述盖体相对所述盖体的第一端部的第二端部。4.根据权利要求3所述的蒸发源，其特征在于，所述第一电极连接端与所述第三电极连接端同为正电极，所述第二电极连接端与所述第四电极连接端同为负电极；其中，所述第一电极连接端与所述第三电极连接端位于所述蒸发源本体的...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹新，
申请(专利权)人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42